控制光生伏打薄膜成分的方法

    公开(公告)号:CN102484169A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080039984.4

    申请日:2010-08-19

    CPC classification number: H01L31/0749 H01L31/0322 Y02E10/541

    Abstract: 本发明涉及一种在退火工艺期间降低光生伏打薄膜结构的元素损失的方法,包括:在衬底上沉积薄膜,其中薄膜包括单一化学元素或化合物;使用保护层涂覆薄膜以形成经涂覆的薄膜结构,其中保护层防止单一化学元素的一部分或化合物的一部分在退火工艺期间逸出;以及将经涂覆的薄膜结构退火以形成经涂覆的光生伏打薄膜结构,其中经涂覆的光生伏打薄膜保留有在退火期间由保护层防止逸出的单一化学元素的一部分或化合物的一部分。

    控制光生伏打薄膜成分的方法

    公开(公告)号:CN102484169B

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201080039984.4

    申请日:2010-08-19

    CPC classification number: H01L31/0749 H01L31/0322 Y02E10/541

    Abstract: 本发明涉及一种在退火工艺期间降低光生伏打薄膜结构的元素损失的方法,包括:在衬底上沉积薄膜,其中薄膜包括单一化学元素或化合物;使用保护层涂覆薄膜以形成经涂覆的薄膜结构,其中保护层防止单一化学元素的一部分或化合物的一部分在退火工艺期间逸出;以及将经涂覆的薄膜结构退火以形成经涂覆的光生伏打薄膜结构,其中经涂覆的光生伏打薄膜保留有在退火期间由保护层防止逸出的单一化学元素的一部分或化合物的一部分。

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