公开(公告)号：CN116430678B

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202310286115.0

申请日：2023-03-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 高辉 ,  王星儿 ,  熊伟 ,  范旭浩 ,  刘耘呈 ,  许可 ,  陈发钰 ,  李大千 ,  余轩

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻胶内部产生多个焦点，同时具有消色差和消像差功能，得到目标激光；工作台组件，用于平移样品以使其处于目标激光的照射区域并利用目标激光进行三维微纳结构加工；观察组件，用于对样品的三维微纳结构加工过程激提供实时观察。本发明利用多焦点超透镜直接替代传统的聚焦物镜实现紧聚焦，实现对任意微纳结构的高通量、高精度、大视场加工，由此解决现有激光直写系统复杂度高、操作繁琐和不易维护的技术问题。

公开(公告)号：CN116430678A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310286115.0

申请日：2023-03-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 高辉 ,  王星儿 ,  熊伟 ,  范旭浩 ,  刘耘呈 ,  许可 ,  陈发钰 ,  李大千 ,  余轩

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻胶内部产生多个焦点，同时具有消色差和消像差功能，得到目标激光；工作台组件，用于平移样品以使其处于目标激光的照射区域并利用目标激光进行三维微纳结构加工；观察组件，用于对样品的三维微纳结构加工过程激提供实时观察。本发明利用多焦点超透镜直接替代传统的聚焦物镜实现紧聚焦，实现对任意微纳结构的高通量、高精度、大视场加工，由此解决现有激光直写系统复杂度高、操作繁琐和不易维护的技术问题。