公开(公告)号：CN117120213A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280024991.X

申请日：2022-03-24

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  系山光纪 ,  关谷仁志 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24

Abstract: 研磨垫，其具有成为研磨层的聚氨酯片材和设置于该聚氨酯片材的开口的终点检测窗，在拉伸模式、频率1.0Hz、10～100℃的条件下进行的所述终点检测107窗Pa的以上动态，所述终点检测窗的粘弹性测定中，9080℃℃时时的的储D硬度能模(D量W80E’)W90为为401以上.0×，所述终点检测窗的20℃时的D硬度(DW20)为40～90。

公开(公告)号：CN116348245A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202180065924.8

申请日：2021-09-27

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  松冈立马 ,  栗原浩 ,  鸣岛早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/22

Abstract: 本发明涉及具备研磨层和缓冲层的研磨垫，在干燥状态、频率10rad/s、20～100℃的弯曲模式条件下进行的动态粘弹性测定的40℃时的储能模量E’B40相对在干燥状态、频率10rad/s、20～100℃的压缩模式条件下进行的动态粘弹性测定的40℃时的储能模量E’C40之比E’B40/E’C40为3.0以上15.0以下，在前述弯曲模式条件下进行的动态粘弹性测定中的损耗因子tanδ在40℃以上70℃以下的范围内为0.10以上0.30以下。

公开(公告)号：CN112512747A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980049927.5

申请日：2019-09-27

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 松冈立马 ,  栗原浩 ,  鸣岛早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的目的是提供能够减少划痕产生的研磨垫及研磨加工物的制造方法。研磨垫，其具备聚氨酯片作为研磨层，在浸水状态下以频率1.6Hz、20～100℃的条件进行的动态粘弹性测定中，所述聚氨酯片在40～60℃的范围内具有损耗角正切tanδ的峰。

公开(公告)号：CN112512747B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201980049927.5

申请日：2019-09-27

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 松冈立马 ,  栗原浩 ,  鸣岛早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的目的是提供能够减少划痕产生的研磨垫及研磨加工物的制造方法。研磨垫，其具备聚氨酯片作为研磨层，在浸水状态下以频率1.6Hz、20～100℃的条件进行的动态粘弹性测定中，所述聚氨酯片在40～60℃的范围内具有损耗角正切tanδ的峰。

公开(公告)号：CN119013122A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380028544.6

申请日：2023-03-23

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  系山光纪 ,  关谷仁志 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/013 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其具有研磨层、和设置于该研磨层的开口的终点检测窗，在拉伸模式、频率1.6Hz、30～55℃、及浸水状态的条件下进行的动态粘弹性测定中，40℃时的前述终点检测窗的储能模量E’w40与40℃时的前述研磨层的储能模量E’p40之比(E’p40/E’w40)为0.70～3.00。

公开(公告)号：CN116917081A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202180094402.0

申请日：2021-03-22

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  松冈立马 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24

Abstract: 研磨垫，其具备聚氨酯片材作为研磨层，该聚氨酯片材的、在频率1.6Hz的弯曲模式条件下进行的动态粘弹性测定中的40℃的储能模量E’B40相对于在频率1.6Hz的拉伸模式条件下进行的动态粘弹性测定中的40℃的储能模量E’T40之比(E’B40/E’T40)为0.60～1.60。