公开(公告)号：CN119890087A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510026775.4

申请日：2019-11-13

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 松井浩彬 ,  木村隆一 ,  杉冈真治

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明的目的在于在基板处理装置中容易地进行对基板实施的处理的定制。为了达成该目的，基板处理装置具备两个以上药液处理部、存储部以及控制部。各药液处理部包括处理槽和供液部。处理槽利用处理液对基板实施处理。供液部向处理槽供给处理液。存储部针对各药液处理部存储基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值信息。控制部具有获取部、识别部、算出部以及供给控制部。算出部基于数值信息中的与由识别部识别出的一个药液处理部对应的基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值、以及由获取部获取的处理量信息，算出向一个药液处理部的处理槽供给的处理液的供给量的数值。供给控制部根据由算出部算出的数值，利用供液部将处理液供给至处理槽。

公开(公告)号：CN113169063B

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN201980077527.5

申请日：2019-11-13

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 松井浩彬 ,  木村隆一 ,  杉冈真治

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明的目的在于，在基板处理装置中容易地进行对基板实施的处理的定制。为了达成该目的，基板处理装置具备药液处理部、存储部以及控制部。药液处理部包括处理槽和供液部。处理槽利用处理液对基板实施处理。供液部向处理槽供给处理液。存储部针对各药液处理部存储基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值信息。控制部具有获取部、识别部、算出部以及供给控制部。算出部基于药液处理部对应的基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值、以及由获取部获取的处理量信息，算出向药液处理部的处理槽供给的处理液的供给量的数值。供给控制部根据由算出部算出的数值，利用供液部将处理液供给至处理槽。

公开(公告)号：CN118872026A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202380025442.9

申请日：2023-02-27

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 吉原滉树 ,  松井浩彬 ,  生和高明

IPC: H01L21/02

Abstract: 本发明的基板处理装置具有：排气路径，被施加规定的排气力；以及基板处理单元，构成为能够共享排气路径；预先确定组相关关系作为复数个处理信息间的相关关系，复数个所述处理信息分别与基板处理单元对应且表示与供气以及排气相关的动作或者状态；用于管理基板处理装置的管理装置获取分别与基板处理单元对应的复数个处理信息，基于比较信息来检测复数个基板处理单元变为异常之前的状态，所述比较信息为将复数个处理信息中的与排气相关的复数个处理信息间的相关关系与组相关关系进行了比较的信息。

公开(公告)号：CN119213531A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380021806.6

申请日：2023-02-16

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 中野佑太 ,  窟口博司 ,  生和高明 ,  松井浩彬 ,  稻木大 ,  上野智宏 ,  吉原滉树 ,  大野拓也

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的基板处理装置管理系统具有：信息分析装置，具有生成代表模型的模型生成部，该代表模型表示复数个处理信息间的相关关系，所述复数个处理信息表示与复数个腔室中的代表腔室中的基板的处理相关联的动作或状态；以及辅助装置，获取复数个腔室各自的复数个处理信息，基于将其他腔室的复数个处理信息间的相关关系与代表模型进行比较的比较信息，生成与其他腔室的维护作业有关的辅助信息。

公开(公告)号：CN118679549A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202280086241.5

申请日：2022-10-28

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 松井浩彬 ,  生和高明 ,  稻木大 ,  上野智宏 ,  中野佑太 ,  吉原滉树 ,  大野拓也

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418 ,  G05B23/02

Abstract: 在基板处理装置管理系统中从多个基板处理装置分别收集多个处理信息，该多个处理信息示出与基板的处理关联的动作或者状态。针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系与从该基板处理装置所收集的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数。在管理装置中，从各个基板处理装置受理与异常相关的调查请求。在受理了两个以上的调查请求时，取得与这些调查请求对应的基板处理装置的异常分数。基于所取得的多个异常分数，对管理者提示应响应于两个以上的调查请求的与优先顺位相关的优先顺位信息。

公开(公告)号：CN115863213A

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN202211151622.5

申请日：2022-09-21

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 木村隆一 ,  宫崎稔久 ,  松井浩彬

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理系统以及群管理装置。基板处理系统(100)具备多个基板处理装置(1)、以及群管理装置(2)。基板处理装置具备计划创建部(53)。计划创建部创建示出使用处理液的定时和处理液的流量的计划。从共用的必需能力设备(PF)向多个基板处理装置供给处理液。群管理装置具备处理部(203)。处理部基于多个基板处理装置的每一个创建的计划判断多个基板处理装置要使用的处理液的总流量是否超过阈值(TH)，在判断为总流量超过阈值的情况下，向多个基板处理装置中的某一个指示调整计划。被指示了调整计划的基板处理装置的计划创建部创建总流量为阈值以下的计划。

公开(公告)号：CN113169063A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980077527.5

申请日：2019-11-13

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 松井浩彬 ,  木村隆一 ,  杉冈真治

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明的目的在于，在基板处理装置中容易地进行对基板实施的处理的定制。为了达成该目的，基板处理装置具备两个以上药液处理部、存储部以及控制部。各药液处理部包括处理槽和供液部。处理槽利用处理液对基板实施处理。供液部向处理槽供给处理液。存储部针对各药液处理部存储基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值信息。控制部具有获取部、识别部、算出部以及供给控制部。算出部基于数值信息中的与由识别部识别出的一个药液处理部对应的基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值、以及由获取部获取的处理量信息，算出向一个药液处理部的处理槽供给的处理液的供给量的数值。供给控制部根据由算出部算出的数值，利用供液部将处理液供给至处理槽。