公开(公告)号：CN103794641A

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201310288660.X

申请日：2013-07-10

Applicant: 古河电气工业株式会社 ,  富士电机株式会社

Inventor： 李江 ,  高木启史 ,  田村亮祐 ,  伊仓巧裕

IPC: H01L29/06 ,  H01L29/872 ,  H01L29/778

CPC classification number: H01L29/872 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/205 ,  H01L29/402 ,  H01L29/42316 ,  H01L29/7786

Abstract: 本发明提供一种实现通态电阻的降低或电流崩塌的抑制并且防止了耐压降低的半导体装置。该半导体装置具备：形成于基板上的由氮化物系半导体构成的第1半导体层，形成于所述第1半导体层的表面的、由带隙比所述第1半导体层宽的氮化物系半导体构成的第2半导体层，形成于所述第2半导体层的表面上的第1电极，形成于所述第2半导体层的表面上的第2电极，形成于所述第2半导体层的表面的所述第1电极和所述第2电极之间的电极间绝缘膜，以及形成于所述电极间绝缘膜上的由绝缘体构成的介电常数调节层，其中，所述第1电极具有以上载至所述电极间绝缘膜的方式形成的场板部，所述介电常数调节层具有与所述场板部的侧端部接触的第1介电常数调节层和形成于所述第1介电常数调节层上的第2介电常数调节层。

公开(公告)号：CN109075191A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780019961.9

申请日：2017-10-16

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 大井幸多 ,  小野泽勇一 ,  伊仓巧裕

IPC: H01L29/739 ,  H01L29/12 ,  H01L29/78

Abstract: 提供一种半导体装置，其具备：半导体基板；第一导电型的漂移区，其形成于半导体基板；第二导电型的集电区，其在半导体基板形成于半导体基板的下表面与漂移区之间；以及第一导电型的高浓度区，其在半导体基板形成于漂移区与集电区之间，且掺杂浓度比所述漂移区高，半导体基板的深度方向上的高浓度区的掺杂浓度分布具有一个以上的峰，高浓度区的掺杂浓度分布的峰中的最靠所述半导体基板的下表面侧的第一峰与半导体基板的下表面之间的距离为3μm以下。

公开(公告)号：CN107949915A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201780002977.9

申请日：2017-03-13

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 小川惠理 ,  小野泽勇一 ,  杉村和俊 ,  田中裕之 ,  大井幸多 ,  伊仓巧裕

IPC: H01L29/41 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/336 ,  H01L29/06 ,  H01L29/739 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L29/404 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32136 ,  H01L21/32139 ,  H01L29/0615 ,  H01L29/0619 ,  H01L29/401 ,  H01L29/66333 ,  H01L29/7395

Abstract: 以较高的精度控制金属电极的侧壁位置、且提高金属电极的上方的层的覆盖率。提供一种半导体装置，其具备半导体基板和形成于半导体基板的上表面的上方的金属电极，金属电极的侧壁具有与半导体基板接触的下侧部分和形成于比下侧部分更靠近上方的位置且相对于半导体基板的上表面的倾斜角比下侧部分小的上侧部分。还具备形成于半导体基板的有源区，金属电极可以是在半导体基板的上表面比有源区更靠近外侧而形成的场板。场板的侧壁的上侧部分可以是向上侧凸起的形状。

公开(公告)号：CN107204360A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201710107383.6

申请日：2017-02-27

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 田中裕之 ,  大井幸多 ,  小野泽勇一 ,  伊仓巧裕 ,  杉村和俊

IPC: H01L29/06 ,  H01L27/02

CPC classification number: H01L29/0619 ,  H01L21/288 ,  H01L23/535 ,  H01L23/58 ,  H01L23/585 ,  H01L29/0615 ,  H01L29/0692 ,  H01L29/0696 ,  H01L29/0878 ,  H01L29/401 ,  H01L29/402 ,  H01L29/41708 ,  H01L29/41725 ,  H01L29/45 ,  H01L29/7393 ,  H01L29/7811 ,  H01L29/7813 ,  H01L2224/05 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/4847 ,  H01L29/0611 ,  H01L27/0248 ,  H01L27/0296 ,  H01L29/0623 ,  H01L29/0688

Abstract: 本发明提供容易微细加工的保护环部。还提供一种半导体装置，具备：半导体基板；有源区，其形成于半导体基板；以及保护环部，其在半导体基板形成于有源区的外侧，保护环部具有：保护环，其呈环状地形成在半导体基板的上表面；层间绝缘膜，其形成于保护环的上方；场板，其沿着保护环在层间绝缘膜的上方形成为环状；以及钨插塞，其沿着保护环形成为环状，贯穿层间绝缘膜而将保护环与场板连接。

公开(公告)号：CN116349006A9

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202180072875.0

申请日：2021-12-08

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 伊仓巧裕 ,  野口晴司 ,  樱井洋辅 ,  浜崎竜太郎

IPC: H01L21/8234

Abstract: 本发明提供一种半导体装置，具备晶体管部，所述半导体装置具备：第一导电型的漂移区，其设置于半导体基板；多个沟槽部，其从半导体基板的正面延伸至漂移区；第一导电型的发射区，其设置为在半导体基板的正面，从多个沟槽部中的沟槽部延伸至相邻的沟槽部，并且掺杂浓度高于漂移区的掺杂浓度；以及第二导电型的沟槽底部，其设置于沟槽部的下端，晶体管部在俯视时具有不设置沟槽底部的电子通过区。

公开(公告)号：CN115443542A

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202180030559.7

申请日：2021-06-09

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 小宫山典宏 ,  野口晴司 ,  伊仓巧裕 ,  樱井洋辅 ,  原田祐一

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/322 ,  H01L21/329 ,  H01L21/265 ,  H01L29/06 ,  H01L29/739 ,  H01L21/336 ,  H01L29/861 ,  H01L29/868

Abstract: 本发明提供一种半导体装置的制造方法，其具备如下注入工序：从半导体基板的注入面向第一注入位置注入第一导电型的第一掺杂剂，在注入第一掺杂剂后，从半导体基板的注入面向距注入面的距离比第一注入位置距注入面的距离更大的第二注入位置注入第一导电型的第二掺杂剂。第一注入位置和第二注入位置可以配置在缓冲区。

公开(公告)号：CN111886682A

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201980021045.8

申请日：2019-10-11

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 阿形泰典 ,  吉村尚 ,  泷下博 ,  目黑美佐稀 ,  儿玉奈绪子 ,  伊仓巧裕 ,  野口晴司 ,  原田祐一 ,  樱井洋辅

IPC: H01L21/336 ,  H01L29/12 ,  H01L29/739 ,  H01L29/78

Abstract: 提供一种半导体装置，在深度方向上，氢浓度分布具有第一氢浓度峰和第二氢浓度峰，施主浓度分布具有第一施主浓度峰和第二施主浓度峰，第一氢浓度峰和第一施主浓度峰配置于第一深度，第二氢浓度峰和第二施主浓度峰配置于第二深度，该第二深度以下表面为基准时比第一深度深，各浓度峰具有浓度值随着从下表面朝向上表面而增大的上行斜坡，用第二氢浓度峰的上行斜坡的斜率将第二施主浓度峰的上行斜坡的斜率归一化而得的值小于用第一氢浓度峰的上行斜坡的斜率将第一施主浓度峰的上行斜坡的斜率归一化而得的值。

公开(公告)号：CN116247075A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202310322912.X

申请日：2017-02-27

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 田中裕之 ,  大井幸多 ,  小野泽勇一 ,  伊仓巧裕 ,  杉村和俊

IPC: H01L29/06 ,  H01L29/40 ,  H01L29/739 ,  H01L21/331

Abstract: 本发明提供容易微细加工的保护环部。还提供一种半导体装置，具备：半导体基板；有源区，其形成于半导体基板；以及保护环部，其在半导体基板形成于有源区的外侧，保护环部具有：保护环，其呈环状地形成在半导体基板的上表面；层间绝缘膜，其形成于保护环的上方；场板，其沿着保护环在层间绝缘膜的上方形成为环状；以及钨插塞，其沿着保护环形成为环状，贯穿层间绝缘膜而将保护环与场板连接。

公开(公告)号：CN113316852A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202080007233.8

申请日：2020-05-25

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 原田祐一 ,  野口晴司 ,  小宫山典宏 ,  伊仓巧裕 ,  樱井洋辅

IPC: H01L29/06 ,  H01L29/08 ,  H01L29/10 ,  H01L29/423 ,  H01L29/739 ,  H01L29/78 ,  H01L21/336 ,  H01L21/331

Abstract: 本发明提供一种半导体装置，具备与栅电极电连接的多个栅极沟槽部、以及与发射电极电连接的多个虚设沟槽部，所述半导体装置具备：第一沟槽组，其包括一个栅极沟槽部、以及与所述栅极沟槽部相邻并且彼此相邻的两个虚设沟槽部；以及第二沟槽组，其包括彼此相邻的两个栅极沟槽部。

公开(公告)号：CN107949915B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201780002977.9

申请日：2017-03-13

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 小川惠理 ,  小野泽勇一 ,  杉村和俊 ,  田中裕之 ,  大井幸多 ,  伊仓巧裕

IPC: H01L29/41 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/336 ,  H01L29/06 ,  H01L29/739 ,  H01L29/78

Abstract: 以较高的精度控制金属电极的侧壁位置、且提高金属电极的上方的层的覆盖率。提供一种半导体装置，其具备半导体基板和形成于半导体基板的上表面的上方的金属电极，金属电极的侧壁具有与半导体基板接触的下侧部分和形成于比下侧部分更靠近上方的位置且相对于半导体基板的上表面的倾斜角比下侧部分小的上侧部分。还具备形成于半导体基板的有源区，金属电极可以是在半导体基板的上表面比有源区更靠近外侧而形成的场板。场板的侧壁的上侧部分可以是向上侧凸起的形状。