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公开(公告)号：CN116487318A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310521614.3
申请日：2023-05-10
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/687 , H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明涉及柔顺机构技术领域，特别是一种用于巨量转移设备的柔顺支撑结构，包括支撑座、平衡调节杆、平衡质量块和第一柔顺支撑架；第一柔顺支撑架具有在Z轴的移动自由度以及绕X轴与Y轴的转动自由度；平衡调节杆的长度方向与X轴平行，平衡调节杆的宽度方向与Y轴平行；平衡调节杆安装于支撑座的顶部，支撑座与平衡调节杆的连接处为支点，支点偏离平衡调节杆的中心位置，支点位于靠近第一柔顺支撑架的一侧；第一柔顺支撑架位于平衡调节杆的一端，承载平台固定安装于第一柔顺支撑架顶部；平衡质量块可拆卸安装于平衡调节杆的另一端，解决了现有技术的柔性连接结构承载力不够且无法消除热应力从而对巨量转移的芯片的良率造成影响的问题。
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公开(公告)号：CN116518010A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310521791.1
申请日：2023-05-10
Applicant: 广东工业大学
IPC: F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/067 , F16F7/01
Abstract: 减振结构及其装置和在MicroLED检测设备的用途，减振结构，包括：外座、中心座、柔性铰链和颗粒阻塞机构；阻塞腔内设有颗粒件；活塞可复位移动地限位于主压段，用于压制颗粒件；从压段的一端连通于主压段，从压段的另一端连接于其中一段自适调节部；同一个柔性铰链对应设置有多个长度不同的阻塞管。减振装置，其将多个减振结构以圆周阵列方式分布于下平台。本申请提供一种阻尼与柔度自适应变化的减振结构，其通过颗粒阻塞机构的活塞活动于阻塞腔，以将阻塞腔的颗粒件压制，结合多个长度不同的阻塞管调节阻尼和柔度，从而实现减振结构的自适应抑振的效果，解决了现有减振器的调节结构及方式单一，抑振频带窄导致适用环境少的问题。
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公开(公告)号：CN115402015A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211342675.5
申请日：2022-10-31
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本申请公开了一种用于龙门系统热畸变自消除的柔性连接关节系统，包括：铸铁机架、大理石基台和大理石龙门架，大理石立柱顶部设置有重载导轨副和横向热畸变自适应调节机构，大理石横梁通过重载导轨副和横向热畸变自适应调节机构与大理石立柱连接，大理石基台底部通过类Whiffletree结构的正交柔性铰链一体化六点支撑机构与铸铁机架连接，大理石基台两侧通过类羊角正交柔性铰链连接机构与铸铁机架连接，正交柔性铰链一体化六点支撑机构和类羊角正交柔性铰链连接机构的数量均为3个，且均呈三点非对称分布。本发明能够有效消除龙门系统的热畸变，进而提升打印精度。
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公开(公告)号：CN114512579B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210152777.4
申请日：2022-02-18
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及Mini/Micro LED芯片转移封装技术领域，特别是一种Mini/micro芯片柔性飞行刺晶装置。所述柔性飞行刺晶装置包括：第一驱动框架、第二驱动框架、安装座、第一刺晶驱动装置、第二刺晶驱动装置、第一柔性铰链、第二柔性铰链和刺针；所述第二驱动框架与所述第一框架通过所述第一柔性铰链连接；所述安装座与所述第二驱动框架的左侧和右侧通过第二柔性铰链连接；柔性飞行刺晶装置相比于激光转移技术成本更低，精度更有保障；相比于真空吸嘴转移技术，转移效率更高，转移质量更好；相比于传统的刺晶装置，通过实现针头，芯片，基板的相对静止，改良了刺晶工艺，使得刺晶转移效率更好，转移精度更好。
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公开(公告)号：CN114512584B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210151547.6
申请日：2022-02-18
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L33/48 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及Mini/Micro LED芯片转移封装领域，特别是一种Mini/micro芯片快速转移封装系统。飞行刺晶装置包括：驱动支撑板、安装座、第一刺晶驱动装置、第二刺晶驱动装置、第一柔性铰链、第二柔性铰链和刺针；所述第一刺晶驱动装置和所述第二刺晶驱动装置安装于所述驱动支撑板；所述第一刺晶驱动装置的驱动端水平向右穿过对应位置的所述第一柔性铰链；所述第二刺晶驱动装置的驱动端水平向左穿过对应位置的所述第一柔性铰链；所述安装座通过所述第二柔性铰链两个刺晶驱动装置的驱动端铰接；所述快速转移封装系统结构简单，应用成本更低，能实现续不间歇的刺晶操作，保证LED芯片的转移精度的前提下提高了转移封装效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116169068A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310315499.4
申请日：2023-03-27
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种高温度均匀度的模块化加热台和温度控制方法。一种高温度均匀度的模块化加热台，包括加热台、第一油泵、第二油泵和控制器；所述加热台包括加热模块阵列、加热盒体以及盖设于所述加热盒体的盖板，所述盖板的上表面用于放置目标衬底，所述加热盒体设置有油浴腔，所述油浴腔用于填充油浴介质，所述油浴腔内设有所述加热模块阵列。所述高温度均匀度的模块化加热台，能够实现温度的高均匀分布，降低温度梯度对对位精度的影响，提高芯片转移的精度和良率，冷却效果和散热效果好，温度控制精确，解决了现有温度梯度产生的空气湍流以及基板热翘曲对设备转移精度造成影响的问题。
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公开(公告)号：CN116021885A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202310065415.6
申请日：2023-01-31
Applicant: 广东工业大学
IPC: B41J2/01
Abstract: 本发明公开了喷墨打印设备的柔性装置确定方法、系统、设备和介质，通过响应接收到的喷墨打印设备安装数据，获取喷墨打印设备安装数据中的安装场景和柔性结构安装平面。根据柔性结构安装平面，确定喷墨打印设备安装数据对应的初始柔性装置。根据安装场景和初始柔性装置，确定喷墨打印设备安装数据对应的目标柔性装置。基于OLED喷墨打印设备对应的柔性结构安装平面和安装场景，在需要抑制变形的部分合理安装对应的目标柔性装置，使得选用的柔性装置能够最大程度降低OLED喷墨打印设备热变形程度，同时解决OLED喷墨打印设备的热畸变校正、散热和阻热问题。
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公开(公告)号：CN115402015B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202211342675.5
申请日：2022-10-31
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本申请公开了一种用于龙门系统热畸变自消除的柔性连接关节系统，包括：铸铁机架、大理石基台和大理石龙门架，大理石立柱顶部设置有重载导轨副和横向热畸变自适应调节机构，大理石横梁通过重载导轨副和横向热畸变自适应调节机构与大理石立柱连接，大理石基台底部通过类Whiffletree结构的正交柔性铰链一体化六点支撑机构与铸铁机架连接，大理石基台两侧通过类羊角正交柔性铰链连接机构与铸铁机架连接，正交柔性铰链一体化六点支撑机构和类羊角正交柔性铰链连接机构的数量均为3个，且均呈三点非对称分布。本发明能够有效消除龙门系统的热畸变，进而提升打印精度。
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公开(公告)号：CN114527298A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210152767.0
申请日：2022-02-18
Applicant: 广东工业大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明涉及Mini/Micro LED封装检测领域，特别是一种主/被动抑振融合的纳米平台。所述纳米云台包括：龙门架、输出平台、滑杆、第一柔性板簧件、第二柔性板簧件、硬质弹簧件、夹紧组件、应变片、磁性提升组件、压电顶升件和测距仪；所述纳米云台利用柔性机构在连接大质量的情况下，高频位移分量输出响应小的特性，实现了原子力显微镜在高频段范围内位移的稳定维持，低频依靠压电堆叠驱动，利用反馈和前馈的手段，对原子力显微镜的位置进行主动调整，能实现低频主动调整和高频被动隔振的同时，又降低了控制器传感器的性能要求和算法实现难度。
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公开(公告)号：CN118391399B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410823332.3
申请日：2024-06-25
Applicant: 广东工业大学
IPC: F16F15/073 , F16M11/04 , F16M11/10 , F16F15/02
Abstract: 本申请公开了一种多自由度精密隔振装置及精密光学元件检测系统，包括：多维载荷纳米云台和多维调谐质量阻尼器和底座，多维调谐质量阻尼器设置在底座上，多维载荷纳米云台设置在多维调谐质量阻尼器上，多维载荷纳米云台包括中心台面、支撑块以及框体结构，框体结构上设置有XY主动隔振模块，XY主动隔振模块通过XY平面解耦单元与中心台面连接，支撑块上设置有Z向主动隔振单元，支撑块顶部设置有加速度传感器，多维调谐质量阻尼器由中间的主负载质量块和外部一体式柔性铰链平台构成。本发明具有高定位精度的特点，能够实现三维隔振和多向载荷的处理，从而有效提高AFM在各种复杂工作环境下的稳定性和精度。
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