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公开(公告)号:CN104440345A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201410696821.3
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 白有盾 , 杨志军 , 陈新 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 黄宇涵 , 王江龙 , 余明峰 , 刘浩文 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
IPC: B23Q5/28
Abstract: 本发明提出一种异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机、平板电机、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用,Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可实现二维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。
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公开(公告)号:CN104440344A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201410696781.2
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 杨志军 , 白有盾 , 陈新 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 黄宇涵 , 王江龙 , 刘浩文 , 余明峰 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
IPC: B23Q5/28
CPC classification number: B23Q5/28
Abstract: 本发明提出一种直线电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用,Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可以实现二维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。
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公开(公告)号:CN104485290A
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201410695949.8
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 陈新 , 白有盾 , 杨志军 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 王江龙 , 黄宇涵 , 刘浩文 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
CPC classification number: H01L21/50 , B21D28/02 , B81C1/00015
Abstract: 一种动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床,包括Y向运动机构、X向运动机构和Z向精密冲压机构,所述X向运动机构通过X向支架固定于底座上,所述Z向精密冲压机构通过X&Z联动平台和X&Z复合导轨滑块安装于所述X向运动机构的X向导轨,并在所述X向运动机构的X向驱动带动下实现X向运动;工件放置在所述Y向运动机构的Y向运动平台上,并通过所述Y向运动机构实现Y向运动。Z向精密冲压机构能够根据不同冲压频率对动态特性精细调整,获得一致的动态响应性能,并可以实现位力切换复合控制,实现微结构阵列的一致性加工。本发明提出一种缩短对位时间,减少运动偏差,提高加工效率和加工精度的精密微冲压机床。
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公开(公告)号:CN104485290B
公开(公告)日:2017-10-27
申请号:CN201410695949.8
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 陈新 , 白有盾 , 杨志军 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 王江龙 , 黄宇涵 , 刘浩文 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
Abstract: 一种动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床,包括Y向运动机构、X向运动机构和Z向精密冲压机构,所述X向运动机构通过X向支架固定于底座上,所述Z向精密冲压机构通过X&Z联动平台和X&Z复合导轨滑块安装于所述X向运动机构的X向导轨,并在所述X向运动机构的X向驱动带动下实现X向运动;工件放置在所述Y向运动机构的Y向运动平台上,并通过所述Y向运动机构实现Y向运动。Z向精密冲压机构能够根据不同冲压频率对动态特性精细调整,获得一致的动态响应性能,并可以实现位力切换复合控制,实现微结构阵列的一致性加工。本发明提出一种缩短对位时间,减少运动偏差,提高加工效率和加工精度的精密微冲压机床。
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公开(公告)号:CN104440345B
公开(公告)日:2017-06-30
申请号:CN201410696821.3
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 白有盾 , 杨志军 , 陈新 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 黄宇涵 , 王江龙 , 余明峰 , 刘浩文 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
IPC: B23Q5/28
Abstract: 本发明提出一种异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机、平板电机、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用,Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可实现二维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。
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公开(公告)号:CN104440344B
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201410696781.2
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 杨志军 , 白有盾 , 陈新 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 黄宇涵 , 王江龙 , 刘浩文 , 余明峰 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
IPC: B23Q5/28
Abstract: 本发明提出一种直线电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用,Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可以实现二维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。
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公开(公告)号:CN104440343A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201410696217.0
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 杨志军 , 白有盾 , 陈新 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 王江龙 , 刘浩文 , 黄宇涵 , 余明峰 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
IPC: B23Q5/28
CPC classification number: H02K41/02 , B23Q1/44 , B23Q5/28 , H01L41/09 , H02K11/22 , B23Q1/25 , B23Q5/36
Abstract: 本发明提出直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,包括基座、直线导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,所述宏微一体化平台的外框架安装在直线导轨滑块上,基座上装有U型直线电机定子,宏动平台和微动平台上分别装有动子,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可以实现一维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。
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公开(公告)号:CN204221489U
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201420723980.3
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 白有盾 , 杨志军 , 陈新 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 王江龙 , 黄宇涵 , 刘浩文 , 余明峰 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
IPC: B23Q5/28
Abstract: 本实用新型提出一种直线电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用,Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可以实现二维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。
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公开(公告)号:CN204303757U
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201420724099.5
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 杨志军 , 白有盾 , 陈新 , 王梦 , 高健 , 李涵雄 , 李成祥 , 王江龙 , 黄宇涵 , 刘浩文 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
Abstract: 一种动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床,包括Y向运动机构、X向运动机构和Z向精密冲压机构,所述X向运动机构通过X向支架固定于底座上,所述Z向精密冲压机构通过X&Z联动平台和X&Z复合导轨滑块安装于所述X向运动机构的X向导轨,并在所述X向运动机构的X向驱动带动下实现X向运动;工件放置在所述Y向运动机构的Y向运动平台上,并通过所述Y向运动机构实现Y向运动。Z向精密冲压机构能够根据不同冲压频率对动态特性精细调整,获得一致的动态响应性能,并可以实现位力切换复合控制,实现微结构阵列的一致性加工。本实用新型提出一种缩短对位时间,减少运动偏差,提高加工效率和加工精度的精密微冲压机床。
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公开(公告)号:CN204262872U
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201420724464.2
申请日:2014-11-26
Applicant: 广东工业大学
Inventor: 王梦 , 杨志军 , 白有盾 , 陈新 , 高健 , 李涵雄 , 黄宇涵 , 李成祥 , 王江龙 , 余明峰 , 刘浩文 , 李振新 , 钟裕导 , 刘伟光 , 杨海东 , 管贻生 , 陈新度
IPC: B23Q5/28
Abstract: 本实用新型提出直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,包括基座、直线导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,所述宏微一体化平台的外框架安装在直线导轨滑块上,基座上装有U型直线电机定子,宏动平台和微动平台上分别装有动子,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可以实现一维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。
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