回焊方法及系统
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113871339A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202110176171.X

    申请日:2021-02-07

    Abstract: 提供一种对半导体工件进行回焊的系统,所述系统包括平台、第一真空模块及第二真空模块、以及能量源。平台包括基座及连接到基座的突出部,平台以可移动的方式沿着平台的高度方向以相对于半导体工件移动,突出部以可操作的方式固持及加热半导体工件,突出部包括第一部分及第二部分,第二部分被第一部分环绕且在空间上与第一部分隔开。第一真空模块及第二真空模块分别耦合到突出部的第一部分及第二部分,第一真空模块及第二真空模块可操作地以分别对第一部分及第二部分施加压力。能量源设置在平台之上,以对由平台的突出部固持的半导体工件进行加热。

    封装件及其形成方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115881650A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202210761135.4

    申请日:2022-06-29

    Abstract: 一种形成封装件的方法包括形成重建晶圆,该形成晶圆包括将多个器件管芯放置在载体上方,将多个器件管芯密封在密封剂中,以及在多个器件管芯和密封剂上方形成再分布结构。再分布结构包括多个介电层和位于多个介电层中的多个再分布线。该方法还包括对重建晶圆执行修整工艺。修整工艺形成用于重建晶圆的圆形边缘。对重建晶圆执行锯切工艺,使得重建晶圆包括笔直边缘。本发明的实施例还涉及封装件。

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