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公开(公告)号：CN107863284B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201710234557.5
申请日：2017-04-11
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/04 , H01J37/244 , G01T1/29
Abstract: 本发明涉及能够在任意方向上无缝隙地且连续地执行对带电粒子束的射束电流分布的测量。射束电流测量器件包括多个收集电极，这些收集电极的检测区域在收集电极的布置方向上无缝隙地连续。
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公开(公告)号：CN103426705B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201310009476.7
申请日：2013-01-10
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供灯丝更换器和灯丝更换结构，不总是占用用于更换灯丝的多余的空间、且在灯丝更换时能减少辅助真空容器的装卸次数，该灯丝更换器包括辅助真空容器及操作杆，该操作杆贯穿所述辅助真空容器、且其前端部在辅助真空容器内安装于所述灯丝支承结构，在所述辅助真空容器内处于真空排气后的状态下，用于从所述真空室内拔出灯丝至所述辅助真空容器内，所述辅助真空容器包括：容器主体，形成有与所述真空室的外部接触且可装拆地安装在所述真空室的外部的、通过所述操作杆拔出的所述灯丝所通过的安装口及更换所述灯丝时所述灯丝所通过的灯丝取出口；以及盖体，可打开或关闭所述灯丝取出口。
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公开(公告)号：CN107863284A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201710234557.5
申请日：2017-04-11
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/04 , H01J37/244 , G01T1/29
Abstract: 本发明涉及能够在任意方向上无缝隙地且连续地执行对带电粒子束的射束电流分布的测量。射束电流测量器件包括多个收集电极，这些收集电极的检测区域在收集电极的布置方向上无缝隙地连续。
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公开(公告)号：CN103426705A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310009476.7
申请日：2013-01-10
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供灯丝更换器和灯丝更换结构，不总是占用用于更换灯丝的多余的空间、且在灯丝更换时能减少辅助真空容器的装卸次数，该灯丝更换器包括辅助真空容器及操作杆，该操作杆贯穿所述辅助真空容器、且其前端部在辅助真空容器内安装于所述灯丝支承结构，在所述辅助真空容器内处于真空排气后的状态下，用于从所述真空室内拔出灯丝至所述辅助真空容器内，所述辅助真空容器包括：容器主体，形成有与所述真空室的外部接触且可装拆地安装在所述真空室的外部的、通过所述操作杆拔出的所述灯丝所通过的安装口及更换所述灯丝时所述灯丝所通过的灯丝取出口；以及盖体，可打开或关闭所述灯丝取出口。
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