公开(公告)号：CN110411952B

公开(公告)日：2022-05-20

申请号：CN201910633212.6

申请日：2019-07-15

Applicant: 复旦大学

Inventor： 郑玉祥 ,  涂华恬 ,  陈良尧 ,  张荣君 ,  王松有 ,  李晶 ,  杨月梅 ,  于宏柱

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明公开了一种多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法。本发明采用多通道偏振器阵列同时获取不同偏振态信号，不同偏振态信号通过光纤阵列耦合器与光纤阵列适配器并行传送到多通道光谱仪中，各通道偏振信号经多通道光谱仪分光在二维面阵列探测器形成多偏振态的光谱分布，再通过傅里叶分析方法对多偏振态光谱信号进行数据处理获得椭偏参数。本发明的系统和方法克服了利用机械运动部件传动进行椭偏光谱测量的缺点，能实时快速地获取椭圆偏振光谱以及样品的其它材料参数。

公开(公告)号：CN110411952A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201910633212.6

申请日：2019-07-15

Applicant: 复旦大学

Inventor： 郑玉祥 ,  涂华恬 ,  陈良尧 ,  张荣君 ,  王松有 ,  李晶 ,  杨月梅 ,  于宏柱

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明公开了一种多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法。本发明采用多通道偏振器阵列同时获取不同偏振态信号，不同偏振态信号通过光纤阵列耦合器与光纤阵列适配器并行传送到多通道光谱仪中，各通道偏振信号经多通道光谱仪分光在二维面阵列探测器形成多偏振态的光谱分布，再通过傅里叶分析方法对多偏振态光谱信号进行数据处理获得椭偏参数。本发明的系统和方法克服了利用机械运动部件传动进行椭偏光谱测量的缺点，能实时快速地获取椭圆偏振光谱以及样品的其它材料参数。