公开(公告)号：CN114527298B

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202210152767.0

申请日：2022-02-18

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 汤晖 ,  朱钟源 ,  黄云伟 ,  林志杭 ,  陈新

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明涉及Mini/Micro LED封装检测领域，特别是一种主/被动抑振融合的纳米平台。所述纳米云台包括：龙门架、输出平台、滑杆、第一柔性板簧件、第二柔性板簧件、硬质弹簧件、夹紧组件、应变片、磁性提升组件、压电顶升件和测距仪；所述纳米云台利用柔性机构在连接大质量的情况下，高频位移分量输出响应小的特性，实现了原子力显微镜在高频段范围内位移的稳定维持，低频依靠压电堆叠驱动，利用反馈和前馈的手段，对原子力显微镜的位置进行主动调整，能实现低频主动调整和高频被动隔振的同时，又降低了控制器传感器的性能要求和算法实现难度。

公开(公告)号：CN114527298A

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN202210152767.0

申请日：2022-02-18

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 汤晖 ,  朱钟源 ,  黄云伟 ,  林志杭 ,  陈新

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明涉及Mini/Micro LED封装检测领域，特别是一种主/被动抑振融合的纳米平台。所述纳米云台包括：龙门架、输出平台、滑杆、第一柔性板簧件、第二柔性板簧件、硬质弹簧件、夹紧组件、应变片、磁性提升组件、压电顶升件和测距仪；所述纳米云台利用柔性机构在连接大质量的情况下，高频位移分量输出响应小的特性，实现了原子力显微镜在高频段范围内位移的稳定维持，低频依靠压电堆叠驱动，利用反馈和前馈的手段，对原子力显微镜的位置进行主动调整，能实现低频主动调整和高频被动隔振的同时，又降低了控制器传感器的性能要求和算法实现难度。