-
公开(公告)号：CN101384948B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200780005749.3
申请日：2007-02-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G02F1/13
Abstract: 一种用于测试平板显示器的系统，该平板显示器具有平面显示板组件，该系统包括：测试平台，其用于布置平面显示板组件；测量装置，其被配置在测试平台上并用于测量来自光源并穿过平面显示板组件的测量区域的透射光的光谱；传送装置，其用于使测量装置在测试平台上以等加速度移动；以及缺陷报告装置，其被电连接到测量装置并用于通过处理从测量装置传输的光谱的电信号来报告缺陷的存在、缺陷类型以及缺陷的严重程度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1667514A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：CN200510053816.1
申请日：2005-03-11
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/20 , G01N21/35 , H01L21/027
CPC classification number: G01N21/359 , G01N1/2035 , G01N21/05 , G03F7/00 , H01L21/67086 , Y10T436/12
Abstract: 本发明公开了监控光刻过程所用多组分组合物的系统和方法，该光刻过程用于制造半导体器件、液晶显示设备等等，该组合物如光刻胶、剥离剂、显影剂、蚀刻剂、稀释剂、漂洗剂/清洁剂和蚀刻边胶清除剂。所述系统包括：组合物循环装置，其用于从贮存光刻过程所用组合物的储罐中抽取所述组合物，并将所抽取的组合物通过流动池循环回所述储罐；组合物分析装置，其用于测量流经所述流动池的组合物的吸光度，并从所测得的吸光度计算该组合物的至少一种组分的浓度；组分供应装置，其用于在某些组分的浓度低于预定水平时向所述储罐提供所缺乏的组分；及控制装置，其用于根据所述吸光度对所述组分供应装置进行控制，以调节所述组合物的每种组分的浓度。
-
公开(公告)号：CN101030047B
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200710086162.1
申请日：2007-03-05
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置，所述再生方法和再生装置特别适于经济性较好地对使用含有各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。本发明的再生装置适用于该再生方法。本发明的抗蚀剂剥离废液的再生方法是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法，该方法的特征在于，其含有：(a)添加酸的工序，所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应而使得胺化合物形成在有机溶剂蒸馏时不被蒸馏的胺-酸化合物；和(b)对上述(a)工序的反应产物进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。
-
公开(公告)号：CN101030046B
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200710086161.7
申请日：2007-03-05
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置，其特别适于经济性较好地对使用含各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。所述再生装置适用于该再生方法。本发明所述的再生方法是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法，该方法的特征在于，其含有：(a)添加酸的工序，所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应而使得胺化合物以胺-酸化合物的形式从剥离废液中析出；(b)将上述(a)工序中析出的胺-酸化合物从剥离废液中滤出的工序；和(c)对上述(b)工序中除去胺的剥离废液进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。
-
公开(公告)号：CN100510969C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200510053816.1
申请日：2005-03-11
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/20 , G01N21/35 , H01L21/027
CPC classification number: G01N21/359 , G01N1/2035 , G01N21/05 , G03F7/00 , H01L21/67086 , Y10T436/12
Abstract: 本发明公开了监控光刻过程所用多组分组合物的系统和方法，该光刻过程用于制造半导体器件、液晶显示设备等等，该组合物如光刻胶、剥离剂、显影剂、蚀刻剂、稀释剂、漂洗剂/清洁剂和蚀刻边胶清除剂。所述系统包括：组合物循环装置，其用于从贮存光刻过程所用组合物的储罐中抽取所述组合物，并将所抽取的组合物通过流动池循环回所述储罐；组合物分析装置，其用于测量流经所述流动池的组合物的吸光度，并从所测得的吸光度计算该组合物的至少一种组分的浓度；组分供应装置，其用于在某些组分的浓度低于预定水平时向所述储罐提供所缺乏的组分；及控制装置，其用于根据所述吸光度对所述组分供应装置进行控制，以调节所述组合物的每种组分的浓度。
-
公开(公告)号：CN101384948A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200780005749.3
申请日：2007-02-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G02F1/13
Abstract: 一种用于测试平板显示器的系统，该平板显示器具有平面显示板组件，该系统包括：测试平台，其用于布置平面显示板组件；测量装置，其被配置在测试平台上并用于测量来自光源并穿过平面显示板组件的测量区域的透射光的光谱；传送装置，其用于使测量装置在测试平台上以等加速度移动；以及缺陷报告装置，其被电连接到测量装置并用于通过处理从测量装置传输的光谱的电信号来报告缺陷的存在、缺陷类型以及缺陷的严重程度。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.016 seconds)
