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公开(公告)号：CN107907915B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN201711296974.9
申请日：2017-12-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01V7/00
Abstract: 本发明公开了一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统，三分量重力仪探头包括结构相同的X轴重力测量模块、Y轴重力测量模块和Z轴重力测量模块；各单轴重力测量模块包括单轴重力加速度传感器、信号处理电路和电子元器件；各单轴重力加速度传感器包括重力敏感单元和位移传感组件；各轴重力敏感单元用于实现测量重力沿各轴方向的加速度，包括X轴方向、Y轴方向及Z轴方向三个方向；重力敏感单元包括弹性结构、检验质量块及支撑体，检验质量块位于支撑体内部，检验质量块通过弹性结构与支撑体连接；各轴重力敏感单元中的弹性结构的位移移动方向同个轴方向相同，本发明通过三个方向的重力测量模块，能够实现井中的三分量重力测量。
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公开(公告)号：CN111470468B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202010324601.3
申请日：2020-04-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种垂直碳纳米管向目标衬底转移的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、采用原子层沉积法在碳纳米管表面沉积纳米量级的第一金属层，使第一金属层与碳纳米管形成欧姆接触；S2、在第一金属层的表面沉积微米量级的第二金属层，以填充碳纳米管表面空隙，形成金属薄膜；S3、在目标衬底表面沉积金属合金，将碳纳米管转移到目标衬底上。本发明采用沉积速率较慢、沉积包覆性好的原子层沉积在碳纳米管表面沉积一层纳米量级、浸滑性好的金属，实现金属纳米颗粒渗透入碳纳米管表面，增加金属纳米颗粒与碳管的接触面积，实现金属原子对碳纳米管的浸润和包覆，进而形成欧姆接触，有效的降低了目标衬底与碳纳米管之间的接触电阻。
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公开(公告)号：CN116009102A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211685904.3
申请日：2022-12-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种高集成度MEMS相对重力仪，集成有重力敏感单元、温度传感单元、加热电阻、面外倾斜传感单元、面内倾斜传感单元、气压传感单元和振动传感单元；温度传感单元感知MEMS相对重力仪的温度变化；加热电阻对重力敏感单元进行加热，实现对重力敏感单元的温度控制；面外倾斜传感单元敏感重力敏感单元面外倾斜大小；面内倾斜传感单元敏感重力敏感单元面内倾斜大小；气压传感单元感知气压变化，辅助气压控制或实现气压效应扣除；振动传感单元感知环境振动，并辅助隔振或实现振动信号扣除。本发明利用微加工精度实现重力敏感单元与倾斜传感单元的敏感方向精确控制，有利于减小额外装夹部件、降低方向控制难度、提高控制精度。
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公开(公告)号：CN114251531B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111573346.7
申请日：2021-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种流体连接管及其应用，属于流体或微流体控制领域，本发明中每个出口子流道均包括逐级相连通的M级圆弧流道，并且每一圆弧流道对应的圆弧角和圆的直径均相同；同时，每一个拓扑点流体下游的相邻两圆弧流道所对应的圆共用切线，并且切线方向为拓扑点处流体的速度矢量方向。如此，本发明通过流道拓扑点处的圆弧设计和切线设计防止了湍流的产生，在此基础上，进一步通过流道拓扑点处的对称设计和总长一致设计保证了每个出口子流道的流阻一致性，从而在每个出口子流道内实现了流体流量的高度一致性。
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公开(公告)号：CN113466492B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202110652195.8
申请日：2021-06-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明公开了一种测量加速度计模型参数磁矢量灵敏度的装置及方法，装置包括：固定连接的加速度产生模块和磁场发生模块，加速度产生模块给加速度计提供可变且可定量的加速度输入；磁场发生模块给加速度计提供可变且稳定的磁场环境；当使用加速度产生模块时磁场发生模块有与之相同的位姿变化，使待测加速度计在输入加速度改变时所处的磁场环境不变。本发明通过保持磁场发生装置产生的磁矢量方向与加速度计测试装置之间的空间角度关系不变，保证了检测过程中，加速度计敏感轴与磁场方向之间角度关系不变；从而保证改变沿加速度计各轴的输入加速度时，加速度计各轴所处的磁场环境不发生改变，避免了加速度计相对磁场方向发生改变引入的误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114251531A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111573346.7
申请日：2021-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种流体连接管及其应用，属于流体或微流体控制领域，本发明中每个出口子流道均包括逐级相连通的M级圆弧流道，并且每一圆弧流道对应的圆弧角和圆的直径均相同；同时，每一个拓扑点流体下游的相邻两圆弧流道所对应的圆共用切线，并且切线方向为拓扑点处流体的速度矢量方向。如此，本发明通过流道拓扑点处的圆弧设计和切线设计防止了湍流的产生，在此基础上，进一步通过流道拓扑点处的对称设计和总长一致设计保证了每个出口子流道的流阻一致性，从而在每个出口子流道内实现了流体流量的高度一致性。
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公开(公告)号：CN112904550A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110132723.7
申请日：2021-01-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B26/02
Abstract: 本发明公开了一种基于多层硅基光栅的太赫兹波幅度调制器及制备方法，属于信息技术中的人工电磁材料领域。包括：第一亚波长光栅、第二亚波长光栅、线圈、磁体和MEMS弹簧；所述第一亚波长光栅和第二亚波长光栅位于上下两层且相互平行，键合构成双层光栅；所述线圈置于第二亚波长光栅上，所述MEMS弹簧与第二亚波长光栅相连；所述线圈通电时，在所述磁体的作用下带动第二亚波长光栅相对于第一亚波长光栅发生位移，位移方向与所述双层光栅平行。本发明仅基于多层硅基光栅，无其他复杂结构，具有易于设计、低成本、操作简单等特点，而且普适性强，无频率依赖性，具有很好的可扩展性，能够被推广至太赫兹以外的其他电磁波频段。
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公开(公告)号：CN109905086B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201910144812.6
申请日：2019-02-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: H03B5/30
Abstract: 本发明公开了一种基于多谐振器耦合结构的MEMS振荡器，MEMS振荡器包括：振荡电路，检测电路以及MEMS谐振器件，MEMS谐振器件包括：N个相互耦合的MEMS谐振器，分别记为第一谐振器、第二谐振器、……第N谐振器，第一谐振器用于确定振荡器的工作频率，其余的谐振器通过耦合实现对第一谐振器的幅度进行调控；N为大于等于2的正整数；振荡电路用于通过闭环控制实现将振荡器的输出频率始终锁定并控制在第一谐振器的谐振频率；检测电路用于检测振荡器输出信号的幅度，并进行反馈控制以防止振荡器的输出幅度过高导致振荡器系统工作异常。本发明可以解决现有技术中由于需要引入可变增益放大器，从而导致的噪声和功耗较大的问题。
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公开(公告)号：CN110428973B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910636397.6
申请日：2019-07-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种3D体硅微型电容器的制作方法，包括3D体硅衬底结构的制作、适用于该3D结构活性材料的引入和电容器的三种封装与集成。首先，深硅刻蚀得到镂空的3D硅基梳齿衬底，再对梳齿的上下表面和侧壁包覆碳基导电层和活性材料，最后在表面涂敷胶状电解质，并进行封装与集成，得到所述3D体硅微型电容器。相对于传统的梳齿型平面结构，本发明提供的微型电容器电极的纵向高度得到延伸，可利用的电极表面积从二维平面扩展至三维的表面与纵向侧壁，3D电极能负载更多的活性材料，从而使比电容和比能量密度提升；且3D梳齿结构的活性材料引入方法对3D电容器的研究有重要意义，提出的封装和集成方法保证了电容器的稳定和寿命。
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公开(公告)号：CN112363247A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011163660.3
申请日：2020-10-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种重力梯度仪运动误差事后补偿方法，包括下述步骤：(1)获得重力梯度仪的输出数据、比力数据、角速度数据和角加速度数据，并对数据进行预处理，将数据分成N个数据块；(2)利用重力梯度仪运动误差模型对N个数据块进行运动误差补偿；(3)将补偿后的N个数据块合并，并进行解调或滤波获得万有引力梯度。本发明基于重力梯度仪运动误差模型，利用匀速勘探的情况下，重力梯度仪运动状态仅与运动误差相关和万有引力梯度响应无关的特性，构建损失函数，利用损失函数最小，估计运动误差传递系数，进而计算出运动误差，剔除重力梯度仪输出数据中的运动误差。本发明同时适用于调制类和非调制类重力梯度仪的运动误差补偿，且操作简单、易实施。
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