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公开(公告)号：CN115555578B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202211333104.5
申请日：2022-10-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳加工相关技术领域，并公开了一种金属及金属化合物三维微纳结构的制备方法，包括：将金属盐水溶液与配位单体超声混合，使其充分反应得到前驱体溶液；向前驱体溶液中加入光敏聚合单体及光引发剂，得到金属离子复合光敏树脂；采用飞秒激光直写技术将金属离子复合光敏树脂加工成型为目标3D立体结构，然后进行显影；最后进行煅烧处理。通过本发明，能够制备出多种金属及金属化合物的3D微纳结构，并且结晶性好，结构形貌无畸变，有效解决了现有技术中存在的光散射、微爆炸、低分辨率、以及光敏树脂低金属离子含量所造成的形貌畸变、结晶性差、性能低劣等技术问题。
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公开(公告)号：CN115555578A
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202211333104.5
申请日：2022-10-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳加工相关技术领域，并公开了一种金属及金属化合物三维微纳结构的制备方法，包括：将金属盐水溶液与配位单体超声混合，使其充分反应得到前驱体溶液；向前驱体溶液中加入光敏聚合单体及光引发剂，得到金属离子复合光敏树脂；采用飞秒激光直写技术将金属离子复合光敏树脂加工成型为目标3D立体结构，然后进行显影；最后进行煅烧处理。通过本发明，能够制备出多种金属及金属化合物的3D微纳结构，并且结晶性好，结构形貌无畸变，有效解决了现有技术中存在的光散射、微爆炸、低分辨率、以及光敏树脂低金属离子含量所造成的形貌畸变、结晶性差、性能低劣等技术问题。
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公开(公告)号：CN114683533B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202210396910.0
申请日：2022-04-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/106 , B29C64/20 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00
Abstract: 本发明提供了一种制备任意纳米褶皱结构体的3D打印方法、产品以及应用，属于微纳制造领域，将3D打印的激光在前驱体溶液照射，形成体素单元，所述前驱体包含有温敏材料、聚合物单体和光引发剂，移动3D打印的激光，改变照射区域，利用温敏材料与激光诱导热作用区的相互作用，实现体素单元的表面起皱，形成了由点到面以及由面到体的制备，褶皱体素单元是前驱体溶液在激光照射区域发生光聚合反应形成的固体。本发明还提供如上方法制备获得的任意纳米褶皱结构体，其包括一维褶皱线结构、二维褶皱面结构、三维褶皱体结构和多层级褶皱结构，本发明的纳米褶皱结构体能用于多个领域。本发明方法能对褶皱结构形貌特征进行灵活调控，生产方便，效率高。
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公开(公告)号：CN117637486A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311611969.8
申请日：2023-11-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出了一种高均匀性低衬底损伤表面选择性金属化工艺，包括以下步骤：S1、将金属盐、络合剂以及溶剂混合制备油墨前驱体；S2、将油墨前驱体在衬底上进行图案化印刷处理，并在50～80℃下烘干5～15min，得到固态油墨图案；S3、通过超快激光后处理工艺对固态油墨图案进行后处理金属化，得到金属微图案结构。本申请通过将油墨前驱体进行图案化处理，促使液态的油墨前驱体制备成均匀的固态油墨图案化薄膜，通过采用超快激光后处理工艺进行表面选择性金属化处理，并结合光束整形技术，与图案化印刷处理相协同作用，进一步提高金属微图案结构的形貌和质量分布均匀性，提高导电性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117600647A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311445722.3
申请日：2023-11-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/082 , G02F1/33 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种声光动态调焦模块及三维扫描系统。所述声光动态调焦模块包括依次沿光路设置的多个光学组件以及聚焦场镜，所述多个光学组件包括第一声光偏转器、第一凹面抛物面镜、第二凹面抛物面镜以及第二声光偏转器；所述第一凹面抛物面镜以及第二凹面抛物面镜的凹面相对设置；在任意两个光学组件之间设置有像差校正镜组；在任意两个光学组件之间设置有像差校正镜组；所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器用于通过自身的折射率变化，使经聚焦场镜聚焦后的激光的焦点沿光路方向发生偏转。本发明由于采取声光偏转器进行动态调焦，沿光路方向的调焦频率可提高到MHz级别，提高了三维扫描的速度，从而大幅提高了系统的调焦性能。
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公开(公告)号：CN116430678B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202310286115.0
申请日：2023-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻胶内部产生多个焦点，同时具有消色差和消像差功能，得到目标激光；工作台组件，用于平移样品以使其处于目标激光的照射区域并利用目标激光进行三维微纳结构加工；观察组件，用于对样品的三维微纳结构加工过程激提供实时观察。本发明利用多焦点超透镜直接替代传统的聚焦物镜实现紧聚焦，实现对任意微纳结构的高通量、高精度、大视场加工，由此解决现有激光直写系统复杂度高、操作繁琐和不易维护的技术问题。
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公开(公告)号：CN116859587A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310784246.1
申请日：2023-06-28
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明提供一种大视场开普勒色散补偿方法及补偿模块，包括：将开普勒色散补偿模块划分为前组和后组；确定开普勒色散补偿模块的色散补偿需求；根据前组透过复色光的波长范围和前组光焦度确定前组的轴向色差需求，以结合前组轴向色差需求设计第一、第二组合透镜的参数及第一、第二组合透镜的间距，使得第一和第二组合透镜光焦度的绝对值相对较低；根据后组透过复色光的波长范围和后组光焦度确定后组的轴向色差需求，以结合后组轴向色差需求设计第三、第四组合透镜的参数及第三、第四组合透镜的间距，使得第三和第四组合透镜光焦度的绝对值相对较低。本发明能够保证开普勒色散补偿模块在大视场下仍能正确补偿角色散且不引入过量的单色像差。
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公开(公告)号：CN116430678A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310286115.0
申请日：2023-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻胶内部产生多个焦点，同时具有消色差和消像差功能，得到目标激光；工作台组件，用于平移样品以使其处于目标激光的照射区域并利用目标激光进行三维微纳结构加工；观察组件，用于对样品的三维微纳结构加工过程激提供实时观察。本发明利用多焦点超透镜直接替代传统的聚焦物镜实现紧聚焦，实现对任意微纳结构的高通量、高精度、大视场加工，由此解决现有激光直写系统复杂度高、操作繁琐和不易维护的技术问题。
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公开(公告)号：CN114683533A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210396910.0
申请日：2022-04-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/106 , B29C64/20 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00
Abstract: 本发明提供了一种制备任意纳米褶皱结构体的3D打印方法、产品以及应用，属于微纳制造领域，将3D打印的激光在前驱体溶液照射，形成体素单元，所述前驱体包含有温敏材料、聚合物单体和光引发剂，移动3D打印的激光，改变照射区域，利用温敏材料与激光诱导热作用区的相互作用，实现体素单元的表面起皱，形成了由点到面以及由面到体的制备，褶皱体素单元是前驱体溶液在激光照射区域发生光聚合反应形成的固体。本发明还提供如上方法制备获得的任意纳米褶皱结构体，其包括一维褶皱线结构、二维褶皱面结构、三维褶皱体结构和多层级褶皱结构，本发明的纳米褶皱结构体能用于多个领域。本发明方法能对褶皱结构形貌特征进行灵活调控，生产方便，效率高。
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