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公开(公告)号：CN118875886A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411053995.8
申请日：2024-08-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种气囊抛光机床力监测采集装置及设计方法，涉及复杂曲面光学元件高精密抛光。装置包括测力平台、S型力敏单元、支撑平台、多路调理盒、测力计和数据采集卡；支撑平台固定于气囊抛光机工作台上；S型力敏单元固定于测力平台与支撑平台之间，其固定位置及分布根据响应面优化法及拟牛顿法，由有限元软件仿真得出。多路调理盒与S型力敏单元连接，通过信号线与测力计连接。数据采集卡与测力计连接。通过数据采集卡采集电压信号转化为实际力值，通过Labview程序处理为补偿量，利用通讯程序将补偿值传输给机床数控系统，对气囊的下压量实时补偿。使抛光法向力稳定在设定值，实现抛光力的补偿及恒力控制。
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公开(公告)号：CN115946023A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211441128.2
申请日：2022-11-17
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种气囊抛光组件、气囊抛光装置和气囊抛光设备，其中的气囊抛光组件包括可转动的基座，基座设有过气通道；装设于基座并用于抛光工件的气囊，气囊设有出液孔；和输液组件，其包括输液管和储液件；储液件贴靠于气囊内壁，并设有储液腔和过液孔；储液腔用于储存抛光液，且其与输液管和过液孔连通，过液孔与出液孔连通；过气通道被配置为适于向储液件施加气压并将压力传递至气囊；该气囊抛光组件能够使抛光液较好地进入到有效抛光区域，降低抛光气囊的磨损，提高抛光精度。
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公开(公告)号：CN115933327A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211584595.0
申请日：2022-12-09
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体微纳器件加工制造技术领域，本发明提供一种对准套刻装置，其包括转台、位移装置、对准图案采集系统和对准图案分析系统，转台上放置有样片，位移装置连接转台的底部用于将转台位移至指定位置，对准图案采集系统对准转台，用于获取样片的图像，样片的图像至少包括阵列结构轮廓，对准图案分析系统耦接对准图案采集系统，用于将获得的阵列结构轮廓与预设标准图案进行比对，以判断样片是否对准，当判断样片处于未对准状态时，转台进行转动调节，直至样片处于对准状态。借此，无需在掩膜版和样片上加工多个标记来进行对准，便可以实现整个样片的图像对准，省去多个高精度相机反复调整寻找对准标记的繁杂步骤，使对准套刻工艺更高效。
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公开(公告)号：CN109909758B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201910221159.9
申请日：2019-03-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，涉及液体静压节流装置领域，包括滑块本体、及与滑块本体连接的压力传感器和流量控制器；滑块本体开设有滑块本体进油口、至少一个油腔、与油腔数量相对应的出油分流口和进油分流口；油腔设有油腔出油口，出油分流口与滑块本体进油口连通，进油分流口与油腔出油口连通；油腔的周边设有微织构封油面；流量控制器设有流量控制器进油口和流量控制器出油口，且流量控制器进油口和出油分流口连通，流量控制器出油口和进油分流口连通；压力传感器与油腔连通，以实时监测油腔的油压大小。安装有本发明模块的线性轴机台不仅可以具有高油膜刚度和高承载能力，而且还可以具有较好的运动直线度。
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公开(公告)号：CN109882505A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910220208.7
申请日：2019-03-22
Applicant: 厦门大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 一种节流比可调的微细沟槽节流器，涉及液体静压支承用的节流器领域，包括节流器安装套和节流器本体；节流器安装套轴向设有前端圆柱腔体和后端圆柱腔体，前端圆柱腔体为光孔，后端圆柱腔体为具有螺纹的通孔，前端圆柱腔体的内壁直径大于后端圆柱腔体的内壁直径，后端圆柱腔体的内壁上开设有微细沟槽；节流器本体为螺杆结构，节流器本体与后端圆柱腔体通过螺纹啮合，啮合区域的微细沟槽构成节流器的工作区。压力油从前端圆柱腔体流入到啮合区域的微细沟槽进行节流，最后节流后的压力油流出到油腔。本发明具有节流比可调、结构简单、布局紧凑、容易拆装、不易堵塞等优点，可有效提高固定节流器方式下液体静压支承系统的调试效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109869459A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910165711.7
申请日：2019-03-06
Applicant: 厦门大学
IPC: F16H47/02 , F16H61/437
Abstract: 一种液压自平衡均压调节装置，涉及机械液压传动。设有液压装置和传动装置，所述液压装置设有手轮、丝杠、大液压缸、五通液压缸和4个小液压缸；所述传动装置设有第一连杆、滑块、滑块导轨、第二连杆、压板推杆、推杆轴套、液体压力计和压板；所述丝杆与手轮固定连接；所述大液压缸和4个小液压缸组成五通液压缸，大液压缸和4个小液压缸与丝杠通过螺纹结构连接；所述第一连杆上端与小液压缸铰接，滑块与第一连杆下端铰接，滑块套设在固定的滑块导轨上，滑块与第二连杆上端相铰接，第二连杆下端与压板推杆上端相铰接，压板推杆套设在固定的推杆轴套内，压板推杆下端与压板铰接，五通液压缸内的液体压强由液体压力计读出。
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公开(公告)号：CN109623652A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811531280.3
申请日：2018-12-14
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B45/00
Abstract: 一种精密磨床用快速装夹调心的砂轮法兰盘，涉及精密磨削领域。设有机床主轴、砂轮固定螺母、砂轮、调心扳手、卡爪、调心装置后盖后端、小锥齿轮、调心装置后盖前端、调心装置前端盖、滚珠盖、轴承、大锥齿轮和滚珠；首先将经过静平衡的砂轮法兰盘装入机床主轴的锥度前端，并由砂轮固定螺母预紧，然后调心扳手插入法兰盘调心孔，调心扳手通过小锥齿轮与大锥齿轮的齿轮传动带动大锥齿轮转动，同时大锥齿轮上的平面螺纹与卡爪之间通过齿条传动实现卡爪的进给运动，三个方向同时运动的卡爪抓紧机床主轴，解决了砂轮中心与机床主轴轴线偏心的问题。结构精简、经济可靠，实现了砂轮的装夹；有效地克服了砂轮装配中的偏心误差。
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公开(公告)号：CN109571158A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811653359.3
申请日：2018-12-29
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B1/04
Abstract: 一种圆周驱动超声振动辅助抛光工具，属于超声辅助加工领域，包括超声振动刀柄、振动套筒、弹簧阻尼杆和抛光模块；振动套筒安装于超声振动刀柄的末端，振动套筒的底部设有抛光模块，且抛光模块与振动套筒的底部端面留有间距，弹簧阻尼杆的一端与振动套筒连接，弹簧阻尼杆的另一端与抛光模块连接。本发明利用振动来提高加工硬脆材料工件的效率和表面精度，适合加工各种硬脆材料，将其应用于光学元件的抛光上，很大程度提高了光学元件的表面精度和材料去除效率。
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公开(公告)号：CN104972380B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201510407981.6
申请日：2015-07-13
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种气囊抛光进动机构，涉及气囊抛光。设有A轴电机、A轴、摆臂、主轴套、主轴箱体、主轴箱体支撑架、主轴、气囊工具、转轴、转轴电机、轴承座、连杆、铰链、滑块、导轨、主轴电机、丝杆螺母、轴承；摆臂竖直放置，A轴电机通过A轴竖直安装于摆臂顶部，转轴电机垂直固定于摆臂左侧，主轴箱体位于摆臂空腔内，主轴箱体前后对称安装主轴箱体支撑架，主轴箱体支撑架末端与摆臂的下部前后对称的伸出端通过转轴连接，主轴电机安装于主轴箱体内部，主轴穿过主轴电机中心与气囊工具连接，气囊工具球心位于转轴的中轴线上，主轴套位于主轴箱体顶部，主轴箱体左侧设有导轨，导轨上的滑块与连杆连接，连杆通过轴承和轴承座固定于摆臂上。
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公开(公告)号：CN106002626B
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201610384200.0
申请日：2016-06-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种压电致动砂轮调心装置，涉及精密磨削加工技术领域。设有调节支架、3个粗调模块和3个微调模块；3个粗调模块和3个微调模块间隔均布设于调节支架上且向心设置；调节支架设有支架座、3个导轨座和一对三角夹块；支架座为圆环结构，3个导轨座间隔均布固定于支架座上且呈向心设置；一对三角夹块的2块三角夹块之间连接，该一对三角夹块连接于支架座后部；粗调模块设有丝杠微分头、微分头座、导轨和导轨滑块；微分头座固定于导轨座上，丝杠微分头与微分头座连接，导轨滑块置于导轨上且与导轨滑动配合；微调模块设有支撑件和柱形压电陶瓷致动器；支撑件设于导轨滑块上方，柱形压电陶瓷致动器通过锁紧件设于支撑件上，且呈向心设置。
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