公开(公告)号：CN117120213A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280024991.X

申请日：2022-03-24

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  系山光纪 ,  关谷仁志 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24

Abstract: 研磨垫，其具有成为研磨层的聚氨酯片材和设置于该聚氨酯片材的开口的终点检测窗，在拉伸模式、频率1.0Hz、10～100℃的条件下进行的所述终点检测107窗Pa的以上动态，所述终点检测窗的粘弹性测定中，9080℃℃时时的的储D硬度能模(D量W80E’)W90为为401以上.0×，所述终点检测窗的20℃时的D硬度(DW20)为40～90。

公开(公告)号：CN119013122A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380028544.6

申请日：2023-03-23

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 立野哲平 ,  系山光纪 ,  关谷仁志 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  山口早月 ,  高见泽大和

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/013 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其具有研磨层、和设置于该研磨层的开口的终点检测窗，在拉伸模式、频率1.6Hz、30～55℃、及浸水状态的条件下进行的动态粘弹性测定中，40℃时的前述终点检测窗的储能模量E’w40与40℃时的前述研磨层的储能模量E’p40之比(E’p40/E’w40)为0.70～3.00。