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公开(公告)号：CN109659272B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201811506264.9
申请日：2018-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于铜互连键合技术领域，更具体地，涉及一种基于可自修复铜纳米颗粒浆料的低温铜铜键合方法。该方法包括下列步骤：(a)配制可自修复的铜纳米颗粒浆料，其中包括将铜纳米颗粒在甲酸中预处理，以及将预处理的铜纳米颗粒与还原剂、表面活性剂和粘度调节剂的混合溶剂混合；(b)将可自修复的铜纳米颗粒浆料均匀涂覆在两块铜基底之间，以此形成待键合样品，在真空或者惰性气体氛围中，使得可自修复的铜纳米颗粒浆料中的铜纳米颗粒与两块铜基底之间产生互连，实现铜铜键合，在键合过程中，还原剂将甲酸铜分解还原为铜实现铜纳米颗粒的自修复。通过本发明，实现键合过程中无需还原性气氛，同时具备工艺要求简单、易储存、低成本。
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公开(公告)号：CN109872341A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910032981.0
申请日：2019-01-14
Applicant: 中建三局智能技术有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于计算机视觉的高空抛物检测方法与系统，采用ViBe算法作为运动对象的检测手段，并在使用ViBe检测运动对象过程中，加入了相机是否抖动的检测机制，充分考虑了相机晃动或移动而导致画面位置发生偏移的情形，通过在相机抖动时采取当前帧高空抛物监控图像更新背景模型，提高了ViBe检测运动对象的准确率，从而降低高空抛物的误检率。本发明结合匈牙利算法和卡尔曼滤波算法对运动对象进行跟踪，匈牙利算法跟踪使得系统的运行速度有较大提升，卡尔曼滤波算法跟踪大幅度降低了对抛物跟踪的丢失率，保证对抛物的跟踪效果。该方法对于小目标的运动对象有较好的检测效果，并能够适应目标被短暂遮挡或者漏检、背景环境发生缓慢变化等情形。
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公开(公告)号：CN109872341B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201910032981.0
申请日：2019-01-14
Applicant: 中建三局智能技术有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于计算机视觉的高空抛物检测方法与系统，采用ViBe算法作为运动对象的检测手段，并在使用ViBe检测运动对象过程中，加入了相机是否抖动的检测机制，充分考虑了相机晃动或移动而导致画面位置发生偏移的情形，通过在相机抖动时采取当前帧高空抛物监控图像更新背景模型，提高了ViBe检测运动对象的准确率，从而降低高空抛物的误检率。本发明结合匈牙利算法和卡尔曼滤波算法对运动对象进行跟踪，匈牙利算法跟踪使得系统的运行速度有较大提升，卡尔曼滤波算法跟踪大幅度降低了对抛物跟踪的丢失率，保证对抛物的跟踪效果。该方法对于小目标的运动对象有较好的检测效果，并能够适应目标被短暂遮挡或者漏检、背景环境发生缓慢变化等情形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110970314A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911299346.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/60 , H01L21/603
Abstract: 本发明属于芯片封装领域，并公开了一种用于芯片封装中图形化纳米颗粒的微焊点互连方法及产品。该方法包括下列步骤：(a)待处理晶圆上包括图形化的焊盘区域和非焊盘区域，在焊盘区域上光刻形成光刻胶覆盖层；(b)对待处理晶圆进行气相沉积形成一层有机疏水薄膜；(c)去除焊盘区域上的光刻胶覆盖层，以此去除焊盘区域上的有机疏水薄膜；(d)使纳米颗粒导电墨水扫过焊盘区域，溶剂挥发后，纳米颗粒将沉积在焊盘区域；(e)将另一块待处理晶圆与焊盘上沉积有纳米颗粒的晶圆对准，热压键合，以此实现两块待处理晶圆的互连。通过本发明，实现将纳米颗粒按需涂覆在键合界面上，具有效率高、精度高、可大规模量产等优点。
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公开(公告)号：CN108878351A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810671279.4
申请日：2018-06-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明属于低温键合技术领域，并具体公开了一种基于可自还原银离子浆料的低温键合方法，其包括如下步骤：配制可自还原的银离子浆料；将可自还原的银离子浆料均匀涂覆至待键合基底的表面；在一定的键合温度、键合压力及键合时间下实现待键合基底的键合。本发明利用银离子自还原形成金属银实现互连键合，相较于使用银纳米颗粒浆料键合，具有无需制备银纳米颗粒、浆料分散性好、可均匀涂覆、低成本、易储存等优势，在电子封装技术中具有较好的应用前景。
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公开(公告)号：CN116345288A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310337945.1
申请日：2023-03-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/13 , H01S3/00 , H01S3/10 , H01L21/268 , H01L21/324 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法，属于集成电路晶圆退火领域。装置包括频板条CO2激光器、光场传感器、温度传感器、聚焦镜、反射镜、衍射元件、第一柱面聚焦镜、可调式菲涅尔棱镜、分光镜、第二柱面聚焦镜、半导体激光器。通过光场传感器实时监测菲涅尔棱镜匀化后的光束均匀度，调节可调式菲涅尔棱镜，能够提高激光的均匀性，提高晶圆退火质量增加退火的成功率。并通过温度传感器检测晶圆退火时表面温度场，将信息传至上位机，结合光场分布，对射频板条CO2激光器的功率进行实时调控，保证晶圆激光退火成功率。
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公开(公告)号：CN109659272A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811506264.9
申请日：2018-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768 , B82Y40/00
CPC classification number: H01L21/76864 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于铜互连键合技术领域，更具体地，涉及一种基于可自修复铜纳米颗粒浆料的低温铜铜键合方法。该方法包括下列步骤：(a)配制可自修复的铜纳米颗粒浆料，其中包括将铜纳米颗粒在甲酸中预处理，以及将预处理的铜纳米颗粒与还原剂、表面活性剂和粘度调节剂的混合溶剂混合；(b)将可自修复的铜纳米颗粒浆料均匀涂覆在两块铜基底之间，以此形成待键合样品，在真空或者惰性气体氛围中，使得可自修复的铜纳米颗粒浆料中的铜纳米颗粒与两块铜基底之间产生互连，实现铜铜键合，在键合过程中，还原剂将甲酸铜分解还原为铜实现铜纳米颗粒的自修复。通过本发明，实现键合过程中无需还原性气氛，同时具备工艺要求简单、易储存、低成本。
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公开(公告)号：CN107528845A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710777507.1
申请日：2017-09-01
Applicant: 华中科技大学 , 武汉倚天剑科技有限公司
CPC classification number: H04L63/0236 , G06F16/951 , H04L63/20
Abstract: 本发明公开了一种基于爬虫技术的智能URL过滤系统及其方法，涉及网络安全领域。本系统是：网络设备、过滤模块、URL过滤规则数据库、智能管理模块、爬虫模块和网络设备依次交互；智能管理模块和用户操作模块交互。本方法是：①生成URL规则；②请求到相关数据包；③将数据包进行数据分析提取；④将提取到的URL传递到数据包处理子程序,与规则数据库的URL进行比较；⑤根据安全得分进行数据包处理。本发明通过爬虫自动获取URL信息，能够实时更新规则数据库中的内容，不需要用户手动更改；能够对URL的安全性进行量化评估，并能根据不同的应用场景采用不同的评分标准；具有操作简便灵活的特点。
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