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公开(公告)号:CN111048641A
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201911044450.X
申请日:2019-10-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种单芯片白光发光二极管,包括:衬底、缓冲层、非掺GaN层、图形化的n型GaN层、多量子阱有源层、电子阻挡层、p型GaN层、红光波长转换材料、电流扩展层、n型与p型欧姆接触电极。通过干法刻蚀技术和湿法腐蚀技术刻蚀n型GaN层,使其形成具有半极性面、非极性面以及极性面的六边形孔洞阵列,在该图形化的n型GaN层上外延生长InGaN多量子阱有源层、电子阻挡层和p型GaN层,发射出蓝光至黄绿光波段的宽光谱;在所述六边形孔洞中填充红光波长转换材料,由量子阱有源区发射的蓝/绿光激发出红光光谱;从而形成全光谱,获得高显色指数的单芯片白光发光二极管。
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公开(公告)号:CN108428763A
公开(公告)日:2018-08-21
申请号:CN201810348654.1
申请日:2018-04-18
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L31/102 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器及其制备方法,利用外延于同一衬底上的两组完全应变超短周期超晶格结构完成紫外双波长的窄线宽探测,不仅极大地简化了双波段探测器件材料结构、生长过程及制备工艺,而且通过精确选择、高度集成,为多波长集成的彩色成像提供基础。本发明通过调控单周期超晶格的阱分子、垒分子层数,使二者达到共格界面附近力平衡状态并处于完全应变;设计生长两组完全应变的超短周期超晶格,可实现针对紫外光信号的双波长探测。本发明通过在外延衬底同一晶向生长不同阱垒比的多组超短周期超晶格,使多个带隙处于预设波长范围,可获得窄线宽的更多波长紫外探测,从而为集成多波长的彩色成像探测提供前提。
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公开(公告)号:CN101289173A
公开(公告)日:2008-10-22
申请号:CN200810071176.0
申请日:2008-06-04
Applicant: 厦门大学
Abstract: 选择超晶格位置掺杂的p型III族氮化物材料的制备方法,涉及一种III族氮化物半导体材料。提供一种用于制备电阻率小、空穴浓度高的选择超晶格位置掺杂的p型III族氮化物材料的制备方法。选择同质或者异质的基质材料;在基质材料上外延生长形成变换叠加的垒层和阱层,在垒层与阱层的界面和阱层与垒层的界面掺入施主杂质和受主杂质,得选择超晶格位置掺杂的p型III族氮化物材料,其中,每个生长周期的步骤为:生长带隙较宽的垒层,同时掺入受主杂质;生长施主杂质或受主杂质δ掺杂层;生长非掺的带隙较窄的阱层;生长受主杂质或施主杂质δ掺杂层;在N2气氛下对所得的选择超晶格位置掺杂的p型III族氮化物材料退火,即得目标产物。
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公开(公告)号:CN103474503B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201310461747.2
申请日:2013-09-30
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L31/101 , H01L31/0248
Abstract: 一种基于二维晶格的紫外单波长MSM光电探测器,属于半导体光电子器件技术领域。提供一种利用量子限制效应实现可调控单波长、且更容易发挥量子能级态密度高这一优势的基于二维晶格的紫外单波长MSM光电探测器。包括衬底、具有量子能级的二维晶格和金属叉指电极;所述二维晶格在衬底上交替生长,交替生长的周期为至少20个;每个交替生长周期的二维晶格由第一介质膜层与第二介质膜层形成,第一介质膜层的禁带落在第二介质膜层的禁带中,成为半导体Ⅰ类超晶格,第一介质膜层作为势阱,第二介质膜层作为势垒,金属叉指电极与二维晶格形成肖特基接触。
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公开(公告)号:CN108963092B
公开(公告)日:2019-11-08
申请号:CN201810186373.0
申请日:2018-03-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供一种LED器件及其制造方法,该LED器件为肖特基势垒的LED器件,二维材料作为势垒绝缘层,掺杂的二维半导体材料为有源层,这样,使得载流子可以在二维半导体材料的有源层发光,以此可以获得一种二维超薄柔性的LED器件,有助于提高器件的散热性、透光率以及使用寿命,提高LED器件的性能。
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公开(公告)号:CN110165028A
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:CN201910532879.7
申请日:2019-06-19
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明的基于局域表面等离激元增强的MIS结构紫外LED及其制备方法,在MIS结构的紫外LED中引入银金属纳米颗粒以形成局域表面等离激元;所述MIS结构LED采用石墨烯膜作为导电层以增强电流扩展性,提高器件紫外光出射率;所述金属纳米颗粒设置于石墨烯层之上,利用局域表面等离激元增强效应,使出射光子与金属纳米颗粒之间发生共振耦合,从而提高器件的内量子效率,增强其发光强度。本发明提供的一种基于局域表面等离激元增强的MIS结构紫外LED,结构简单,制备简便,易于生产。
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公开(公告)号:CN103474503A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201310461747.2
申请日:2013-09-30
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L31/101 , H01L31/0248
Abstract: 一种基于二维晶格的紫外单波长MSM光电探测器,属于半导体光电子器件技术领域。提供一种利用量子限制效应实现可调控单波长、且更容易发挥量子能级态密度高这一优势的基于二维晶格的紫外单波长MSM光电探测器。包括衬底、具有量子能级的二维晶格和金属叉指电极;所述二维晶格在衬底上交替生长,交替生长的周期为至少20个;每个交替生长周期的二维晶格由第一介质膜层与第二介质膜层形成,第一介质膜层的禁带落在第二介质膜层的禁带中,成为半导体Ⅰ类超晶格,第一介质膜层作为势阱,第二介质膜层作为势垒,金属叉指电极与二维晶格形成肖特基接触。
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公开(公告)号:CN108428763B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN201810348654.1
申请日:2018-04-18
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L31/102 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器及其制备方法,利用外延于同一衬底上的两组完全应变超短周期超晶格结构完成紫外双波长的窄线宽探测,不仅极大地简化了双波段探测器件材料结构、生长过程及制备工艺,而且通过精确选择、高度集成,为多波长集成的彩色成像提供基础。本发明通过调控单周期超晶格的阱分子、垒分子层数,使二者达到共格界面附近力平衡状态并处于完全应变;设计生长两组完全应变的超短周期超晶格,可实现针对紫外光信号的双波长探测。本发明通过在外延衬底同一晶向生长不同阱垒比的多组超短周期超晶格,使多个带隙处于预设波长范围,可获得窄线宽的更多波长紫外探测,从而为集成多波长的彩色成像探测提供前提。
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公开(公告)号:CN111048641B
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN201911044450.X
申请日:2019-10-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种单芯片白光发光二极管,包括:衬底、缓冲层、非掺GaN层、图形化的n型GaN层、多量子阱有源层、电子阻挡层、p型GaN层、红光波长转换材料、电流扩展层、n型与p型欧姆接触电极。通过干法刻蚀技术和湿法腐蚀技术刻蚀n型GaN层,使其形成具有半极性面、非极性面以及极性面的六边形孔洞阵列,在该图形化的n型GaN层上外延生长InGaN多量子阱有源层、电子阻挡层和p型GaN层,发射出蓝光至黄绿光波段的宽光谱;在所述六边形孔洞中填充红光波长转换材料,由量子阱有源区发射的蓝/绿光激发出红光光谱;从而形成全光谱,获得高显色指数的单芯片白光发光二极管。
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公开(公告)号:CN108963092A
公开(公告)日:2018-12-07
申请号:CN201810186373.0
申请日:2018-03-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供一种LED器件及其制造方法,该LED器件为肖特基势垒的LED器件,二维材料作为势垒绝缘层,掺杂的二维半导体材料为有源层,这样,使得载流子可以在二维半导体材料的有源层发光,以此可以获得一种二维超薄柔性的LED器件,有助于提高器件的散热性、透光率以及使用寿命,提高LED器件的性能。
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