-
公开(公告)号：CN115747739B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202211438098.X
申请日：2022-11-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种可见光‑中红外宽波段透明导电薄膜的制备方法，涉及一种红外透明导电薄膜的制备方法。本发明是要解决现有的红外光学材料无法兼容高红外透射率和高电导率的技术问题。本发明利用磁控溅射共溅射技术结合硫化处理的方式制备了可见光至中红外宽波段P型透明导电LaCuOS薄膜，制备工艺简单。本发明的LaCuOS薄膜的载流子浓度均在1019cm‑3以上，电导率均在30S/cm以上；镀有LaCuOS薄膜的蓝宝石可见光透过率高于60％，中红外透过率也可达约为50％，实现了P型透明半导体材料可见光‑中红外宽波段透过与电学性能的兼容。
-
公开(公告)号：CN112795883A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202011573076.5
申请日：2020-12-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高红外开关率的钒基氧化物薄膜的制备方法，涉及一种高红外开关率的薄膜的制备方法。本发明是要解决现有的氧化钒薄膜无法实现85％以上中红外透过率的同时保证较高红外开关率的技术问题。本发明方法结合了磁控溅射镀膜系统和后退火处理，该方法所需设备成本较低、工艺操作简单、性质稳定，可批量生产。本发明制备的钒基氧化物薄膜具有优异的红外开关性能，光开关率可达88％以上，同时保证了中波红外光区透过率可达85％以上。此种高红外开关率钒基氧化物薄膜保证了薄膜在服役过程中优异的红外透过率和优异的光开关性能，适用于智能窗、热致相变器件，尤其是激光防护器件的研制。
-
公开(公告)号：CN111276277A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010091737.4
申请日：2020-02-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有红外透明导电功能的窗口，属于红外光学材料领域及电子材料领域。本发明是要解决现有的红外透明导电功能的窗口无法兼顾电磁屏蔽和高红外透过率性能的技术问题。本发明的具有红外透明导电功能的窗口是由衬底和依次生长于所述衬底上的透明导电层和红外增透层组成。本发明所述的具有红外透明导电功能的窗口在0.78μm～2.5μm波长范围内透过率不低于80％，在2.5μm～5μm波长范围内透过率不低于75％，方块电阻不大于100Ω/sq，对1GHz～18GHz电磁波的屏蔽效率大于10dB。本发明应用于制备一种具有红外透明导电功能的窗口。
-
公开(公告)号：CN118501197A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410573565.2
申请日：2024-05-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N23/2204 , G01N23/2273
Abstract: 本发明公开了一种用于X射线光电子能谱原位测试的样品托及其应用，涉及光电子能谱原位测试领域，包括台架，还包括放置台，其用于放置测试样品，所述放置台的底部与台架固定连接，所述放置台顶部开设有弧形凹槽，环形台，所述环形台内壁与放置台转动连接，固定机构，所述固定机构安装于环形台上；该用于X射线光电子能谱原位测试的样品托，通过B驱动组件驱动A支架转动的同时，C驱动组件驱动B支架转动，从而使B支架带动按压件转动下压测试样品，多个按压件环绕测试样品对测试样品进行按压，使得测试样品与弧形凹槽的接触充分，保证测试样品与样品托有良好的接触与稳定性，从而保证测试的准确性和可靠性。
-
公开(公告)号：CN114112973B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202111476732.4
申请日：2021-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明提供了一种基于高载流子浓度导电薄膜的气体传感架构及传感器，该气体传感架构包括：第一气体吸附层、第二气体吸附层、周期微纳米金属层、支撑层和功能层；功能层为透明导电薄膜，透明导电薄膜的载流子浓度≥1×1019cm‑3；第一气体吸附层、周期微纳米金属层、支撑层和功能层依次叠加组成光学模块；光学模块用于利用外部的红外光源与探测器对目标待检测气体的浓度进行检测；其中，光学模块中的功能层用于反射红外光；第二气体吸附层和功能层组成电学模块；其中，电学模块用于根据功能层的阻值变化，利用外部的检测器对目标待检测气体的浓度进行检测。本发明提供的基于气体传感架构的传感器具有高灵敏度和大量程。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113235042B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202110516132.X
申请日：2021-05-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 抗激光损伤混杂VOx相的制备方法，本发明属于功能薄膜材料，它为了解决现有采用不同工艺制备的氧化钒薄膜的光学调制性能参差不齐，极大的限制了薄膜的激光防护效能的问题。制备方法：一、超声清洗基底材料和靶材；二、安装V2O3靶材；三、真空室抽气；四、设置沉积温度，采用直流偏压反溅清洗；五、当等离子亮起后降低气压至0.5～1.5Pa，同时通入0.3～0.8sccm的O2，设置偏压为‑100～‑140V，进行预溅射清洁靶材表面，然后打开挡板，沉积薄膜。本发明还可采用退火方法。本发明利用射频磁控溅射工艺，通过控制沉积工艺参数，制备了主要成分为VO2和V2O5的高VO2比例混杂晶态VOx相薄膜。
-
公开(公告)号：CN111690905B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202010589832.7
申请日：2020-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种多刺激响应型瞬时强光防护复合薄膜及其制备方法，本发明涉及一种瞬时强光防护复合薄膜及其制备方法。本发明解决现有的聚合物/液晶材料及器件在中红外波段防护效果不理想及稳定性较差的问题。复合薄膜由两侧表层及电致变色夹层组成，所述的两侧表层由外至内依次为衬底、热致变色层及透明导电层，所述的电致变色夹层由两侧的液晶分子取向层和中间的聚合物稳定液晶膜层组成；方法：一、制备热致变色层；二、制备透明导电层；三、制备液晶分子取向层；四、制备液晶均相混合液；五、制备电致变色层。本发明用于多刺激响应型瞬时强光防护复合薄膜及其制备。
-
公开(公告)号：CN110106496B
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201910537327.5
申请日：2019-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 一种半球形/共形内外表面异质膜层沉积的原子层沉积系统及其使用方法，涉及一种原子层沉积系统及其使用方法。本发明是要解决现有的原子层沉积系统只能进行平面衬底的膜层制备或非平面衬底所有表面膜层的制备，无法对半球形/共形内外表面进行异质膜层沉积的技术问题。本发明采用了前驱体换向阀、外壁前驱体进气口及内壁前驱体进气口，通过前驱体换向阀的调节，可以使前驱体只进入球形/共形基底内表面或外表面，从而实现在内外表面单独沉积，能够有效解决内外表面无法生长异质膜层的难题。本发明实现了在球形/共形内外表面均匀生长膜层，实现了基体上膜厚的不均匀性小于1％(Al2O3薄膜)。
-
公开(公告)号：CN111560602A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010287655.7
申请日：2020-04-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C14/35 , C23C14/08
Abstract: 一种氧化物薄膜表面复合的优化方法，涉及一种氧化物薄膜表面的优化方法。本发明是要解决传统薄膜制备方法不可避免的存在针孔、晶粒与晶粒之间存在缝隙，粗糙度比较大等特点，造成了一定程度上的湿热耐久性差能，而原子层沉积技术存在制备薄膜沉积速度低、成本高等缺点，不适应于完全采用原子层沉积制备厚度较大的薄膜的技术问题。本发明建立复合结构，通过修饰层的制备消除了结构层表面的针孔，使其表面缺陷得到补偿，化学成分更加的均一，表面势分布梯度更小，提高了膜层表面质量。本发明普适性好、设备要求低、制备简单、重复性好的优点，具有较好的推广价值。兼顾现有膜层制备技术的结构功能特性，且价格低廉，适于工业化生产。
-
公开(公告)号：CN114112100B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202111623400.4
申请日：2021-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及温度传感技术领域，尤其涉及一种温度敏感触头及分布式温度传感系统，该温度敏感触头包括金刚石基板、金属衬底和壳体；金刚石基板具有NV色心；金属衬底为周期性纳米金属结构，铺设在金刚石基板一侧的表面上，构成金刚石超表面，用于增强637nm波长等离子体信号；壳体套设在金刚石基板和金属衬底的外部，且设有输入光纤耦合口、输出光纤耦合口和波导耦合口；输入光纤耦合口和输出光纤耦合口均设置在金属衬底远离金刚石基板的一侧，且与金属衬底之间存在谐振空腔；波导耦合口为空心结构，穿入壳体，设于金刚石基板和金属衬底的一端。本发明可实现对温度的精准探测，且集成度高。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
30
records
(took 0.027 seconds)
