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公开(公告)号：CN118712041A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202311167357.4
申请日：2023-09-11
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种等离子体源，能够调整通过腔室内的磁通的方向。等离子体源具备：腔室(10)，生成等离子体；阴极(20)，设置于腔室(10)，发射电子；以及电磁铁(30)，设置在腔室(10)的周围，使磁通通过腔室(10)内，电磁铁(30)具有线圈(C)、以及使通过对线圈(C)通电而产生的磁通到达腔室(10)内的多个磁通通过部件(30x)，至少一个磁通通过部件(30x)的使用方式能够变更。
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公开(公告)号：CN107104030A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201610838817.5
申请日：2016-09-21
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种离子束照射装置，与以往相比能够使包含在离子束中的不需要的离子减少。该离子束照射装置包括：离子源(2)；质量分离器(3)，从由离子源(2)引出的离子束(IB)中挑选并导出确定的质量和价数的掺杂离子；以及能量过滤器，形成离子束(IB)通过的束通过区域，并且通过被施加过滤器电压(VF)而成为规定的过滤器电位(Vfil)，利用离子的能量差，区分通过所述束通过区域的通过离子和不通过所述束通过区域的非通过离子，以使所述通过离子中包含所述掺杂离子并且使所述非通过离子中包含在质量分离器(3)中不能与所述掺杂离子区分的不需要的离子的至少一部分的方式设定过滤器电位(Vfil)。
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公开(公告)号：CN101742809A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910205161.3
申请日：2009-10-16
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32678 , H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J2237/0041
Abstract: 本发明提供了一种等离子体生成设备，该等离子体生成设备包括：天线腔室，其被邻近于生成等离子体的等离子体腔室放置，并被排气为真空；天线，其被放置在天线腔室中，并放射高频波；分隔板，其由绝缘体制成，并将等离子体腔室与天线腔室分隔以阻挡气体进入天线腔室，并且允许从天线放射的高频波穿过分隔板；以及磁体装置，其放置在等离子体腔室外部，并在等离子体腔室中生成磁场以引起电子回旋共振。
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公开(公告)号：CN109119314B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201810036200.0
申请日：2018-01-15
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种离子或电子的引出效率高的等离子体源。等离子体源(1)包括：室(11)，具有用于将在内侧生成的离子或电子向外辐射的开口部(11a)；气体导入部(31)，向室(11)内导入气体；真空连接器(14)，设置在周壁(111)的与开口部(11a)相对的位置上；天线(15)，基端部(15a)与真空连接器(14)连接，在室(11)内朝向开口部(11a)延伸；第一绝缘体部(21)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的前端部(15b)一侧的第一部位(P1)；第二绝缘体部(13)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的基端部(15a)一侧的第二部位(P2)；以及导体部(16)，覆盖第二绝缘体部(13)。
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公开(公告)号：CN108933076A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201810035138.3
申请日：2018-01-15
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供能够实现装置尺寸的小型化和抑制永磁铁升温两者的等离子体源。等离子体源(1)包括：室(2)，在内部生成等离子体；一对镜像磁铁(m1、m2)，在室(2)的周围沿第一方向(Z)配置；以及勾形磁铁(c)，配置在一对镜像磁铁(m1、m2)之间，勾形磁铁(c)由多个永磁铁(P)构成，所述多个永磁铁(P)在与第一方向(Z)垂直的面内在室(2)的周围隔开间隙(S)配置，所述永磁铁(P)的室一侧的极性与相邻配置的所述永磁铁(P)的极性交替不同，各镜像磁铁(m1、m2)由多个永磁铁(P)构成，所述多个永磁铁(P)在与第一方向(Z)垂直的面内，以室一侧的极性为同极性的方式在室(2)的周围隔开间隙(S)配置，各镜像磁铁(m1、m2)的室一侧的极性不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101192499A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200710193462.X
申请日：2007-11-27
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 藤田秀树
IPC: H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 一种离子注入装置，其具有被设置成跨带状离子束路径在Y方向上相互面对的第一和第二磁体。第一和第二磁体与带状离子束行进方向交叉。第一和第二磁体的每一个都具有在离子束入口侧和出口侧的一对磁极。在第一磁体和第二磁体之间其极性相反。
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公开(公告)号：CN107104030B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201610838817.5
申请日：2016-09-21
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种离子束照射装置，与以往相比能够使包含在离子束中的不需要的离子减少。该离子束照射装置包括：离子源(2)；质量分离器(3)，从由离子源(2)引出的离子束(IB)中挑选并导出确定的质量和价数的掺杂离子；以及能量过滤器，形成离子束(IB)通过的束通过区域，并且通过被施加过滤器电压(VF)而成为规定的过滤器电位(Vfil)，利用离子的能量差，区分通过所述束通过区域的通过离子和不通过所述束通过区域的非通过离子，以使所述通过离子中包含所述掺杂离子并且使所述非通过离子中包含在质量分离器(3)中不能与所述掺杂离子区分的不需要的离子的至少一部分的方式设定过滤器电位(Vfil)。
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公开(公告)号：CN101742809B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200910205161.3
申请日：2009-10-16
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32678 , H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J2237/0041
Abstract: 本发明提供了一种等离子体生成设备，该等离子体生成设备包括：天线腔室，其被邻近于生成等离子体的等离子体腔室放置，并被排气为真空；天线，其被放置在天线腔室中，并放射高频波；分隔板，其由绝缘体制成，并将等离子体腔室与天线腔室分隔以阻挡气体进入天线腔室，并且允许从天线放射的高频波穿过分隔板；以及磁体装置，其放置在等离子体腔室外部，并在等离子体腔室中生成磁场以引起电子回旋共振。
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公开(公告)号：CN108933076B
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201810035138.3
申请日：2018-01-15
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供能够实现装置尺寸的小型化和抑制永磁铁升温两者的等离子体源。等离子体源(1)包括：室(2)，在内部生成等离子体；一对镜像磁铁(m1、m2)，在室(2)的周围沿第一方向(Z)配置；以及勾形磁铁(c)，配置在一对镜像磁铁(m1、m2)之间，勾形磁铁(c)由多个永磁铁(P)构成，所述多个永磁铁(P)在与第一方向(Z)垂直的面内在室(2)的周围隔开间隙(S)配置，所述永磁铁(P)的室一侧的极性与相邻配置的所述永磁铁(P)的极性交替不同，各镜像磁铁(m1、m2)由多个永磁铁(P)构成，所述多个永磁铁(P)在与第一方向(Z)垂直的面内，以室一侧的极性为同极性的方式在室(2)的周围隔开间隙(S)配置，各镜像磁铁(m1、m2)的室一侧的极性不同。
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公开(公告)号：CN109119314A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810036200.0
申请日：2018-01-15
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种离子或电子的引出效率高的等离子体源。等离子体源(1)包括：室(11)，具有用于将在内侧生成的离子或电子向外辐射的开口部(11a)；气体导入部(31)，向室(11)内导入气体；真空连接器(14)，设置在周壁(111)的与开口部(11a)相对的位置上；天线(15)，基端部(15a)与真空连接器(14)连接，在室(11)内朝向开口部(11a)延伸；第一绝缘体部(21)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的前端部(15b)一侧的第一部位(P1)；第二绝缘体部(13)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的基端部(15a)一侧的第二部位(P2)；以及导体部(16)，覆盖第二绝缘体部(13)。
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