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公开(公告)号：CN102132376B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN200980121309.3
申请日：2009-04-07
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01L21/02 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18 , H01L27/00
CPC classification number: H01L21/67313 , H01L21/67092 , H01L21/6715 , H01L23/3107 , H01L25/50 , H01L2225/06513 , H01L2924/0002 , Y10T156/17 , Y10T156/1798 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种用于将粘合剂注入到叠层基板之间的粘合剂注入装置，每个叠层具有相互面对的至少两个基板。粘合剂注入装置设有：盒，该盒容纳沿着这些基板的层叠方向布置的多叠层；以及粘合剂注入器，该粘合剂注入器在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内，以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠。将多叠层保持在该盒内使得将这些多叠层视为一个整体成为可能。通过在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠，将粘合剂注入到多叠层内得到了简化，且能够减少注入所要求的时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102132376A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200980121309.3
申请日：2009-04-07
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01L21/02 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18 , H01L27/00
CPC classification number: H01L21/67313 , H01L21/67092 , H01L21/6715 , H01L23/3107 , H01L25/50 , H01L2225/06513 , H01L2924/0002 , Y10T156/17 , Y10T156/1798 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种用于将粘合剂注入到叠层基板之间的粘合剂注入装置，每个叠层具有相互面对的至少两个基板。粘合剂注入装置设有：盒，该盒容纳沿着这些基板的层叠方向布置的多叠层；以及粘合剂注入器，该粘合剂注入器在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内，以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠。将多叠层保持在该盒内使得将这些多叠层视为一个整体成为可能。通过在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠，将粘合剂注入到多叠层内得到了简化，且能够减少注入所要求的时间。
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公开(公告)号：CN1142605A
公开(公告)日：1997-02-12
申请号：CN96106153.7
申请日：1996-04-26
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 冈本英树
IPC: G01L21/00
CPC classification number: F04C2220/50
Abstract: 本发明提供一种氦检漏器，它在因严重泄漏而在油旋转真空泵(RP2)的油中混入大量He时，能快速降低质量分析部的本底值，有效地再启动检漏。在质量分析部(ANAL)检出超过门限值的测定值时，微机单元(14)判定为严重泄漏并控制使RP2所设镇气口(21)上的电磁阀(GBV)开启一定时间，导入大气，搅拌油中所溶氦气泡，使之加速排出RP2，从而无He倒流ANAL，达到上述效果。
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公开(公告)号：CN1083575C
公开(公告)日：2002-04-24
申请号：CN96106153.7
申请日：1996-04-26
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 冈本英树
CPC classification number: F04C2220/50
Abstract: 本发明提供一种氦检漏器，它在因严重泄漏而在油旋转真空泵(RP2)的油中混入大量He时，能快速降低质量分析部的本底值，有效地再启动检漏。在质量分析部(ANAL)检出超过门限值的测定值时，微机单元(4)判定为严重泄漏并控制使RP2所设镇气口(21)上的电磁阀(GBV)开启一定时间，导入大气，搅拌油中所溶氦气泡，使之加速排出RP2，从而无He倒流ANAL，达到上述效果。
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公开(公告)号：CN101165546A
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200710123550.2
申请日：2007-07-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G02F1/13
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。
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公开(公告)号：CN101165546B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200710123550.2
申请日：2007-07-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G02F1/13
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。
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