密封用膜及使用其的半导体装置

    公开(公告)号:CN101542721A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200880000239.1

    申请日:2008-01-24

    Abstract: 本发明提供一种具有树脂层的密封膜,该密封膜的填充性和密合性优异,并提供该膜的制造方法和使用其的半导体装置,其中,所述树脂层含有下述(A)、(B)和(C),并且在80℃的流出量为150~1800μm。(A)树脂成分,其包含含有交联性官能团、重均分子量为10万以上且Tg为-50~50℃的高分子量成分(a1)以及以环氧树脂为主成分的热固性成分(a2);(B)平均粒径为1~30μm的填料;(C)着色剂。或者,本发明提供一种具有树脂层的密封用膜,所述树脂层含有上述(A)、(B)和(C),并且在B阶状态的膜的热固化粘弹性测定中的50~100℃的粘度为10000~100000Pa·s,该密封用膜的密合性、形状维持性优异,本发明还提供使用其的半导体装置。

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