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公开(公告)号：CN116018731B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202080103984.X
申请日：2020-09-09
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/137
Abstract: 窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1保持架沿对从输出耦合镜输出的激光的射束指向向第1方向变化进行抑制的方向旋转。
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公开(公告)号：CN116018731A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202080103984.X
申请日：2020-09-09
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/137
Abstract: 窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1保持架沿对从输出耦合镜输出的激光的射束指向向第1方向变化进行抑制的方向旋转。
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公开(公告)号：CN112204831A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201880093960.3
申请日：2018-07-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的一个观点的能量计测装置使主光的一部分在第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器依次反射而输入到能量传感器。配置第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器，以成为抑制由于主光的入射角变化和偏振纯度变化而引起的能量传感器的检测值的变化的入射角、光路的折曲方向。
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公开(公告)号：CN112204831B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201880093960.3
申请日：2018-07-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的一个观点的能量计测装置使主光的一部分在第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器依次反射而输入到能量传感器。配置第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器，以成为抑制由于主光的入射角变化和偏振纯度变化而引起的能量传感器的检测值的变化的入射角、光路的折曲方向。
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