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公开(公告)号:CN102460215A
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN200980159679.6
申请日:2009-04-03
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 独立行政法人国立高等专门学校机构
CPC classification number: G01T1/24 , H01L31/115
Abstract: 根据本发明的放射线检测器的制造方法、放射线检测器以及放射线摄像装置,在变换层中采用Cl掺杂CdZnTe,将Cl浓度设为1ppmwt以上且3ppmwt以下,将Zn浓度设为1mol%以上且5mol%以下,由此能够形成最适合作为放射线检测器的变换层。由此,能够提供一种以下放射线检测器的制造方法、放射线检测器以及放射线摄像装置:通过掺杂适当浓度的Cl而能够保护晶界的缺陷能级,并且,通过掺杂适当浓度的Zn能够减少漏电流并维持对放射线的积分灵敏度。
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公开(公告)号:CN102460215B
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN200980159679.6
申请日:2009-04-03
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 独立行政法人国立高等专门学校机构
CPC classification number: G01T1/24 , H01L31/115
Abstract: 根据本发明的放射线检测器的制造方法、放射线检测器以及放射线摄像装置,在变换层中采用Cl掺杂CdZnTe,将Cl浓度设为1ppmwt以上且3ppmwt以下,将Zn浓度设为1mol%以上且5mol%以下,由此能够形成最适合作为放射线检测器的变换层。由此,能够提供一种以下放射线检测器的制造方法、放射线检测器以及放射线摄像装置:通过掺杂适当浓度的Cl而能够保护晶界的缺陷能级,并且,通过掺杂适当浓度的Zn能够减少漏电流并维持对放射线的积分灵敏度。
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公开(公告)号:CN103081127A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201180042753.3
申请日:2011-02-09
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 独立行政法人国立高等专门学校机构
IPC: H01L31/09 , G01T1/24 , H01L27/14 , H01L27/146
CPC classification number: H01L21/02573 , H01L21/02562 , H01L21/0262 , H01L27/14659 , H01L27/14692 , H01L27/14696 , H01L31/02966 , H01L31/115 , H01L31/1832 , Y02E10/50
Abstract: 即使在通过蒸镀或升华来形成由多晶膜或多晶的层叠膜构成的检测层的第一过程的中途不能再供给Cl(氯),也会在第一过程的开始或过程的中途供给与源S不同的附加源(例如HCl等含有Cl的气体)。可以从成膜初期直至结束时为止,对为CdTe(碲化镉)、ZnTe(碲化锌)或CdZnTe(碲锌镉)的多晶或多晶的层叠膜的检测层在厚度方向上均匀地掺杂Cl。其结果,可以使晶粒均匀化并且使检测特性均匀化。
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公开(公告)号:CN103081127B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201180042753.3
申请日:2011-02-09
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 独立行政法人国立高等专门学校机构
IPC: H01L31/09 , G01T1/24 , H01L27/14 , H01L27/146
CPC classification number: H01L21/02573 , H01L21/02562 , H01L21/0262 , H01L27/14659 , H01L27/14692 , H01L27/14696 , H01L31/02966 , H01L31/115 , H01L31/1832 , Y02E10/50
Abstract: 即使在通过蒸镀或升华来形成由多晶膜或多晶的层叠膜构成的检测层的第一过程的中途不能再供给Cl(氯),也会在第一过程的开始或过程的中途供给与源S不同的附加源(例如HCl等含有Cl的气体)。可以从成膜初期直至结束时为止,对为CdTe(碲化镉)、ZnTe(碲化锌)或CdZnTe(碲锌镉)的多晶或多晶的层叠膜的检测层在厚度方向上均匀地掺杂Cl。其结果,可以使晶粒均匀化并且使检测特性均匀化。
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公开(公告)号:CN101688919B
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN200780053503.3
申请日:2007-10-23
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 吉牟田利典
CPC classification number: G01T1/24 , H01L27/14609 , H01L27/14618 , H01L27/14676 , H01L2924/0002 , Y10T156/10 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的放射线检测器,将模压结构、第一部件以及第二部件分别构成为使得用于保护变换层和电压施加电极的模压结构的电阻,大于在其模压结构的(光或放射线的)入射面侧层积形成的由面状的导电性缓冲材料构成的第一部件的电阻,并且使上述的第一部件的电阻,大于在第一部件的入射面侧层积形成的由面状的导电性部件构成的第二部件的电阻,因此可以抑制由静电而引起噪声。
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公开(公告)号:CN102590844A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201110400089.7
申请日:2011-12-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01T1/00 , H01L27/146
Abstract: 本发明提供一种放射线检测器以及放射线摄影装置。驱动控制部根据有无像素合并、即在由栅极驱动电路每次多列地驱动开关元件的进行像素合并的情况和由栅极驱动电路每次一列地驱动开关元件的无像素合并的情况中,使由偏置电源对转换层施加的偏置电压改变。因此,在以像素合并的方式进行摄影的透视模式时,能够抑制动态范围的下降。另外,在无像素合并地进行摄影的摄影模式时,能够提高空间分辨率。即,能够与动作模式相应地使高的动态范围和空间分辨率最优化。
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公开(公告)号:CN1815263B
公开(公告)日:2010-11-10
申请号:CN200510137518.0
申请日:2005-12-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 吉牟田利典
IPC: G01T1/24
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L27/14623 , H01L27/14683 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及二维图像检测器。Pb板和承载电子部件例如信号处理电路和电源电路的基线板设置在箱面上从而减小传感器装置的重量和厚度。此外,箱具有足以支承有源矩阵衬底而没有变形的机械强度。另外,小信号放大器控制衬底和栅极驱动器控制电路衬底通过开口插入到箱内且电连接到被承载在基线板上的电子部件。
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公开(公告)号:CN100488455C
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200580042996.1
申请日:2005-11-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: A61B6/00
CPC classification number: H04N5/2253 , A61B6/4233 , H01L27/14618 , H01L31/0203 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 介由防振橡胶将图像检测器固定在图像检测器保持部上时,减少包含防振橡胶在内的图像检测器的厚度增厚防振橡胶的高度量的不合理情况。将图像检测器(1)的框体(2)的截面形成为凸型,使框体(2)的中央部和周边部的厚度差比防振橡胶(3)的长度短,在厚度比中央部薄的周边部的2个长方形的底面附设多个防振橡胶(3),介由这些防振橡胶(3)将图像检测器(1)固定在图像检测器保持部(4)上。
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公开(公告)号:CN1815263A
公开(公告)日:2006-08-09
申请号:CN200510137518.0
申请日:2005-12-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 吉牟田利典
IPC: G01T1/24
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L27/14623 , H01L27/14683 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及二维图像检测器。Pb板和承载电子部件例如信号处理电路和电源电路的基线板设置在箱面上从而减小传感器装置的重量和厚度。此外,箱具有足以支承有源矩阵衬底而没有变形的机械强度。另外,小信号放大器控制衬底和栅极驱动器控制电路衬底通过开口插入到箱内且电连接到被承载在基线板上的电子部件。
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公开(公告)号:CN107407735B
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201680014450.3
申请日:2016-01-26
Applicant: 株式会社岛津制作所
CPC classification number: G01T1/2006 , A61B6/4241 , G01T1/20 , G01T1/2018 , H01L27/14629 , H01L27/14634 , H01L27/14638
Abstract: 提供一种能够进行可诊断性高的双能拍摄的、X射线敏感度更高的X射线检测器。X射线检测器(1)包括:闪烁体元件(15),其由遮光壁(17)划分,将低能量的X射线转换成光;以及闪烁体元件(19),其由遮光壁(21)划分,将高能量的X射线转换成光。从X射线的入射方向来看,遮光壁(17)的位置图案与遮光壁(21)的位置图案构成为未对齐。因此,入射到X射线检测器(1)的X射线被至少任意一方的闪烁体元件转换成光,最终作为X射线检测信号输出。即,即使在X射线检测器(1)中形成有遮光壁的情况下,无法检测到X射线的区域也不再存在。因而,能够利用遮光壁提高X射线图像的分辨率,并且能够提高X射线检测器的X射线敏感度。
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