公开(公告)号：CN118391399B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410823332.3

申请日：2024-06-25

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 林志杭 ,  汤晖 ,  潘子豪 ,  黄成思 ,  蔡焕浩 ,  李晟熙

IPC: F16F15/073 ,  F16M11/04 ,  F16M11/10 ,  F16F15/02

Abstract: 本申请公开了一种多自由度精密隔振装置及精密光学元件检测系统，包括：多维载荷纳米云台和多维调谐质量阻尼器和底座，多维调谐质量阻尼器设置在底座上，多维载荷纳米云台设置在多维调谐质量阻尼器上，多维载荷纳米云台包括中心台面、支撑块以及框体结构，框体结构上设置有XY主动隔振模块，XY主动隔振模块通过XY平面解耦单元与中心台面连接，支撑块上设置有Z向主动隔振单元，支撑块顶部设置有加速度传感器，多维调谐质量阻尼器由中间的主负载质量块和外部一体式柔性铰链平台构成。本发明具有高定位精度的特点，能够实现三维隔振和多向载荷的处理，从而有效提高AFM在各种复杂工作环境下的稳定性和精度。

公开(公告)号：CN119467593A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411820176.1

申请日：2024-12-11

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 汤晖 ,  潘子豪 ,  李晟熙 ,  林志杭 ,  黄成思 ,  蔡焕浩

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/06 ,  F16F3/02

Abstract: 本发明公开了一种高静低动刚度特性的纳米云台，纳米云台包括基架、输出平台、原子力显微镜探针和准零刚度机构；输出平台沿竖直方向活动安装在基架上；原子力显微镜探针安装在输出平台上；准零刚度机构包括第一安装块、第二安装块和准零刚度单元，准零刚度单元安装在第一安装块和第二安装块之间，第一安装块用于连接基架，第二安装块用于连接输出平台；准零刚度单元包括正刚度机构与负刚度机构，正刚度机构用于向输出平台施加支持力，负刚度机构沿水平方向设置且被配置为在正刚度机构向输出平台施加支持力时抵消正刚度机构在竖直方向上的刚度。在纳米云台中引入准零刚度结构，纳米云台获得更低的系统固有频率。

公开(公告)号：CN118391399A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410823332.3

申请日：2024-06-25

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 林志杭 ,  汤晖 ,  潘子豪 ,  黄成思 ,  蔡焕浩 ,  李晟熙

IPC: F16F15/073 ,  F16M11/04 ,  F16M11/10 ,  F16F15/02

Abstract: 本申请公开了一种多自由度精密隔振装置及精密光学元件检测系统，包括：多维载荷纳米云台和多维调谐质量阻尼器和底座，多维调谐质量阻尼器设置在底座上，多维载荷纳米云台设置在多维调谐质量阻尼器上，多维载荷纳米云台包括中心台面、支撑块以及框体结构，框体结构上设置有XY主动隔振模块，XY主动隔振模块通过XY平面解耦单元与中心台面连接，支撑块上设置有Z向主动隔振单元，支撑块顶部设置有加速度传感器，多维调谐质量阻尼器由中间的主负载质量块和外部一体式柔性铰链平台构成。本发明具有高定位精度的特点，能够实现三维隔振和多向载荷的处理，从而有效提高AFM在各种复杂工作环境下的稳定性和精度。