公开(公告)号：CN107863284B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201710234557.5

申请日：2017-04-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 宇根英康 ,  山元徹朗 ,  滝上佳宏

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  G01T1/29

Abstract: 本发明涉及能够在任意方向上无缝隙地且连续地执行对带电粒子束的射束电流分布的测量。射束电流测量器件包括多个收集电极，这些收集电极的检测区域在收集电极的布置方向上无缝隙地连续。

公开(公告)号：CN102655073A

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201110306186.X

申请日：2011-10-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 宇根英康 ,  田中浩平 ,  滨本成显 ,  藤田秀树

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供离子束照射方法和离子束照射装置，在用两台离子束供给装置对基板的上半部分和下半部分进行离子照射的串联式离子束照射装置中，即使在一台离子束供给装置停止或在处理中途异常结束的情况下，也可以对基板的整个面注入所希望的剂量。在进行一个往返的离子束照射处理后，控制基板转动机构，使基板转动180度后，再将基板放入离子束照射装置，对没有完成离子束照射处理的范围进行离子束照射，从而对基板的整个面进行离子束照射。

公开(公告)号：CN107863284A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201710234557.5

申请日：2017-04-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 宇根英康 ,  山元徹朗 ,  滝上佳宏

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  G01T1/29

Abstract: 本发明涉及能够在任意方向上无缝隙地且连续地执行对带电粒子束的射束电流分布的测量。射束电流测量器件包括多个收集电极，这些收集电极的检测区域在收集电极的布置方向上无缝隙地连续。