公开(公告)号：CN110517977A

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201910808008.3

申请日：2019-08-29

Applicant: 南通大学

Inventor： 李祥彪 ,  仲崇贵 ,  杨培培 ,  魏明杰 ,  李瑞雪 ,  尤佩扬 ,  罗礼进 ,  刘勇 ,  渠莉华 ,  周朋霞

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种改善大尺寸晶片腐蚀均匀性装置与方法，所述大尺寸晶片腐蚀装置包括喷液系统，所述喷液系统包括输送管、喷液头和喷液头旋转架，所述输送管为耐腐蚀材料制成的外管和多根内管组成，前半部分为软管结构，内管之间相互独立，从而可以输送多种不同的腐蚀液，所述喷液头连接腐蚀液输送管，可以直接将腐蚀液喷在晶片表面，所述喷液头出口处装有出液垫圈，所述出液垫圈正面为多孔状结构，可以控制出射腐蚀液流速、覆盖晶片的面积，所述喷液头旋转架固定在腐蚀腔顶部，喷液头固定在旋转架上，可以三百六十度旋转，喷液头旋转方向与晶片旋转方向相反。通过调节可晶片旋转底座的转速与喷液头转速，喷液头就可以快速均匀的将腐蚀液喷射在晶片表面。本发明结构简单，提高了喷液效率，达到迅速实现喷液均匀性，节约了成本。

公开(公告)号：CN109103120A

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：CN201810899287.4

申请日：2018-08-08

Applicant: 南通大学

Inventor： 杨培培 ,  李祥彪 ,  闵意 ,  陈翠萍 ,  谭志中 ,  魏明杰 ,  李瑞雪 ,  尤佩扬

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种p型SiC衬底判定方法，使用变温霍尔效应测试系统，使用镍钛金合金作为电极材料，对待测的p型6H-SiC衬底样品进行测量，变温测量为室温到850K温度范围，温度间隔为50K。对p型6H-SiC衬底的载流子浓度进行检测和分析，可对出厂产品进行抽样检验，也可应用于大尺寸衬底样品导电类型均匀性的判定。