探针板以及使用它的半导体晶片的检查装置

    公开(公告)号:CN101398441A

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200810161789.3

    申请日:2008-09-26

    CPC classification number: G01R31/3025

    Abstract: 本发明提供一种探针板以及使用探针板的半导体晶片的检查装置。可靠地处理来自与探针板相离的半导体晶片的接收信号。探针板(11)包括第1导电性端子(14)和发送接收电路(16)。半导体晶片(2)具有第2导电性端子(21)。第1导电性端子和第2导电性端子通过构成电容性耦合或电感性耦合,从而在两者之间进行信号的发送接收。发送接收电路(16)对经由电容性耦合或电感性耦合从半导体晶片(2)接收的信号进行还原或整形,从而发送至测试器(12)。由于探针板具有发送接收电路,因此在由探针板接收的信号的衰减量较小时,该信号的还原或整形变得可能。此后,将被还原或整形的信号发送到与探针板连接的测试器。因此,能够通过测试器高精度地判定由接收信号表示的数据。

    集成电路装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102270496A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201110132409.5

    申请日:2011-05-20

    Abstract: 本发明提供了集成电路装置,其中信道数检测电路50,在执行以使输出端子电压Vpgm达到电压V2的方式控制晶体管N2的升压开关控制的途中,在输出端子电压Vpgm下降时,根据下降后的输出端子电压Vpgm,检测操作信道数Nch,开关控制电路70采用根据操作信道数Nch调节的导通时间及截止时间的控制用时钟信号CLK执行升压开关控制。从而,升压开关控制中,即使操作信道数Nch增加时,也可以根据操作信道数Nch,更适当地执行升压开关控制,更适当地使电源电压升压到电压V2为止。

    集成电路装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102270496B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201110132409.5

    申请日:2011-05-20

    Abstract: 本发明提供了集成电路装置,其中信道数检测电路50,在执行以使输出端子电压Vpgm达到电压V2的方式控制晶体管N2的升压开关控制的途中,在输出端子电压Vpgm下降时,根据下降后的输出端子电压Vpgm,检测操作信道数Nch,开关控制电路70采用根据操作信道数Nch调节的导通时间及截止时间的控制用时钟信号CLK执行升压开关控制。从而,升压开关控制中,即使操作信道数Nch增加时,也可以根据操作信道数Nch,更适当地执行升压开关控制,更适当地使电源电压升压到电压V2为止。

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