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公开(公告)号：CN116190295B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310480227.X
申请日：2023-04-28
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L21/68 , H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种半导体元器件转移装置及转移方法，在使用转移印章对半导体元器件进行转移时对转移印章的运动精度进行准确测量的目的，进而能够提升转移印章与半导体元器件之间的对准精度，保证了制备的产品的良品率，解决了相关技术中转移印章与临时载板或驱动电路背板对齐后，仅依靠导轨的大行程上下运动无法保证Micro LED芯片的精确拾取或者准确放置到驱动电路背板预定位置，从而导致转移的良率下降，影响后续相关制程的技术问题。
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公开(公告)号：CN115373433B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211306426.0
申请日：2022-10-25
Applicant: 季华实验室(CN)
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：确定初始条件参数，并根据初始条件参数构建转台控制函数；获取旋转组件对应的多个分段旋转角度；分别根据各个分段旋转角度驱动曲柄滑块式转台进行旋转，记录各分段对应的测量旋转角度；根据各分段对应的分段旋转角度和测量旋转角度计算转角偏差；根据转台控制函数将转角偏差转换为直线运动误差；根据直线运动误差对各分段下直线运动模块的直线运动位移进行补偿。通过上述方式，对转角进行校准，补偿直线运动模块的直线运动位移，提升了曲柄滑块式转台转角的控制精度。
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公开(公告)号：CN119963559A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510452247.5
申请日：2025-04-10
Applicant: 季华实验室
IPC: G06T7/00 , G06N3/0464 , G06N3/0495 , G06N3/08 , G06T7/13 , G06V10/10 , G06V10/20 , G06V10/25 , G06V10/26 , G06V10/764 , H01F41/02
Abstract: 本发明涉及图像处理领域，本发明公开了一种缺陷检测和评级方法、装置、设备及存储介质，缺陷检测和评级方法包括：对电感进行图像采集，以得到基础图像；构建语义分割网络，并利用语义分割网络对基础图像进行区域提取，以得到线圈轮廓区域；对线圈轮廓区域进行图像处理和区域筛选，以得到特征区域；提取磁芯中心坐标，并计算特征区域的边缘点与磁芯中心坐标的距离，以得到磁芯距离数据；构建缺陷等级量化神经网络，并利用缺陷等级量化神经网络对磁芯距离数据进行评级，以得到评级结果；本发明综合运用多样化的图像处理技术和神经网络，全面优化了缺陷检测的流程和精度，显著提高了检测的准确性和效率。
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公开(公告)号：CN116811447B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311081736.1
申请日：2023-08-25
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及视觉定位技术领域，公开了一种基板纠偏和定位方法及相关设备，该基板纠偏和定位方法：通过获取基板偏转的基准角度以及目标位置，在基板实际纠偏和定位中，获取实时的基板偏转的实际角度和基板的实际位置，根据基准角度和实际角度的角度偏差控制转台对基板进行纠偏，根据目标位置和实际位置的位置偏差控制工作台对基板进行定位，解决了由于现有对多相机无共同视野进行标定的方法成本较高，标定过程复杂，计算繁琐的基板纠偏问题，通过本申请设置的基板纠偏和定位方法，不但可以满足基板纠偏微米级精度，而且相较于利用三维立体坐标系标定更加简单和高效。
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公开(公告)号：CN115309196B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211237952.6
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台控制方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：获取旋转组件对应的待旋转角度；基于预设函数关系根据待旋转角度计算目标距离；控制直线运动模块的运动距离达到目标距离。通过上述方式，建立直线运动距离与旋转角度之间的函数关系，利用函数关系结合旋转角度需求，控制直线运动模块的直线运动距离，实现了高精度控制转台的旋转角度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119594869A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411747886.6
申请日：2024-12-02
Applicant: 季华实验室
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种多通道膜厚检测装置及方法，涉及光谱检测技术领域，多通道膜厚检测装置包括光源组件、处理组件及测量组件，所述测量组件包括多个测量头，测量头的一端与光源组件连接，测量头的另一端与处理组件连接；测量头用于将光源组件的光源信号传输至预设位置上，并将从预设位置反射回的检测信号发送至处理组件，处理组件用于根据检测信号计算厚度信息。通过本发明的技术方案成本显著降低，避免因不同设备检测引入的误差。并且通过调整各个测量头的测量时序，能够进一步实现循环测量，提高检测效率。
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公开(公告)号：CN116209108A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310337362.9
申请日：2023-03-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种电磁加热装置，通过在基板上设置有至少一个列电极、至少一个行电极和多个电磁感应单元，并使各个电磁感应单元的第一电极均与一个行电极连接，各个电磁感应单元的第二电极均与一个列电极连接，所有电磁感应单元的第一电极不全连接于同一个行电极，所有电磁感应单元的第二电极不全连接于同一个列电极，通过使对应的电磁感应单元自身的第一电极和第二电极中的一个与外部电源的正极连通，自身的第一电极和第二电极中的另一个与外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通，则对应的电磁感应单元即可产生对外加热的交变磁场，因此，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热。
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公开(公告)号：CN115593915A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211243844.X
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室(CN)
IPC: B65G47/80
Abstract: 本发明公开一种高精度转台，所述高精度转台包括承载台、转盘和曲柄滑块驱动机构；所述转盘沿其旋转中心转动安装在所述承载台；所述曲柄滑块驱动机构，设于所述承载台与所述转盘之间，用于驱使所述转盘转动，所述曲柄滑块驱动机构包括直线运动模块组件、旋转运动模块组件和连杆组件，所述连杆组件连接所述直线运动模块组件和所述旋转运动模块组件，所述直线运动模块组件与所述承载台连接，所述旋转运动模块组件与所述转盘连接。本发明提供的高精度转台转角范围小，精度要求高，承载能力强，转动力矩高，转动平稳，适合各种场合。
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公开(公告)号：CN115373433A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211306426.0
申请日：2022-10-25
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：确定初始条件参数，并根据初始条件参数构建转台控制函数；获取旋转组件对应的多个分段旋转角度；分别根据各个分段旋转角度驱动曲柄滑块式转台进行旋转，记录各分段对应的测量旋转角度；根据各分段对应的分段旋转角度和测量旋转角度计算转角偏差；根据转台控制函数将转角偏差转换为直线运动误差；根据直线运动误差对各分段下直线运动模块的直线运动位移进行补偿。通过上述方式，对转角进行校准，补偿直线运动模块的直线运动位移，提升了曲柄滑块式转台转角的控制精度。
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公开(公告)号：CN115309196A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202211237952.6
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台控制方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：获取旋转组件对应的待旋转角度；基于预设函数关系根据待旋转角度计算目标距离；控制直线运动模块的运动距离达到目标距离。通过上述方式，建立直线运动距离与旋转角度之间的函数关系，利用函数关系结合旋转角度需求，控制直线运动模块的直线运动距离，实现了高精度控制转台的旋转角度。
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