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公开(公告)号：CN118872026A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202380025442.9
申请日：2023-02-27
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明的基板处理装置具有：排气路径，被施加规定的排气力；以及基板处理单元，构成为能够共享排气路径；预先确定组相关关系作为复数个处理信息间的相关关系，复数个所述处理信息分别与基板处理单元对应且表示与供气以及排气相关的动作或者状态；用于管理基板处理装置的管理装置获取分别与基板处理单元对应的复数个处理信息，基于比较信息来检测复数个基板处理单元变为异常之前的状态，所述比较信息为将复数个处理信息中的与排气相关的复数个处理信息间的相关关系与组相关关系进行了比较的信息。
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公开(公告)号：CN118805244A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202380024596.6
申请日：2023-02-22
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , G05B11/36 , H01L21/02
Abstract: 本发明提供一种控制辅助装置，决定用于控制基板处理装置的供气排气系统中的结构构件的控制参数的值即参数值，控制辅助装置具有：对应关系获取部，获取复数个模型识别信息与复数个参数值之间的对应关系，复数个所述模型识别信息用于分别识别复数个判定模型，复数个所述判定模型根据表示与基板处理装置的基板的处理相关联的动作或者状态的处理信息，分别判定结构构件的动作的正常度；信息获取部，获取与复数个判定模型中的能够根据结构构件的动作时的处理信息获得适当的判定结果的判定模型对应的模型识别信息；以及决定部，基于通过对应关系获取部所获取的对应关系以及通过信息获取部所获取的模型识别信息，来决定用于控制结构构件的参数值。
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公开(公告)号：CN119213531A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202380021806.6
申请日：2023-02-16
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , H01L21/02
Abstract: 本发明的基板处理装置管理系统具有：信息分析装置，具有生成代表模型的模型生成部，该代表模型表示复数个处理信息间的相关关系，所述复数个处理信息表示与复数个腔室中的代表腔室中的基板的处理相关联的动作或状态；以及辅助装置，获取复数个腔室各自的复数个处理信息，基于将其他腔室的复数个处理信息间的相关关系与代表模型进行比较的比较信息，生成与其他腔室的维护作业有关的辅助信息。
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公开(公告)号：CN118805243A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202280092926.0
申请日：2022-12-01
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , G05B11/36
Abstract: 本发明的控制辅助装置具备：对应关系获取部，其获取复数个模型识别信息与复数个参数值的对应关系，复数个所述模型识别信息对复数个判定模型分别进行识别，复数个所述判定模型根据表示与基板处理装置的基板处理相关联的动作或状态的处理信息，分别判定结构构件的动作的正常度；信息获取部，其获取与复数个所述判定模型中的、根据所述结构构件动作时的处理信息能够获得适当的判定结果的判定模型相对应的模型识别信息；以及决定部，其根据由对应关系获取部所获取的对应关系、及由信息获取部所获取的模型识别信息，决定用以控制结构构件的参数值。
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公开(公告)号：CN118679549A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202280086241.5
申请日：2022-10-28
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/02 , G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 在基板处理装置管理系统中从多个基板处理装置分别收集多个处理信息，该多个处理信息示出与基板的处理关联的动作或者状态。针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系与从该基板处理装置所收集的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数。在管理装置中，从各个基板处理装置受理与异常相关的调查请求。在受理了两个以上的调查请求时，取得与这些调查请求对应的基板处理装置的异常分数。基于所取得的多个异常分数，对管理者提示应响应于两个以上的调查请求的与优先顺位相关的优先顺位信息。
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