公开(公告)号：CN119213531A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380021806.6

申请日：2023-02-16

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 中野佑太 ,  窟口博司 ,  生和高明 ,  松井浩彬 ,  稻木大 ,  上野智宏 ,  吉原滉树 ,  大野拓也

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的基板处理装置管理系统具有：信息分析装置，具有生成代表模型的模型生成部，该代表模型表示复数个处理信息间的相关关系，所述复数个处理信息表示与复数个腔室中的代表腔室中的基板的处理相关联的动作或状态；以及辅助装置，获取复数个腔室各自的复数个处理信息，基于将其他腔室的复数个处理信息间的相关关系与代表模型进行比较的比较信息，生成与其他腔室的维护作业有关的辅助信息。

公开(公告)号：CN118679549A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202280086241.5

申请日：2022-10-28

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 松井浩彬 ,  生和高明 ,  稻木大 ,  上野智宏 ,  中野佑太 ,  吉原滉树 ,  大野拓也

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418 ,  G05B23/02

Abstract: 在基板处理装置管理系统中从多个基板处理装置分别收集多个处理信息，该多个处理信息示出与基板的处理关联的动作或者状态。针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系与从该基板处理装置所收集的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数。在管理装置中，从各个基板处理装置受理与异常相关的调查请求。在受理了两个以上的调查请求时，取得与这些调查请求对应的基板处理装置的异常分数。基于所取得的多个异常分数，对管理者提示应响应于两个以上的调查请求的与优先顺位相关的优先顺位信息。

公开(公告)号：CN114746987A

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202080084200.3

申请日：2020-11-25

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 稻木大 ,  岛野达矢 ,  太田乔

IPC: H01L21/306

Abstract: 在本发明的处理条件确定方法中，从多个处理程式信息中确定出一边移动处理液的喷出位置一边处理基板W时能够使用的处理程式信息。处理条件确定方法包括工序S31、工序S32以及工序S33。在工序S31中，基于包括基板W的厚度的测定值的测定厚度信息，针对多个处理程式信息中的每一个处理程式信息，计算出包括基板W的处理后的厚度的预测值的预测厚度信息。在工序S32中，按照规定评价方法来评价针对多个处理程式信息而分别计算出的多个预测厚度信息，并从多个预测厚度信息中选择预测厚度信息。在工序S33中，确定出与所选择的预测厚度信息对应的处理程式信息。测定厚度信息中包括的测定值表示在基板W的处理前测定的基板W的厚度。