布线电路基板的制造方法以及检查方法

    公开(公告)号:CN105979706A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610140191.0

    申请日:2016-03-11

    Inventor: 丰田佳弘

    Abstract: 本发明提供一种布线电路基板的制造方法以及检查方法。在制造步骤中制作布线电路基板。在检查步骤中,检查装置的第一光源和第二光源将具有第一波长分布和第二波长分布的第一光和第二光照射到布线电路基板。第一摄像装置和第二摄像装置基于由布线电路基板分别反射的第一光和第二光,来生成布线电路基板的被检查区域的、是黑白图像的第一图像和是彩色图像的第二图像。通过自动光学检查至少基于第一图像来判定有无缺陷。并且,通过目视至少第二图像来进行缺陷的确认。

    配线电路板的制造方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101806753B

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201010115681.8

    申请日:2010-02-11

    Abstract: 本发明提供一种配线电路板的制造方法。该制造方法包括以下工序:准备包括绝缘层和形成在上述绝缘层上的导体图案的配线电路板;将配线电路板配置在支承台上;通过从配线电路板的上侧朝向配线电路板照射光,来检测光被导体图案反射而成的图案反射光、光经由未被导体图案覆盖的绝缘层被支承台反射而成的台反射光、和光被未被导体图案覆盖的绝缘层上存在的异物反射而成的异物反射光,根据图案反射光、台反射光及异物反射光之间的对比度来检查导体图案及异物。在检查导体图案及异物的工序中,台反射光的反射率为30%~70%;异物反射光的反射率为10%以下。

    检查装置和布线电路基板的制造方法

    公开(公告)号:CN102435610A

    公开(公告)日:2012-05-02

    申请号:CN201110272187.7

    申请日:2011-09-09

    Inventor: 丰田佳弘

    CPC classification number: G01N21/95684 G01N21/8806 G01N2021/95638

    Abstract: 本发明提供一种检查装置和布线电路基板的制造方法。检查装置包括:发光单元,其用于发出能入射到覆盖绝缘层的入射光;受光单元,其用于对入射光被覆盖绝缘层的表面反射而成的反射光进行接收。发光单元包括:第1发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是25°以下的方式发出入射光;第2发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是35~65°的方式发出入射光。

    布线电路基板的制造方法以及检查方法

    公开(公告)号:CN105979695B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201610140787.0

    申请日:2016-03-11

    Inventor: 丰田佳弘

    Abstract: 本发明提供一种布线电路基板的制造方法以及检查方法。第一布线电路基板的基底绝缘层和覆盖绝缘层由第一绝缘材料形成,第二布线电路基板的基底绝缘层和覆盖绝缘层由第二绝缘材料形成。在对第一布线电路基板进行检查时,将在第一波长区域内具有峰值波长的第一光照射到第一布线电路基板,并基于从第一布线电路基板反射来的反射光来生成图像。在对第二布线电路基板进行检查时,将在与第一波长区域不同的第二波长区域内具有峰值波长的第二光照射到第二布线电路基板,并基于从第二布线电路基板反射来的反射光来生成图像。

    检查装置和布线电路基板的制造方法

    公开(公告)号:CN102435610B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201110272187.7

    申请日:2011-09-09

    Inventor: 丰田佳弘

    CPC classification number: G01N21/95684 G01N21/8806 G01N2021/95638

    Abstract: 本发明提供一种检查装置和布线电路基板的制造方法。检查装置包括:发光单元,其用于发出能入射到覆盖绝缘层的入射光;受光单元,其用于对入射光被覆盖绝缘层的表面反射而成的反射光进行接收。发光单元包括:第1发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是25°以下的方式发出入射光;第2发光部,其呈环状,以使入射光与基底绝缘层的表面之间的角度是35~65°的方式发出入射光。

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