公开(公告)号：CN117120213A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280024991.X

申请日：2022-03-24

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  系山光纪 ,  关谷仁志 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24

Abstract: 研磨垫，其具有成为研磨层的聚氨酯片材和设置于该聚氨酯片材的开口的终点检测窗，在拉伸模式、频率1.0Hz、10～100℃的条件下进行的所述终点检测107窗Pa的以上动态，所述终点检测窗的粘弹性测定中，9080℃℃时时的的储D硬度能模(D量W80E’)W90为为401以上.0×，所述终点检测窗的20℃时的D硬度(DW20)为40～90。

公开(公告)号：CN116897097A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202280015018.1

申请日：2022-03-23

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见沢大和

IPC: B24B37/20

Abstract: 一种研磨垫，包括研磨层，所述研磨层具有用于对被研磨物进行研磨加工的研磨面，所述研磨垫中，所述研磨层包含在所述研磨层内形成中空体的中空微小球体，所述研磨层的剖面具有10μm～14μm的平均开孔径，在将1μm的范围表示为1级的所述研磨层的剖面的开孔径直方图中，25μm以上的开孔数的总和相对于所述剖面的总开孔数而为5％以下，25μm以上的各级的开孔面积的总和相对于所述剖面的合计开孔面积而为20％以下。

公开(公告)号：CN116867606A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202280015279.3

申请日：2022-03-29

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见沢大和 ,  越智恵介 ,  川崎哲明

IPC: B24B37/24

Abstract: 一种研磨垫，具有包含聚氨基甲酸酯树脂发泡体的研磨层，所述聚氨基甲酸酯树脂发泡体源自异氰酸酯末端预聚物及硬化剂，所述研磨垫中，通过X射线小角散射法测定的所述研磨层中的硬链段间的距离为9.5nm以下，或者，通过脉冲NMR法在80℃下所测定的所述研磨层中的非晶相的含有重量比例(NC80)相对于通过脉冲NMR法在80℃下所测定的所述研磨层中的结晶相的含有重量比例(CC80)的比(NC80/CC80)为2.6～3.1，通过脉冲NMR法在40℃下所测定的所述研磨层中的非晶相的含有重量比例(NC40)相对于通过脉冲NMR法在40℃下所测定的所述研磨层中的结晶相的含有重量比例(CC40)的比(NC40/CC40)为0.5～0.9。

公开(公告)号：CN119013122A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380028544.6

申请日：2023-03-23

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  系山光纪 ,  关谷仁志 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/013 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其具有研磨层、和设置于该研磨层的开口的终点检测窗，在拉伸模式、频率1.6Hz、30～55℃、及浸水状态的条件下进行的动态粘弹性测定中，40℃时的前述终点检测窗的储能模量E’w40与40℃时的前述研磨层的储能模量E’p40之比(E’p40/E’w40)为0.70～3.00。

公开(公告)号：CN116917081A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202180094402.0

申请日：2021-03-22

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  松冈立马 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24

Abstract: 研磨垫，其具备聚氨酯片材作为研磨层，该聚氨酯片材的、在频率1.6Hz的弯曲模式条件下进行的动态粘弹性测定中的40℃的储能模量E’B40相对于在频率1.6Hz的拉伸模式条件下进行的动态粘弹性测定中的40℃的储能模量E’T40之比(E’B40/E’T40)为0.60～1.60。

公开(公告)号：CN116887946A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202280015335.3

申请日：2022-03-18

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 川村佳秀 ,  立野哲平 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见沢大和 ,  越智恵介 ,  川崎哲明

IPC: B24B37/24

Abstract: 一种研磨垫，具有包含聚氨基甲酸酯树脂发泡体的研磨层，所述聚氨基甲酸酯树脂发泡体包含异氰酸酯末端预聚物与硬化剂，所述研磨垫中，通过脉冲NMR法在80℃下所测定的所述研磨层中的非晶相的含有重量比例(NC80)相对于通过脉冲NMR法在40℃下所测定的所述研磨层中的非晶相的含有重量比例(NC40)的比(NC80/NC40)为1.5～2.5。