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公开(公告)号：CN116430678B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202310286115.0
申请日：2023-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻胶内部产生多个焦点，同时具有消色差和消像差功能，得到目标激光；工作台组件，用于平移样品以使其处于目标激光的照射区域并利用目标激光进行三维微纳结构加工；观察组件，用于对样品的三维微纳结构加工过程激提供实时观察。本发明利用多焦点超透镜直接替代传统的聚焦物镜实现紧聚焦，实现对任意微纳结构的高通量、高精度、大视场加工，由此解决现有激光直写系统复杂度高、操作繁琐和不易维护的技术问题。
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公开(公告)号：CN112271238B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202011309049.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/08
Abstract: 本发明属于微纳材料合成及器件制备技术领域，更具体地，涉及一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用。本发明通过将金属氧化物前驱体溶胶凝胶与醇类有机改性剂混合后涂覆于衬底表面，采用飞秒激光对前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写，利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物，同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构；由于在溶胶凝胶中添加有醇类有机改性剂，该有机改性剂经实验证明能够显著改善得到的金属氧化物微纳结构形貌，使得纳米颗粒连续均匀，优选实施例中制备得到的紫外微纳光电探测器开关比相较于未添加醇类有机改性剂时的开关比提高了64倍。
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公开(公告)号：CN111421228A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010270160.3
申请日：2020-04-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/082 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种用于跨尺度双光子聚合加工的样品精密夹具及调平方法，夹具包括：固定连接的XY轴移动平台、Z轴位移台和基板，设置于基板上的微调组件，过渡组件，以及载物台；过渡组件一端固定于微调组件上、另一端固定载物台；XY轴移动平台用于驱动Z轴位移台和基板沿X轴和Y轴方向移动；Z轴位移台用于驱动基板以带动微调组件、过渡组件和载物台沿Z轴方向移动；微调组件用于通过驱动过渡组件带动载物台实现水平度和平面度调整。本发明使得双光子聚合加工系统实时三维调平精度控制在100纳米以内，有效保证双光子聚合加工系统在进行加工时准确聚焦和加工产物成型精度，将加工尺度从微纳尺度拓宽至毫米和厘米尺度。
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公开(公告)号：CN112479257B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202011344133.2
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学合成材料技术领域，并具体公开了大气常温下激光诱导化学合成微纳尺度MoS2的方法及应用，该方法利用飞秒激光直接作用于包含钼源和硫源的前驱体上以诱导其发生光热化学反应进而生成目标产物MoS2，该方法可应用在微纳气体探测器的制备中。本发明实现了大气常温下微纳尺度MoS2产物的制备以及MoS2图案快速直写加工，同时通过调节激光参数实现产物形貌控制，并基于该技术实现了MoS2材料在微纳气体探测领域的应用。
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公开(公告)号：CN112947002A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110097299.7
申请日：2021-01-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，更具体地，涉及一种用于微纳加工的光刻胶材料、其制备和应用。其将金属‑有机框架材料通过有机酸溶解于光敏树脂单体中，配合光引发剂共同组成光刻胶材料，然后利用超快激光直写系统增材制造三维微纳结构，显影晾干后经高温煅烧得到三维微纳结构的金属氧化物。本发明提出的一种金属氧化物三维微纳结构的增材制造方法，具有光刻胶简单易制备、适用于超快激光直写系统、分辨率高、成型效果好以及可加工任意复杂三维结构的优势。该发明制备的三维微纳结构金属氧化物有望在光子晶体、结构色、超材料、三维传感器以及三维集成电路等领域取得重大应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112479257A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011344133.2
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于化学合成材料技术领域，并具体公开了大气常温下激光诱导化学合成微纳尺度MoS2的方法及应用，该方法利用飞秒激光直接作用于包含钼源和硫源的前驱体上以诱导其发生光热化学反应进而生成目标产物MoS2，该方法可应用在微纳气体探测器的制备中。本发明实现了大气常温下微纳尺度MoS2产物的制备以及MoS2图案快速直写加工，同时通过调节激光参数实现产物形貌控制，并基于该技术实现了MoS2材料在微纳气体探测领域的应用。
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公开(公告)号：CN112271238A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011309049.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/08
Abstract: 本发明属于微纳材料合成及器件制备技术领域，更具体地，涉及一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用。本发明通过将金属氧化物前驱体溶胶凝胶与醇类有机改性剂混合后涂覆于衬底表面，采用飞秒激光对前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写，利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物，同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构；由于在溶胶凝胶中添加有醇类有机改性剂，该有机改性剂经实验证明能够显著改善得到的金属氧化物微纳结构形貌，使得纳米颗粒连续均匀，优选实施例中制备得到的紫外微纳光电探测器开关比相较于未添加醇类有机改性剂时的开关比提高了64倍。
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公开(公告)号：CN114736480A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210326785.6
申请日：2022-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C08L33/24 , C08K9/04 , C08K3/04 , C08K3/08 , B29C64/112 , B29C64/268 , B29C64/393 , B33Y30/00 , B33Y50/00
Abstract: 本发明提供了一种光响应纳米复合材料、制备方法以及微纳4D打印方法，属于4D打印技术领域，其为有机前驱体、引发剂、交联剂、光敏剂、吸光材料溶剂混合获得的分散液，各组分的质量比依次为：(0.8～1.25):(0.022～0.066):(0.9～2):(0.6～1.2):1，吸光材料溶剂是纳米级别的吸光材料均匀分散在溶剂中形成的，其在吸光材料溶剂中的质量比为0.1％～5％。本发明提供了光响应纳米复合材料的制备方法和采用上述光响应纳米复合材料进行微纳4D打印的方法。本发明材料有效提升了光刺激下微纳智能结构的响应速度和执行速度，并提升了微纳智能结构形变结构的设计自由度，能实现高效率微纳4D打印。
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公开(公告)号：CN114217454A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202210159217.1
申请日：2022-02-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于衍射光学元件的空间频谱调制器件的设计与实现方法，属于光学器件领域。方法包括：在衍射光学元件的基底器件上加工一块抑光区域，得到空间滤波器；确定衍射光学元件的相位分布，并转换为各衍射单元的结构参数；根据各衍射单元的结构参数对所述空间滤波器进行加工，得到空间频谱调制器件。本发明使用了加工工艺成熟的衍射光学元件作为主要的光场调制器件；并且在加工衍射光学元件之前，通过镀膜工艺在其基底器件中心加工一块具有特定设计参数的不透光或渐变透光等分布特点的区域，使得本发明所提的空间频谱调制器件在具有对频域光场进行复调制能力的同时，兼顾了可定制化和零功耗的优点。
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公开(公告)号：CN111421228B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202010270160.3
申请日：2020-04-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/082 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种用于跨尺度双光子聚合加工的样品精密夹具及调平方法，夹具包括：固定连接的XY轴移动平台、Z轴位移台和基板，设置于基板上的微调组件，过渡组件，以及载物台；过渡组件一端固定于微调组件上、另一端固定载物台；XY轴移动平台用于驱动Z轴位移台和基板沿X轴和Y轴方向移动；Z轴位移台用于驱动基板以带动微调组件、过渡组件和载物台沿Z轴方向移动；微调组件用于通过驱动过渡组件带动载物台实现水平度和平面度调整。本发明使得双光子聚合加工系统实时三维调平精度控制在100纳米以内，有效保证双光子聚合加工系统在进行加工时准确聚焦和加工产物成型精度，将加工尺度从微纳尺度拓宽至毫米和厘米尺度。
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