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公开(公告)号：CN114871571A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210594254.5
申请日：2022-05-27
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/24 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种蓝光激光焊接机器人的一体式主副分束装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括蓝光光束准直系统、蓝光主副光束分束系统、聚焦系统、副光束准直光束线形转化系统、线性蓝光扫描寻位光路、CCD相机；蓝光光束经蓝光光束准直系统扩束准直后入射至蓝光主副光束分束系统，对蓝光光束进行分解，形成用于蓝光焊接的主光束和用于蓝光扫描的副光束；聚焦系统用于将主光束在指定焊接位置汇聚，进行焊接；副光束准直光束线形转化系统用于将副光束转化为线形激光；线性蓝光扫描寻位光路用于根据被CCD相机接收线形激光的反射光，进行图像处理得到实际焊接的焊点位置。本发明将激光焊接与激光焊缝检测两种功能集中到一个焊接设备上，不需手眼标定。
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公开(公告)号：CN112909725A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110041713.2
申请日：2021-01-13
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01S5/00
Abstract: 本发明公开了基于星形反射的蓝光半导体激光器波长合束装置及方法，属于半导体激光器波长合束技术领域。包括多个半导体激光发射单元、半透半反棱镜、内柱面反射镜、慢轴准直透镜和输出耦合透镜，半导体激光发射单元用于发出多条光束；慢轴准直透镜用于使每束输出光束以同一角度出射至合束通道；半透半反棱镜用于反射上方传来的光束并透射下方光束以使两束光束在合束通道内传播方向一致从而形成合束光束；内柱面反射镜用于改变合束光束方向，使其与下一光束进行波长合束；输出耦合透镜用于输出最终合束光束。本发明在保证输出光束拥有较好光束质量的前提下，允许更多数目的半导体激光发射单元所发出的光束参与波长合束，并明提高了波长合束的效率。
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公开(公告)号：CN114871571B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210594254.5
申请日：2022-05-27
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/24 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种蓝光激光焊接机器人的一体式主副分束装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括蓝光光束准直系统、蓝光主副光束分束系统、聚焦系统、副光束准直光束线形转化系统、线性蓝光扫描寻位光路、CCD相机；蓝光光束经蓝光光束准直系统扩束准直后入射至蓝光主副光束分束系统，对蓝光光束进行分解，形成用于蓝光焊接的主光束和用于蓝光扫描的副光束；聚焦系统用于将主光束在指定焊接位置汇聚，进行焊接；副光束准直光束线形转化系统用于将副光束转化为线形激光；线性蓝光扫描寻位光路用于根据被CCD相机接收线形激光的反射光，进行图像处理得到实际焊接的焊点位置。本发明将激光焊接与激光焊缝检测两种功能集中到一个焊接设备上，不需手眼标定。
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公开(公告)号：CN112909725B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110041713.2
申请日：2021-01-13
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01S5/00
Abstract: 本发明公开了基于星形反射的蓝光半导体激光器波长合束装置及方法，属于半导体激光器波长合束技术领域。包括多个半导体激光发射单元、半透半反棱镜、内柱面反射镜、慢轴准直透镜和输出耦合透镜，半导体激光发射单元用于发出多条光束；慢轴准直透镜用于使每束输出光束以同一角度出射至合束通道；半透半反棱镜用于反射上方传来的光束并透射下方光束以使两束光束在合束通道内传播方向一致从而形成合束光束；内柱面反射镜用于改变合束光束方向，使其与下一光束进行波长合束；输出耦合透镜用于输出最终合束光束。本发明在保证输出光束拥有较好光束质量的前提下，允许更多数目的半导体激光发射单元所发出的光束参与波长合束，并明提高了波长合束的效率。
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公开(公告)号：CN116365351A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310397988.9
申请日：2023-04-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/00 , H01S5/14 , H01S5/0683
Abstract: 本发明公开一种蓝光半导体外腔反馈自适应调节的窄线宽压缩装置。该装置包括：准直系统、反射阵列、线宽压缩系统和检测反馈系统；准直系统包括蓝光单管阵列和快慢轴准直镜组；反射阵列将经过快慢轴准直镜组后输出的蓝光激光束反射后入射到闪耀光栅上；线宽压缩系统包括闪耀光栅和输出耦合镜；闪耀光栅设置在自适应调节架的光栅安置板上；自适应调节架还包括调节柱和定位杆，多方向调整闪耀光栅的俯仰角；输出耦合镜将经过闪耀光栅衍射后的多束蓝光激光束耦合成输出光束；检测反馈系统检测输出光束的功率、波长和线宽，调整自适应调节架从而调整闪耀光栅的俯仰角。实现高功率、窄线宽、可调谐、高稳定性、高光束质量的半导体蓝光输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115586657A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211184770.7
申请日：2022-09-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多路输入单光栅光谱合束及光纤合束装置，属于蓝光半导体激光合束装置技术领域，包括：第一至第五蓝光半导体激光阵列模块、光束偏转元件组、透射式衍射光栅、合束光处理模块、光纤合束器模块；第一至第五蓝光半导体激光阵列模块输出的蓝光光束群经过所述光束偏转元件组实现光束偏转汇聚，以固定角度入射到透射式衍射光栅进行光谱合束，每组蓝光光束经反射镜的反射作用实现角度偏转及光束间距的加密，各组蓝光光束以不同角度入射单光栅，提高了光栅利用率。各组蓝光光束在经过光谱合束后继续由反射镜组与45°斜面直角棱镜偏转方向，通过光纤合束器耦合进光纤，实现大数量蓝光光束的合束，大大提高了蓝光输出功率。
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公开(公告)号：CN118539290A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410625554.4
申请日：2024-05-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大功率蓝光半导体激光器密集光谱合束装置，属于蓝光半导体激光技术领域，包括：光纤合束单元，其输入侧通过光纤与若干个密集光谱合束单元相连，每一密集光谱合束单元的输入侧通过光纤与若干个蓝光线宽压缩单元相连；蓝光线宽压缩单元用于对两个蓝光半导体激光阵列模块输出的蓝光依次进行空间合束、线宽压缩、色散补偿和光束会聚，会聚后的光束通过光纤进入密集光谱合束单元；密集光谱合束单元用于对与其连接的若干个蓝光线宽压缩单元输出的光束进行光谱合束，光谱合束后的光束通过光纤进入光纤合束单元；光纤合束单元用于对各密集光谱合束单元输出的光束进行光纤合束后输出。本装置在高功率输出的基础上实现高亮度。
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公开(公告)号：CN118380848A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410434700.5
申请日：2024-04-11
Applicant: 吉林省永利激光科技有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷的用于射频板条CO2激光器的整形光路自适应调节装置，属于射频板条CO2激光器领域，包括光束压缩单元、空间滤波器、整形单元、压电陶瓷组件以及压电陶瓷控制器；从射频板条CO2激光器的谐振腔输出的激光经过光束压缩单元在非稳方向进行压缩后，再依次经过空间滤波器和整形单元。本发明通过压电陶瓷控制器控制压电陶瓷组件调节激光器外整形光路中光束压缩单元的空间姿态及整形单元的空间位置，通过监测最终输出光束的光斑模式及功率等特性参数来发送调节信号，使得整形光路整体处于最佳整形状态，提升激光器最终输出光束的光斑质量。
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公开(公告)号：CN118017350A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410061933.5
申请日：2024-01-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于闪耀光栅的外腔反馈可调谐蓝光半导体激光器，属于半导体激光技术领域，包括：多组半导体激光阵列、光束转折元件、反射分束系统、扩束系统、闪耀光栅、闪耀光栅的外腔反馈调节系统；每组半导体激光阵列发出的半导体激光经过准直系统准直后，通过光束转折元件在竖直方向上沿快轴方向合束，合束后的光束在反射分束系统处按照预设比例分成输出光束与反馈光束。本发明利用闪耀光栅二级衍射光构成外腔蓝光半导体激光器，能够保证在高能量转换率的情况下输出高功率窄线宽的蓝光半导体激光，并且可以通过在水平面内改变光栅角度实现宽光谱可调谐。
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公开(公告)号：CN116345288A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310337945.1
申请日：2023-03-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/13 , H01S3/00 , H01S3/10 , H01L21/268 , H01L21/324 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法，属于集成电路晶圆退火领域。装置包括频板条CO2激光器、光场传感器、温度传感器、聚焦镜、反射镜、衍射元件、第一柱面聚焦镜、可调式菲涅尔棱镜、分光镜、第二柱面聚焦镜、半导体激光器。通过光场传感器实时监测菲涅尔棱镜匀化后的光束均匀度，调节可调式菲涅尔棱镜，能够提高激光的均匀性，提高晶圆退火质量增加退火的成功率。并通过温度传感器检测晶圆退火时表面温度场，将信息传至上位机，结合光场分布，对射频板条CO2激光器的功率进行实时调控，保证晶圆激光退火成功率。
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