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公开(公告)号:CN103471525A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201310449692.3
申请日:2013-09-27
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法。该方法利用抛物面可将聚焦于其焦点的光束无像差地准直成平行光束的特性,结合部分平面反射镜构建自反射光路,利用差动共焦响应曲线的过零点位置精确定位抛物面的顶点及焦点位置,进而精确测得抛物面的焦距及顶点曲率半径值。本发明首次提出将差动共焦测量技术扩展到抛物面顶点曲率半径测量领域,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于抛物面顶点曲率半径的高精度检测。
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公开(公告)号:CN102589854A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201210011999.0
申请日:2012-01-16
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式差动共焦透镜焦距测量方法。该方法通过差动共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置,进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过差动共焦响应曲线过零点时对应被测透镜焦点和表面顶点特性实现精确定焦,将差动共焦测量技术扩展到透镜焦距测量领域,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于透镜焦距的高精度检测。
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公开(公告)号:CN101852676A
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN201010173346.3
申请日:2010-05-10
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种多焦全息差动共焦超长焦距测量方法与装置。该方法先利用差动共焦系统对多焦全息透镜的长焦距值进行校准,减小测量的系统误差;然后利用差动共焦响应曲线过零点时被测超长焦距透镜焦点与多焦全息透镜一阶焦点相重合的特性,实现对超长焦距透镜焦距的测量。装置包括点光源、第一分光镜、准直透镜、多焦全息透镜和差动共焦系统;其中第一分光镜、准直透镜和多焦全息透镜依次放在光线的出射方向,差动共焦系统放置在第一分光镜的反射方向,多焦全息透镜和第一分光镜将光束反射至差动共焦系统,并配合差动共焦系统实现对由被测超长焦距透镜出射的差动共焦光锥顶点的精确定位。具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强等优点,可用于超长焦距的高精度测量。
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公开(公告)号:CN103123251B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201010121848.1
申请日:2010-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜,使用自准直法,对透镜光轴进行高精度调整,使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的特性,实现透镜表面顶点的精确定位,并获取差动共焦光锥顶点两次定位时出射光的数值孔径角,利用光线追迹公式计算出透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,削减了像差对测量结果的影响。本发明首次将差动共焦与内调焦融合,提出了差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量原理,具有测量速度快、精度高、灵敏度高、结构简单及工作距离长的优点,可用于透镜光轴及中心厚度的非接触高精度测量。
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公开(公告)号:CN102679895B
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201210191601.6
申请日:2012-06-11
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式共焦透镜中心厚度测量方法。该方法通过共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜前表面顶点和后表面顶点,进而通过光线追迹公式测得透镜中心厚度。本发明首次提出利用被测透镜自身发出的光束并结合共焦技术对被测透镜前、后表面顶点进行高精度定焦瞄准,很大程度上降低了被测透镜的装调难度,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于透镜中心厚度的高精度检测。
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公开(公告)号:CN102175426A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201110038297.7
申请日:2011-02-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/00 , G01M11/02 , G01B11/255 , G01B11/14
Abstract: 本发明涉及一种共焦干涉定焦及曲率半径测量方法,属于光学精密测量技术领域。本发明是在共焦光路的基础上引入干涉参考光,然后利用该共焦干涉响应曲线的最大值来精确定位被测球面元件表面的顶点及球心位置,进而得到被测球面元件表面的曲率半径,最大限度地锐化共焦响应曲线的主瓣。本发明首次运用传统的共焦干涉显微成像技术提高光学测量系统的定焦精度,使系统具有更高的轴向分辨力,且该系统结构简洁,降低了该系统装置的研发成本。
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公开(公告)号:CN103471525B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201310449692.3
申请日:2013-09-27
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法。该方法利用抛物面可将聚焦于其焦点的光束无像差地准直成平行光束的特性,结合部分平面反射镜构建自反射光路,利用差动共焦响应曲线的过零点位置精确定位抛物面的顶点及焦点位置,进而精确测得抛物面的焦距及顶点曲率半径值。本发明首次提出将差动共焦测量技术扩展到抛物面顶点曲率半径测量领域,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于抛物面顶点曲率半径的高精度检测。
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公开(公告)号:CN102679895A
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN201210191601.6
申请日:2012-06-11
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式共焦透镜中心厚度测量方法。该方法通过共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜前表面顶点和后表面顶点,进而通过光线追迹公式测得透镜中心厚度。本发明首次提出利用被测透镜自身发出的光束并结合共焦技术对被测透镜前、后表面顶点进行高精度定焦瞄准,很大程度上降低了被测透镜的装调难度,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于透镜中心厚度的高精度检测。
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