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公开(公告)号:CN103163078B
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201310078010.2
申请日:2013-03-12
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域,具体为一种提高椭偏仪测量精度的方法。所述椭偏仪特征包括依次连接的如下部件:光源、固定起偏器、旋转起偏器、样品、检偏器、探测器等;其中,旋转起偏器和检偏器以角速度保持 的比例关系同步旋转。该型椭偏仪具有两种自洽的方法获取椭偏参数,进而获取被测样品的各类光学参数。传统上,一般采用两种方法之一获取椭偏参数,或者对两种方法获取的参数进行简单的平均。本发明提出一种新的数据处理方法,将两种方法有机结合起来,能显著提高测量准确度。
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公开(公告)号:CN103163078A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201310078010.2
申请日:2013-03-12
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域,具体为一种提高椭偏仪测量精度的方法。所述椭偏仪特征包括依次连接的如下部件:光源、固定起偏器、旋转起偏器、样品、检偏器、探测器等;其中,旋转起偏器和检偏器以角速度保持的比例关系同步旋转。该型椭偏仪具有两种自洽的方法获取椭偏参数,进而获取被测样品的各类光学参数。传统上,一般采用两种方法之一获取椭偏参数,或者对两种方法获取的参数进行简单的平均。本发明提出一种新的数据处理方法,将两种方法有机结合起来,能显著提高测量准确度。
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公开(公告)号:CN101819151B
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN201010153460.X
申请日:2010-04-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域,具体公开了一种主动式大气光谱快速获取系统。该系统将脉冲高压加在电离室中的金属针上,将气体样品电离而发光,光经透镜系统聚焦后,通过可调狭缝,被平面镜M1反射到柱形凹面镜M2后成为平行光,再入射到由多光栅组成的复合光栅G上;调节各子光栅的方位角,使各子衍射光谱区落在相同的衍射张角内,再反射至组合式柱面镜M3,在入射面内沿波长分布方向对光谱线进行聚焦,成像在探测器D的受光面上;最后由探测器将探测到的光信号转换为电信号,由数据采集卡送到计算机内进行数据处理,从而快速获得气体样品的发射光谱。
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公开(公告)号:CN101819151A
公开(公告)日:2010-09-01
申请号:CN201010153460.X
申请日:2010-04-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域,具体公开了一种主动式大气光谱快速获取系统。该系统将脉冲高压加在电离室中的金属针上,将气体样品电离而发光,光经透镜系统聚焦后,通过可调狭缝,被平面镜M1反射到柱形凹面镜M2后成为平行光,再入射到由多光栅组成的复合光栅G上;调节各子光栅的方位角,使各子衍射光谱区落在相同的衍射张角内,再反射至组合式柱面镜M3,在入射面内沿波长分布方向对光谱线进行聚焦,成像在探测器D的受光面上;最后由探测器将探测到的光信号转换为电信号,由数据采集卡送到计算机内进行数据处理,从而快速获得气体样品的发射光谱。
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