窄带化模块、窄带化模块的制造方法以及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN119174069A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202280095675.1

    申请日:2022-06-02

    Abstract: 窄带化模块具有:反射镜,其包含底面和光的反射面;光栅,其对反射面反射的光进行波长色散;基座板,反射镜的底面通过粘接剂固定于该基座板;旋转台,其配置有基座板,使基座板以旋转轴为轴绕轴旋转,使得反射镜以旋转轴为轴绕轴旋转,旋转轴与光进行波长色散的平面垂直;以及驱动部,其使旋转台以旋转轴为轴绕轴旋转,反射镜的重心、粘接剂的重心、基座板的重心以及旋转台的重心位于旋转轴上。

    脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115485937B

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202080100434.2

    申请日:2020-06-11

    Abstract: 本公开的一个观点的脉冲宽度扩展装置具有:第1延迟光学系统,在第1延迟光学系统中,由第1分束器和多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上;第2延迟光学系统,在第2延迟光学系统中,由第2分束器和多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与第1平面平行且与第1平面不同的第2平面上;以及第1射束旋转机构,其被配置于第1延迟光学系统与第2延迟光学系统之间的光路上,使通过第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转,以使在第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与第2平面正交。

    校准调整装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115606060B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202080100985.9

    申请日:2020-06-05

    Inventor: 大贺仁

    Abstract: 校准调整装置具有:第1材质的第1保持架,其支承光学元件;第1调整装置,其包含与第1材质不同的第2材质的第1伸缩部,通过使第1伸缩部与第1保持架接触并调整第1伸缩部的长度,使第1保持架和光学元件绕第1轴旋转;以及第2材质的第1支承部件,其支承第1调整装置,第1调整装置构成为,能够将第1伸缩部与第1保持架接触的位置调整到包含第1支承部件的第1端部和第1轴在内的第1平面上。

    窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN117157844A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202180096913.6

    申请日:2021-05-24

    Inventor: 大贺仁

    Abstract: 窄带化模块具有:棱镜;反射镜,其包含使透过棱镜的光反射的反射面、与反射面相邻的第1相邻面和第2相邻面、以及与反射面对置的对置面;光栅,其对反射面反射的光进行波长色散;保持部,其保持反射镜;第1粘接剂,其被设置于保持部与第1相邻面之间或保持部与对置面之间,将反射镜粘接于保持部;第2粘接剂,其被设置于保持部与第2相邻面之间,将反射镜粘接于保持部;以及驱动部,其使保持部旋转,以使反射镜以与光进行波长色散的平面垂直的线为轴而绕轴旋转,第2粘接剂在正面观察反射面的情况下以与轴平行且通过反射镜的中心的中心线为基准位于与第1粘接剂相反的一侧。

    校准调整装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115606060A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202080100985.9

    申请日:2020-06-05

    Inventor: 大贺仁

    Abstract: 校准调整装置具有:第1材质的第1保持架,其支承光学元件;第1调整装置,其包含与第1材质不同的第2材质的第1伸缩部,通过使第1伸缩部与第1保持架接触并调整第1伸缩部的长度,使第1保持架和光学元件绕第1轴旋转;以及第2材质的第1支承部件,其支承第1调整装置,第1调整装置构成为,能够将第1伸缩部与第1保持架接触的位置调整到包含第1支承部件的第1端部和第1轴在内的第1平面上。

    脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115485937A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202080100434.2

    申请日:2020-06-11

    Abstract: 本公开的一个观点的脉冲宽度扩展装置具有:第1延迟光学系统,在第1延迟光学系统中,由第1分束器和多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上;第2延迟光学系统,在第2延迟光学系统中,由第2分束器和多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与第1平面平行且与第1平面不同的第2平面上;以及第1射束旋转机构,其被配置于第1延迟光学系统与第2延迟光学系统之间的光路上,使通过第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转,以使在第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与第2平面正交。

    光学脉冲伸长装置以及激光系统

    公开(公告)号:CN212342996U

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN202021076621.5

    申请日:2020-06-12

    Inventor: 大贺仁

    Abstract: 本申请实施例提供一种光学脉冲伸长装置以及激光系统。所述光学脉冲伸长装置包括:第1光学元件,第2光学元件,光学元件保持部以及壳体;所述光学脉冲伸长装置还包括:第1开口,遮挡部件,基体,包括第1钩部、第2钩部、第3钩部、钩保持部、第1部件以及第2部件的联锁机构。由此联锁机构,在光学单元没有装入到光学脉冲伸长装置的状态下,无法从光学脉冲伸长装置拆卸遮挡板,并且,在从光学脉冲伸长装置拆卸遮挡板的状态下,无法从光学脉冲伸长装置取出光学单元。

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