半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN106920787B

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN201611055735.X

    申请日:2016-11-25

    Abstract: 本发明实施例揭示一种半导体装置及其制造方法,所述半导体装置包含:半导体衬底;导电垫,其位于所述半导体衬底上;及第一电介质,其位于所述半导体衬底上方。所述半导体装置还包含:导电层,其放置于所述第一电介质中;及第二电介质,其放置于所述导电层上。在所述半导体装置中,所述导电层的至少一部分从所述第一电介质及所述第二电介质暴露。所述半导体装置进一步包含导电迹线,所述导电迹线部分地位于所述第二电介质上方且与所述导电层的所述经暴露部分接触。在所述半导体装置中,所述导电迹线在一端处连接到所述导电垫。

    双侧集成扇出封装件
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107039287B

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN201611107415.4

    申请日:2016-12-06

    Abstract: 一种用于形成贯通孔的方法包括在封装件上方形成介电层和在介电层上方形成RDL的步骤,其中,形成RDL包括形成晶种层,在晶种层上方形成第一图案化掩模,以及执行第一金属镀敷的步骤。该方法还包括在RDL的第一部分的顶部上形成贯通孔,其中,形成贯通孔包括在晶种层和RDL上方形成第二图案化掩模,以及执行第二金属镀敷。该方法还包括附接芯片至RDL的第二部分,以及将芯片和贯通孔包封在包封材料中。本发明实施例涉及双侧集成扇出封装件及其形成方法。

    半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN112103256A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201910966876.4

    申请日:2019-10-12

    Abstract: 本揭露实施例是有关于一种半导体装置及其制造方法。在本揭露实施例中,半导体装置包括封装组件,所述封装组件包括:多个集成电路管芯;包封体,位于所述多个集成电路管芯周围;重布线结构,位于所述包封体及所述多个集成电路管芯之上,所述重布线结构电耦合到所述多个集成电路管芯;多个插座,位于所述重布线结构之上,所述多个插座电耦合到所述重布线结构;以及支撑环,位于所述重布线结构之上且环绕所述多个插座,所述支撑环沿所述重布线结构的最外边缘设置,所述支撑环在横向上至少部分地与所述重布线结构交叠。

    形成封装件的方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117012709A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202310861640.0

    申请日:2023-07-13

    Abstract: 形成封装件的方法包括形成重建晶圆,形成重建晶圆包括在载体上方放置多个封装组件,在多个封装组件上方形成互连结构,并且互连结构电互连多个封装组件,在互连结构上方形成顶部电连接件,并且将顶部电连接件电连接至互连结构,以及在与顶部电连接件相同的层级处形成对准标记。探测顶部电连接件中的探针焊盘,并且使用对准标记用于对准探针焊盘来执行探测。通过焊料区域将附加封装组件接合至重建晶圆。焊料区域物理地结合至顶部电连接件。

    半导体器件及形成其的方法

    公开(公告)号:CN114937663A

    公开(公告)日:2022-08-23

    申请号:CN202110801922.2

    申请日:2021-07-15

    Abstract: 一种半导体器件包括:第一多个管芯,由包封体包封;中介层,位于所述第一多个管芯之上;内连线结构,位于所述中介层之上且电连接到所述中介层;以及多个导电焊盘,位于所述内连线结构的与所述中介层相对的表面上。所述中介层包括多个嵌置式无源组件。所述第一多个管芯中的每一管芯电连接到所述中介层。所述内连线结构包括位于所述内连线结构的金属化层中的螺线管电感器。

    半导体封装件及其形成方法

    公开(公告)号:CN110880457A

    公开(公告)日:2020-03-13

    申请号:CN201910831648.6

    申请日:2019-09-04

    Abstract: 一种方法包括在载体上方形成复合材料层,该复合材料层包括结合到基底材料中的填充材料的颗粒,在复合材料层的第一侧上方形成一组通孔,将管芯附接在复合材料层的第一侧上方,管芯与该组通孔间隔开,在复合材料层的第一侧上方形成模制材料,模制材料最少横向密封管芯和该组通孔的通孔,在管芯和模制材料上方形成再分布结构,再分布结构电连接到通孔,在与第一侧相对的复合材料层的第二侧中形成开口,以及在开口中形成导电连接件,导电连接件电连接到通孔。本发明的实施例还涉及半导体封装件及其形成方法。

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