压力传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106716094B

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201580053508.0

    申请日:2015-09-28

    Abstract: 本发明为具备以下部分的压力传感器(1):具有空腔的传感器主体(2)、具有杆主体(20)和杆支承部(21A、21B)并且根据空腔与传感器主体(2)的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂(3)、以及基于形成于杆主体(20)的主体电阻部(31)和形成于杆支承部(21A、21B)的杆电阻部(32)的电阻值变化来对悬臂(3)的移位进行检测的移位检测部(4)。在杆支承部(21A)形成有划分槽(40),所述划分槽将杆电阻部(32)划分为与检测电极(35)串联电连接的第一电阻部(32a)和位于与第一电阻部(32a)相比靠相邻的其他的杆支承部(21B)的第二电阻部(32b)。杆支承部(21A、21B)的第一电阻部(32a)经由经由了主体电阻部(31)的第一路径(S1)和经由了第二电阻部(32b)的第二路径S2的并联路径与检测电极(35)电连接。

    多轴触觉传感器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113167668B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN201880099672.9

    申请日:2018-11-26

    Abstract: 提供小型且检测灵敏度高的、用于对3个轴方向的力和绕轴的力矩进行检测的多轴触觉传感器。本发明的多轴触觉传感器1是用于对3个轴方向的力和至少1个轴的绕轴的力矩进行检测的多轴触觉传感器1,其具备至少4个传感器元件,该至少4个传感器元件包括具有在规定部位具备第1电阻层43、第2电阻层53的梁构造的至少3个剪切力检测元件20、和具有在规定部位具备第3电阻层63、第4电阻层73的梁构造的至少1个按压力检测元件30,4个传感器元件的梁构造分别以其长度方向成为放射状的方式配置于传感器基板2,基于多个传感器元件中的配置于以放射状配置的中心为基准而旋转对称的位置的、2个以上的传感器元件的输出而对至少1个轴的绕轴的力矩进行检测。

    压力传感器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106716094A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201580053508.0

    申请日:2015-09-28

    Abstract: 本发明为具备以下部分的压力传感器(1):具有空腔的传感器主体(2)、具有杆主体(20)和杆支承部(21A、21B)并且根据空腔与传感器主体(2)的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂(3)、以及基于形成于杆主体(20)的主体电阻部(31)和形成于杆支承部(21A、21B)的杆电阻部(32)的电阻值变化来对悬臂(3)的移位进行检测的移位检测部(4)。在杆支承部(21A)形成有划分槽(40),所述划分槽将杆电阻部(32)划分为与检测电极(35)串联电连接的第一电阻部(32a)和位于与第一电阻部(32a)相比靠相邻的其他的杆支承部(21B)的第二电阻部(32b)。杆支承部(21A、21B)的第一电阻部(32a)经由经由了主体电阻部(31)的第一路径(S1)和经由了第二电阻部(32b)的第二路径S2的并联路径与检测电极(35)电连接。

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