公开(公告)号：CN103858220B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201280049913.1

申请日：2012-05-23

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  铃木正康 ,  今井大辅 ,  武田直也

IPC: H01L21/677 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/4587 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板移载系统及基板移载方法。基板移载系统包括基板载板及基板搭载装置，所述基板载板具有在垂直方向上延伸且定义出在水平方向上排列的多个矩形基板搭载区域的搭载面，且在各个基板搭载区域的外周的左边、右边及下边分别配置着左边固定销、右边固定销及下边固定销，所述基板搭载装置包括：基板保持机构，将多个矩形基板以各自的主面配置在同一平面水平的状态进行保持；基板移动机构，以从水平方向观察时相对于基板搭载区域而倾斜的姿势使所保持的多个基板的主面与搭载面接近且相对向；及基板旋转机构，使多个基板以一个旋转轴为中心而沿着搭载面同时旋转。

公开(公告)号：CN103858220A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201280049913.1

申请日：2012-05-23

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  铃木正康 ,  今井大辅 ,  武田直也

IPC: H01L21/677 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/4587 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明包括基板载板（21）及基板搭载装置（10），所述基板载板（21）具有在垂直方向上延伸且定义出在水平方向上排列的多个矩形基板搭载区域（211）的搭载面（210），且在各个基板搭载区域（211）的外周的左边、右边及下边分别配置着左边固定销、右边固定销及下边固定销，所述基板搭载装置（10）包括：基板保持机构（15），将多个矩形基板（100）以各自的主面配置在同一平面水平的状态进行保持；基板移动机构（11），以从水平方向观察时相对于基板搭载区域（211）而倾斜的姿势使所保持的多个基板（100）的主面与搭载面（210）接近且相对向；及基板旋转机构（13），使多个基板（100）以一个旋转轴为中心而沿着搭载面（210）同时旋转。

公开(公告)号：CN103052734A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201180037585.9

申请日：2011-08-04

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  中谷敦夫 ,  中尾荣作

IPC: C23C16/458 ,  C23C14/50 ,  H01L21/31 ,  H01L21/318 ,  H01L31/04

CPC classification number: C23C16/458 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的表面处理方法包括：容纳工序，在该容纳工序中容纳用于容纳被处理体的容器；以及处理工序，在该处理工序中使容器进行往返动作或摆动动作之中的至少一个动作，从而一边使被处理体在容器内滚动，一边对被处理体的表面实施处理。

公开(公告)号：CN102132376B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200980121309.3

申请日：2009-04-07

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  冈本英树 ,  中尾荣作 ,  冈本和也

IPC: H01L21/02 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18 ,  H01L27/00

CPC classification number: H01L21/67313 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6715 ,  H01L23/3107 ,  H01L25/50 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T156/17 ,  Y10T156/1798 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种用于将粘合剂注入到叠层基板之间的粘合剂注入装置，每个叠层具有相互面对的至少两个基板。粘合剂注入装置设有：盒，该盒容纳沿着这些基板的层叠方向布置的多叠层；以及粘合剂注入器，该粘合剂注入器在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内，以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠。将多叠层保持在该盒内使得将这些多叠层视为一个整体成为可能。通过在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠，将粘合剂注入到多叠层内得到了简化，且能够减少注入所要求的时间。

公开(公告)号：CN102132376A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200980121309.3

申请日：2009-04-07

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  冈本英树 ,  中尾荣作 ,  冈本和也

IPC: H01L21/02 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18 ,  H01L27/00

CPC classification number: H01L21/67313 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6715 ,  H01L23/3107 ,  H01L25/50 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T156/17 ,  Y10T156/1798 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种用于将粘合剂注入到叠层基板之间的粘合剂注入装置，每个叠层具有相互面对的至少两个基板。粘合剂注入装置设有：盒，该盒容纳沿着这些基板的层叠方向布置的多叠层；以及粘合剂注入器，该粘合剂注入器在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内，以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠。将多叠层保持在该盒内使得将这些多叠层视为一个整体成为可能。通过在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠，将粘合剂注入到多叠层内得到了简化，且能够减少注入所要求的时间。