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公开(公告)号:CN104916678A
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201410305208.4
申请日:2014-06-30
Applicant: 株式会社东芝
Inventor: 安本恭章 , 梁濑直子 , 阿部和秀 , 内原士 , 齐藤泰伸 , 仲敏行 , 吉冈启 , 小野祐 , 大野哲也 , 藤本英俊 , 增子真吾 , 古川大 , 八木恭成 , 汤元美树 , 饭田敦子 , 村上友佳子 , 罇贵子
IPC: H01L29/778 , H01L29/06
CPC classification number: H01L29/408 , H01L29/2003 , H01L29/423 , H01L29/7786
Abstract: 本发明提供抑制电气特性的变动的半导体装置。实施方式的半导体装置具备:GaN系半导体层;设置在GaN系半导体层上的源极;设置在GaN系半导体层上的漏极;在源极与漏极之间的、设置在GaN系半导体层上的栅极;以及在栅极与漏极之间与GaN系半导体层接触地设置的第1导电层。
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公开(公告)号:CN104917483A
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201410275588.1
申请日:2014-06-19
Applicant: 株式会社东芝
Inventor: 安本恭章 , 梁濑直子 , 阿部和秀 , 内原士 , 齐藤泰伸 , 仲敏行 , 吉冈启 , 小野祐 , 大野哲也 , 藤本英俊 , 增子真吾 , 古川大 , 八木恭成 , 汤元美树 , 饭田敦子 , 村上友佳子 , 铃木良和
CPC classification number: H01L28/20 , H01L27/0605 , H01L27/0617 , H01L27/0629 , H01L27/092 , H01L27/20 , H01L29/2003 , H01L29/205 , H01L29/66522 , H01L29/7786 , H01L29/78 , H03H9/02566
Abstract: 本发明提供一种具备使用了GaN类半导体的谐振子的半导体装置。实施方式的半导体装置具备GaN类半导体层、以GaN类半导体层的一部分为压电层进行谐振的谐振子、以及以GaN类半导体层的一部分为沟道层的晶体管。
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公开(公告)号:CN104465741A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201410061074.6
申请日:2014-02-24
Applicant: 株式会社东芝
Inventor: 安本恭章 , 梁濑直子 , 阿部和秀 , 内原士 , 齐藤泰伸 , 仲敏行 , 吉冈启 , 小野祐 , 大野哲也 , 藤本英俊 , 增子真吾 , 古川大 , 八木恭成 , 汤元美树 , 饭田敦子
IPC: H01L29/778 , H01L29/423 , H01L29/872 , H01L29/40
CPC classification number: H01L29/2003 , H01L29/045 , H01L29/205 , H01L29/417 , H01L29/41725 , H01L29/41758 , H01L29/42316 , H01L29/7786 , H01L29/872 , H01L29/778 , H01L29/41775
Abstract: 本发明提供一种半导体装置,具备:GaN系半导体层,表面相对m面或a面具有0度以上5度以下的角度;第一电极,设置于上述表面,具有第一端部;以及第二电极,与第一电极分离地设置于上述表面,具有与第一端部对置的第二端部,连接第一端部的任意点和第二端部的任意点的线段的方向与GaN系半导体层的c轴方向不同。
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