-
公开(公告)号:CN105979706A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610140191.0
申请日:2016-03-11
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor: 丰田佳弘
IPC: H05K3/00 , G06T7/00 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种布线电路基板的制造方法以及检查方法。在制造步骤中制作布线电路基板。在检查步骤中,检查装置的第一光源和第二光源将具有第一波长分布和第二波长分布的第一光和第二光照射到布线电路基板。第一摄像装置和第二摄像装置基于由布线电路基板分别反射的第一光和第二光,来生成布线电路基板的被检查区域的、是黑白图像的第一图像和是彩色图像的第二图像。通过自动光学检查至少基于第一图像来判定有无缺陷。并且,通过目视至少第二图像来进行缺陷的确认。
-
公开(公告)号:CN101806753B
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201010115681.8
申请日:2010-02-11
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/95684 , G01N21/359 , G01N21/94 , G01R31/309 , H05K1/0269 , H05K3/28 , H05K2201/0108 , H05K2201/2054 , H05K2203/0152 , Y10T29/49124
Abstract: 本发明提供一种配线电路板的制造方法。该制造方法包括以下工序:准备包括绝缘层和形成在上述绝缘层上的导体图案的配线电路板;将配线电路板配置在支承台上;通过从配线电路板的上侧朝向配线电路板照射光,来检测光被导体图案反射而成的图案反射光、光经由未被导体图案覆盖的绝缘层被支承台反射而成的台反射光、和光被未被导体图案覆盖的绝缘层上存在的异物反射而成的异物反射光,根据图案反射光、台反射光及异物反射光之间的对比度来检查导体图案及异物。在检查导体图案及异物的工序中,台反射光的反射率为30%~70%;异物反射光的反射率为10%以下。
-
公开(公告)号:CN102435610A
公开(公告)日:2012-05-02
申请号:CN201110272187.7
申请日:2011-09-09
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor: 丰田佳弘
CPC classification number: G01N21/95684 , G01N21/8806 , G01N2021/95638
Abstract: 本发明提供一种检查装置和布线电路基板的制造方法。检查装置包括:发光单元,其用于发出能入射到覆盖绝缘层的入射光;受光单元,其用于对入射光被覆盖绝缘层的表面反射而成的反射光进行接收。发光单元包括:第1发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是25°以下的方式发出入射光;第2发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是35~65°的方式发出入射光。
-
公开(公告)号:CN101431856A
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200810176155.5
申请日:2008-11-05
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H05K1/02 , G01B11/24 , G01N21/956
CPC classification number: H05K3/285 , G01N21/95684 , H05K1/0269 , H05K2201/0108 , H05K2203/161
Abstract: 布线电路基板,具备导体布图,和被覆导体布图的、对600~680nm波长的光线的透射率在30%以下的绝缘层。
-
公开(公告)号:CN105979695B
公开(公告)日:2020-12-08
申请号:CN201610140787.0
申请日:2016-03-11
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor: 丰田佳弘
IPC: H05K1/02 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种布线电路基板的制造方法以及检查方法。第一布线电路基板的基底绝缘层和覆盖绝缘层由第一绝缘材料形成,第二布线电路基板的基底绝缘层和覆盖绝缘层由第二绝缘材料形成。在对第一布线电路基板进行检查时,将在第一波长区域内具有峰值波长的第一光照射到第一布线电路基板,并基于从第一布线电路基板反射来的反射光来生成图像。在对第二布线电路基板进行检查时,将在与第一波长区域不同的第二波长区域内具有峰值波长的第二光照射到第二布线电路基板,并基于从第二布线电路基板反射来的反射光来生成图像。
-
公开(公告)号:CN105979695A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610140787.0
申请日:2016-03-11
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor: 丰田佳弘
IPC: H05K1/02 , G01N21/956
CPC classification number: G01N21/956 , G01N21/8806 , G01N21/8901 , G01N21/95684 , G01N2021/8845 , G01N2021/8887 , G01N2021/8909 , G01N2021/95638 , G01N2021/95661 , H05K1/0269 , H05K1/056 , H05K2201/0154 , H05K2203/163 , Y10T29/49004 , Y10T29/49124 , Y10T29/53022 , Y10T29/53087 , H05K2203/162
Abstract: 本发明提供一种布线电路基板的制造方法以及检查方法。第一布线电路基板的基底绝缘层和覆盖绝缘层由第一绝缘材料形成,第二布线电路基板的基底绝缘层和覆盖绝缘层由第二绝缘材料形成。在对第一布线电路基板进行检查时,将在第一波长区域内具有峰值波长的第一光照射到第一布线电路基板,并基于从第一布线电路基板反射来的反射光来生成图像。在对第二布线电路基板进行检查时,将在与第一波长区域不同的第二波长区域内具有峰值波长的第二光照射到第二布线电路基板,并基于从第二布线电路基板反射来的反射光来生成图像。
-
公开(公告)号:CN102435610B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201110272187.7
申请日:2011-09-09
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor: 丰田佳弘
CPC classification number: G01N21/95684 , G01N21/8806 , G01N2021/95638
Abstract: 本发明提供一种检查装置和布线电路基板的制造方法。检查装置包括:发光单元,其用于发出能入射到覆盖绝缘层的入射光;受光单元,其用于对入射光被覆盖绝缘层的表面反射而成的反射光进行接收。发光单元包括:第1发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是25°以下的方式发出入射光;第2发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是35~65°的方式发出入射光。
-
公开(公告)号:CN101865863A
公开(公告)日:2010-10-20
申请号:CN201010132213.1
申请日:2010-03-16
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/95684 , G01N21/94 , G01N2021/95638 , H05K1/0269 , H05K1/0393 , H05K3/007 , H05K3/28 , H05K2201/0108 , H05K2201/2054 , H05K2203/0152 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49165 , Y10T29/49169
Abstract: 本发明提供一种线路板的制造方法,其包括下述工序:准备线路板的工序;将线路板配置在支承台上的工序;通过将光从上述线路板的上侧朝向上述线路板照射来检测图案反射光、台反射光和异物反射光,利用它们之间的对比检查导体图案及异物的工序。在检查导体图案及异物的工序中,台反射光的反射率为25~55%,异物反射光的反射率为10%以下。
-
-
公开(公告)号:CN102053092B
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201010527718.8
申请日:2010-10-26
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: G01N21/956 , H05K3/00
CPC classification number: G01N21/95684 , G06T7/001 , G06T2207/30141 , Y10T29/4913 , Y10T29/53183 , Y10T29/53191
Abstract: 本发明提供一种布线电路基板的检查方法、制造方法和检查装置,在基板吸附台的上表面上载置多个集合体片材,以由按压板按压多个集合体片材的方式在基板吸附台上的多个集合体片材上载置按压板。在该状态下,直流电源装置成为接通状态,基板吸附台的上表面带电,从而多个集合体片材在静电力作用下被吸附于该上表面上。接着,在基板吸附台的上表面带电的状态下取下载置在多个集合体片材上的按压板,然后对吸附于基板吸附台的上表面上的多个集合体片材进行自动外观检查。
-
-
-
-
-
-
-
-
-