直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台

    公开(公告)号:CN104440343B

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201410696217.0

    申请日:2014-11-26

    CPC classification number: H02K41/02 B23Q1/44 B23Q5/28 H01L41/09 H02K11/22

    Abstract: 本发明提出直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,包括基座、直线导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,所述宏微一体化平台的外框架安装在直线导轨滑块上,基座上装有U型直线电机定子,宏动平台和微动平台上分别装有动子,当宏微动子同时驱动时,可实现整体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出,可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可以实现一维高速精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用。

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