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公开(公告)号：CN101461063B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200680054826.X
申请日：2006-08-01
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01L27/12 , G01N21/88 , G01N23/225 , G02F1/13 , G02F1/1368 , G09F9/00 , H01L21/3205 , H01L21/66 , H01L23/52 , H01L29/786
CPC classification number: G02F1/136259 , G01N2021/9513 , H01L27/1214
Abstract: 一种基板检查及修正装置，包括：检查部，对形成着TFT阵列的基板进行缺陷检查；以及修正部，对缺陷阵列进行修正；且，利用检查部和修正部在同一腔室内对基板进行缺陷检查与缺陷修正。由此，使基板的移动的相关步骤简化，另外，使装置与中央系统服务器之间所进行的数据的发送接收步骤简化。更详细而言，由第一检查部来输出缺陷部位的像素坐标数据、和缺陷部位的缺陷类型的缺陷类型数据，由修正部根据第一检查部检测出的缺陷部位的像素坐标数据、和已确认的缺陷类型的缺陷类型数据，来对所述缺陷部位进行修正。第二检查部对基板的像素单位的TFT阵列的驱动状态进行检查，并输出TFT阵列的驱动状态数据，且对修正后的状态进行重新检查。
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公开(公告)号：CN101165546A
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200710123550.2
申请日：2007-07-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G02F1/13
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。
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公开(公告)号：CN1070608C
公开(公告)日：2001-09-05
申请号：CN96111435.5
申请日：1996-08-31
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 一种红外光源，用于红外分光和付里叶变换红外分光镜(FTIR)等。该红外光源由一个经烧结的氮化硅板的面板、一个埋置在面板中的金属加热元件和一对供电给加热元件的导电线路组成。这种红外光源面板平坦表面均匀地发射出红外光。相比之下，现有技术采用金属灯丝的红外光源发射出的红外光不均匀。为防止红外光源的性能在使用初期发生变化，最好在面板表面形成氧化硅层。
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公开(公告)号：CN101165546B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200710123550.2
申请日：2007-07-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G02F1/13
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。
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公开(公告)号：CN101461063A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200680054826.X
申请日：2006-08-01
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01L27/12 , G01N21/88 , G01N23/225 , G02F1/13 , G02F1/1368 , G09F9/00 , H01L21/3205 , H01L21/66 , H01L23/52 , H01L29/786
CPC classification number: G02F1/136259 , G01N2021/9513 , H01L27/1214
Abstract: 一种基板检查及修正装置，包括：检查部，对形成着TFT阵列的基板进行缺陷检查；以及修正部，对缺陷阵列进行修正；且，利用检查部和修正部在同一腔室内对基板进行缺陷检查与缺陷修正。由此，使基板的移动的相关步骤简化，另外，使装置与中央系统服务器之间所进行的数据的发送接收步骤简化。更详细而言，由第一检查部来输出缺陷部位的像素坐标数据、和缺陷部位的缺陷类型的缺陷类型数据，由修正部根据第一检查部检测出的缺陷部位的像素坐标数据、和已确认的缺陷类型的缺陷类型数据，来对所述缺陷部位进行修正。第二检查部对基板的像素单位的TFT阵列的驱动状态进行检查，并输出TFT阵列的驱动状态数据，且对修正后的状态进行重新检查。
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