公开(公告)号：CN110411952B

公开(公告)日：2022-05-20

申请号：CN201910633212.6

申请日：2019-07-15

Applicant: 复旦大学

Inventor： 郑玉祥 ,  涂华恬 ,  陈良尧 ,  张荣君 ,  王松有 ,  李晶 ,  杨月梅 ,  于宏柱

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明公开了一种多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法。本发明采用多通道偏振器阵列同时获取不同偏振态信号，不同偏振态信号通过光纤阵列耦合器与光纤阵列适配器并行传送到多通道光谱仪中，各通道偏振信号经多通道光谱仪分光在二维面阵列探测器形成多偏振态的光谱分布，再通过傅里叶分析方法对多偏振态光谱信号进行数据处理获得椭偏参数。本发明的系统和方法克服了利用机械运动部件传动进行椭偏光谱测量的缺点，能实时快速地获取椭圆偏振光谱以及样品的其它材料参数。

公开(公告)号：CN110411952A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201910633212.6

申请日：2019-07-15

Applicant: 复旦大学

Inventor： 郑玉祥 ,  涂华恬 ,  陈良尧 ,  张荣君 ,  王松有 ,  李晶 ,  杨月梅 ,  于宏柱

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明公开了一种多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法。本发明采用多通道偏振器阵列同时获取不同偏振态信号，不同偏振态信号通过光纤阵列耦合器与光纤阵列适配器并行传送到多通道光谱仪中，各通道偏振信号经多通道光谱仪分光在二维面阵列探测器形成多偏振态的光谱分布，再通过傅里叶分析方法对多偏振态光谱信号进行数据处理获得椭偏参数。本发明的系统和方法克服了利用机械运动部件传动进行椭偏光谱测量的缺点，能实时快速地获取椭圆偏振光谱以及样品的其它材料参数。

公开(公告)号：CN112903598B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110084277.7

申请日：2021-01-21

Applicant: 复旦大学

Inventor： 涂华恬 ,  郑玉祥 ,  陈良尧 ,  张荣君 ,  王松有 ,  李晶 ,  赵海斌 ,  杨月梅

IPC: G01N21/21 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域，具体为一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法。本发明的原理是对由起偏器出射的两束偏振方向相互垂直的线偏光，经过已知介电函数谱的样品后，其反射椭偏光的椭圆方位角的进行差分光谱分析，准确地获得起偏器方位角的位置。其中通过可旋转检偏器以及光栅光谱仪，对550‑650 nm光谱范围内的200个以上的波长点，完成差分光谱数据的采集，分析确定偏振元件方位角的位置，完成定标过程。本发明通过Si和Au体材料的测试验证；克服了传统定标方法对反射材料光学常数的精确度、探测器光强灵敏度要求较高，稳定性较差等缺点，能快速准确地完成椭偏测量系统中偏振元件方位角的定标。

公开(公告)号：CN112903598A

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：CN202110084277.7

申请日：2021-01-21

Applicant: 复旦大学

Inventor： 涂华恬 ,  郑玉祥 ,  陈良尧 ,  张荣君 ,  王松有 ,  李晶 ,  赵海斌 ,  杨月梅

IPC: G01N21/21 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域，具体为一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法。本发明的原理是对由起偏器出射的两束偏振方向相互垂直的线偏光，经过已知介电函数谱的样品后，其反射椭偏光的椭圆方位角的进行差分光谱分析，准确地获得起偏器方位角的位置。其中通过可旋转检偏器以及光栅光谱仪，对550‑650 nm光谱范围内的200个以上的波长点，完成差分光谱数据的采集，分析确定偏振元件方位角的位置，完成定标过程。本发明通过Si和Au体材料的测试验证；克服了传统定标方法对反射材料光学常数的精确度、探测器光强灵敏度要求较高，稳定性较差等缺点，能快速准确地完成椭偏测量系统中偏振元件方位角的定标。