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公开(公告)号：CN114871571B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210594254.5
申请日：2022-05-27
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/24 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种蓝光激光焊接机器人的一体式主副分束装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括蓝光光束准直系统、蓝光主副光束分束系统、聚焦系统、副光束准直光束线形转化系统、线性蓝光扫描寻位光路、CCD相机；蓝光光束经蓝光光束准直系统扩束准直后入射至蓝光主副光束分束系统，对蓝光光束进行分解，形成用于蓝光焊接的主光束和用于蓝光扫描的副光束；聚焦系统用于将主光束在指定焊接位置汇聚，进行焊接；副光束准直光束线形转化系统用于将副光束转化为线形激光；线性蓝光扫描寻位光路用于根据被CCD相机接收线形激光的反射光，进行图像处理得到实际焊接的焊点位置。本发明将激光焊接与激光焊缝检测两种功能集中到一个焊接设备上，不需手眼标定。
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公开(公告)号：CN113488845B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202110736094.9
申请日：2021-06-30
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频方法及装置，属于半导体激光技术领域。该方法具体为S1：激发蓝光二极管阵列发出多个光束，并入射至同一区域；S2：对入射到同一区域的多束光束以相同的衍射角衍射，使其成为合束光；S3：将合束光一部分反射回到蓝光二极管阵列形成反馈，用于压缩线宽，另一部分透射输出窄线宽光束；S4：对透射输出的窄线宽光束形成振荡，同时进行倍频后输出；S5：将倍频后的输出光先分光再聚焦，输出深紫外光。还提出了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频装置。本发明的方法及装置是一种新型的脉冲电源泵浦多管蓝光二极管阵列倍频系统，可以提高输入蓝光的倍频效率及输出深紫外光的功率。
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公开(公告)号：CN113594029A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110854365.0
申请日：2021-07-28
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L21/268 , H01L21/67 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种基于复合激光源的激光退火设备及退火方法，该退火设备包括载物台、复合激光源和移动部件，载物台用于承载待退火结构；复合激光源包括第一激光源和第二激光源；第一激光源的功率大于第二激光源的功率；第一激光和第二激光分别入射至待退火结构表面的不同区域；移动部件，用于使载物台和复合激光源相对运动，以使待退火结构同一退火区域先经第二激光预热后再经第一激光退火。在本发明中，复合激光源能同时发射不同功率的第一激光和第二激光，通过移动部件可以使待退火结构与复合激光源相对运动，第二激光用于预热，第一激光用于退火，当前区域的退火和下一区域的预热同时进行，可大大节省整体退火时间，提高退火效率。
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公开(公告)号：CN113488845A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110736094.9
申请日：2021-06-30
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频方法及装置，属于半导体激光技术领域。该方法具体为S1：激发蓝光二极管阵列发出多个光束，并入射至同一区域；S2：对入射到同一区域的多束光束以相同的衍射角衍射，使其成为合束光；S3：将合束光一部分反射回到蓝光二极管阵列形成反馈，用于压缩线宽，另一部分透射输出窄线宽光束；S4：对透射输出的窄线宽光束形成振荡，同时进行倍频后输出；S5：将倍频后的输出光先分光再聚焦，输出深紫外光。还提出了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频装置。本发明的方法及装置是一种新型的脉冲电源泵浦多管蓝光二极管阵列倍频系统，可以提高输入蓝光的倍频效率及输出深紫外光的功率。
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公开(公告)号：CN112909725B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110041713.2
申请日：2021-01-13
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01S5/00
Abstract: 本发明公开了基于星形反射的蓝光半导体激光器波长合束装置及方法，属于半导体激光器波长合束技术领域。包括多个半导体激光发射单元、半透半反棱镜、内柱面反射镜、慢轴准直透镜和输出耦合透镜，半导体激光发射单元用于发出多条光束；慢轴准直透镜用于使每束输出光束以同一角度出射至合束通道；半透半反棱镜用于反射上方传来的光束并透射下方光束以使两束光束在合束通道内传播方向一致从而形成合束光束；内柱面反射镜用于改变合束光束方向，使其与下一光束进行波长合束；输出耦合透镜用于输出最终合束光束。本发明在保证输出光束拥有较好光束质量的前提下，允许更多数目的半导体激光发射单元所发出的光束参与波长合束，并明提高了波长合束的效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109638631B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201811636327.2
申请日：2018-12-29
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种外腔半导体激光阵列相干合束方法，属于半导体激光阵列相干合束技术领域。本发明方法利用衍射光学元件等控制半导体外腔内的自再现模式为厄米高斯模式，实现半导体外腔内相位锁定，从而实现高功率条件下相位锁定相干模式输出。本发明技术方案基于厄米高斯光束的相干合束方法能够提供较好噪声抑制能力，模式均匀性高，因此可以提升相干激光输出功率，同时，不会产生额外的谐振腔内的损耗，因为每个厄米高斯光束的峰会直接耦合到单个发光单元中去，并且在腔内控制产生厄米高斯光束的方法有多种，多采用衍射光学元件，因此，实现本发明方法简单方便，成本低。另外本发明还公开了一种外腔半导体激光阵列相干合束装置。
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公开(公告)号：CN109638631A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811636327.2
申请日：2018-12-29
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种外腔半导体激光阵列相干合束方法，属于半导体激光阵列相干合束技术领域。本发明方法利用衍射光学元件等控制半导体外腔内的自再现模式为厄米高斯模式，实现半导体外腔内相位锁定，从而实现高功率条件下相位锁定相干模式输出。本发明技术方案基于厄米高斯光束的相干合束方法能够提供较好噪声抑制能力，模式均匀性高，因此可以提升相干激光输出功率，同时，不会产生额外的谐振腔内的损耗，因为每个厄米高斯光束的峰会直接耦合到单个发光单元中去，并且在腔内控制产生厄米高斯光束的方法有多种，多采用衍射光学元件，因此，实现本发明方法简单方便，成本低。另外本发明还公开了一种外腔半导体激光阵列相干合束装置。
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公开(公告)号：CN106681010A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611106120.5
申请日：2016-12-06
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: G02B27/09
CPC classification number: G02B27/0916 , G02B27/0955
Abstract: 本发明公开了一种半导体激光束的菲涅尔聚焦装置，包括菲涅尔透镜和柱面镜，菲涅尔透镜的一面有多个平行排列的楞，多个楞对半导体激光束的波前进行分割，经过每个楞输出的激光束角度不同，实现不同区域的光束经过菲涅尔透镜后在同一处叠加，使菲涅尔透镜输出均匀且在慢轴方向聚焦的光斑，柱面镜对入射光进行快轴方向聚焦，输出均匀的矩形光斑，解决了传统聚焦装置无法兼顾光斑尺寸和光斑均匀性的问题。在激光表面改性过程中，由本发明提供的菲涅尔聚焦装置输出的激光光斑的尺寸能够更好的跟工件作用区域相匹配，可以有效降低温度梯度所带来的受热不均匀性问题，提高加工质量和效率。
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公开(公告)号：CN114813050B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202210394522.9
申请日：2022-04-14
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种多模蓝光单管激光模式测量装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括水冷系统、沿光路依次放置的准直系统、单光栅分光系统、远场傅里叶变换系统、第一CCD相机和第二CCD相机；所述水冷系统上设置有待测的多模蓝光单管激光器，单光栅分光系统包括反射式光栅和反射镜组，以及分光后的反射镜、聚焦透镜，通过反射镜组的空间位置角度调整，进行多次衍射分光，多次衍射分光解决了蓝光波长短而导致的分光困难，并且只需要一块光栅，成本低，光栅利用率高。本发明利用远场傅里叶变换，可以同时测量激光束的近场模式和远场模式，在近场模式结构无法分辨时，利用远场双峰结构特性建立蓝光单管模式模型。
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公开(公告)号：CN112909725A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110041713.2
申请日：2021-01-13
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01S5/00
Abstract: 本发明公开了基于星形反射的蓝光半导体激光器波长合束装置及方法，属于半导体激光器波长合束技术领域。包括多个半导体激光发射单元、半透半反棱镜、内柱面反射镜、慢轴准直透镜和输出耦合透镜，半导体激光发射单元用于发出多条光束；慢轴准直透镜用于使每束输出光束以同一角度出射至合束通道；半透半反棱镜用于反射上方传来的光束并透射下方光束以使两束光束在合束通道内传播方向一致从而形成合束光束；内柱面反射镜用于改变合束光束方向，使其与下一光束进行波长合束；输出耦合透镜用于输出最终合束光束。本发明在保证输出光束拥有较好光束质量的前提下，允许更多数目的半导体激光发射单元所发出的光束参与波长合束，并明提高了波长合束的效率。
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