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公开(公告)号:CN103163078B
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201310078010.2
申请日:2013-03-12
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域,具体为一种提高椭偏仪测量精度的方法。所述椭偏仪特征包括依次连接的如下部件:光源、固定起偏器、旋转起偏器、样品、检偏器、探测器等;其中,旋转起偏器和检偏器以角速度保持 的比例关系同步旋转。该型椭偏仪具有两种自洽的方法获取椭偏参数,进而获取被测样品的各类光学参数。传统上,一般采用两种方法之一获取椭偏参数,或者对两种方法获取的参数进行简单的平均。本发明提出一种新的数据处理方法,将两种方法有机结合起来,能显著提高测量准确度。
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公开(公告)号:CN103163078A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201310078010.2
申请日:2013-03-12
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明属于光学电子器件技术领域,具体为一种提高椭偏仪测量精度的方法。所述椭偏仪特征包括依次连接的如下部件:光源、固定起偏器、旋转起偏器、样品、检偏器、探测器等;其中,旋转起偏器和检偏器以角速度保持的比例关系同步旋转。该型椭偏仪具有两种自洽的方法获取椭偏参数,进而获取被测样品的各类光学参数。传统上,一般采用两种方法之一获取椭偏参数,或者对两种方法获取的参数进行简单的平均。本发明提出一种新的数据处理方法,将两种方法有机结合起来,能显著提高测量准确度。
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