公开(公告)号：CN101165546A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710123550.2

申请日：2007-07-02

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 冈本英树 ,  棚瀬顺一郎 ,  黑田晋一

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。

公开(公告)号：CN101165546B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200710123550.2

申请日：2007-07-02

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 冈本英树 ,  棚瀬顺一郎 ,  黑田晋一

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。