公开(公告)号：CN116391090A

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202180072113.0

申请日：2021-10-20

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： J·R·德斯普雷斯 ,  J·斯威尼 ,  E·A·斯特姆

IPC: F17C11/00

Abstract: 描述储存和分配系统和相关方法，其用于储存和从容器选择性分配试剂气体锗烷，在所述容器中所述试剂气体保持与储存容器的内部的固体吸附介质呈吸附关系，且其中所述方法和分配系统提供所述试剂气体从所述储存容器的分配，其中在所分配试剂气体中含有含量减少的大气杂质。

公开(公告)号：CN109195910B

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN201780033136.4

申请日：2017-03-27

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： S·毕晓普 ,  S·N·叶达弗 ,  O·布莱 ,  J·斯威尼 ,  唐瀛

IPC: C01B35/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明涉及一种氢化且富含三氟化硼(BF3)同位素的掺杂剂来源气体组合物。所述组合物含有(i)三氟化硼，其富含高于天然丰度的同位素原子质量11的硼(11B)；和(ii)氢气，以所述组合物中三氟化硼和氢气的总体积计，所述氢气的量是2体积％到6.99体积％。还描述使用所述掺杂剂来源气体组合物的方法，和其对应的相关设备。

公开(公告)号：CN109195910A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201780033136.4

申请日：2017-03-27

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： S·毕晓普 ,  S·N·叶达弗 ,  O·布莱 ,  J·斯威尼 ,  唐瀛

IPC: C01B35/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明涉及一种氢化且富含三氟化硼(BF3)同位素的掺杂剂来源气体组合物。所述组合物含有(i)三氟化硼，其富含高于天然丰度的同位素原子质量11的硼(UB)；和(ii)氢气，以所述组合物中三氟化硼和氢气的总体积计，所述氢气的量是2体积％到6.99体积％。还描述使用所述掺杂剂来源气体组合物的方法，和其对应的相关设备。