公开(公告)号：CN102132376B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200980121309.3

申请日：2009-04-07

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  冈本英树 ,  中尾荣作 ,  冈本和也

IPC: H01L21/02 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18 ,  H01L27/00

CPC classification number: H01L21/67313 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6715 ,  H01L23/3107 ,  H01L25/50 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T156/17 ,  Y10T156/1798 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种用于将粘合剂注入到叠层基板之间的粘合剂注入装置，每个叠层具有相互面对的至少两个基板。粘合剂注入装置设有：盒，该盒容纳沿着这些基板的层叠方向布置的多叠层；以及粘合剂注入器，该粘合剂注入器在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内，以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠。将多叠层保持在该盒内使得将这些多叠层视为一个整体成为可能。通过在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠，将粘合剂注入到多叠层内得到了简化，且能够减少注入所要求的时间。

公开(公告)号：CN102132376A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200980121309.3

申请日：2009-04-07

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  冈本英树 ,  中尾荣作 ,  冈本和也

IPC: H01L21/02 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18 ,  H01L27/00

CPC classification number: H01L21/67313 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6715 ,  H01L23/3107 ,  H01L25/50 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T156/17 ,  Y10T156/1798 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种用于将粘合剂注入到叠层基板之间的粘合剂注入装置，每个叠层具有相互面对的至少两个基板。粘合剂注入装置设有：盒，该盒容纳沿着这些基板的层叠方向布置的多叠层；以及粘合剂注入器，该粘合剂注入器在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内，以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠。将多叠层保持在该盒内使得将这些多叠层视为一个整体成为可能。通过在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠，将粘合剂注入到多叠层内得到了简化，且能够减少注入所要求的时间。